SiO2 Thin Film Ossidu Termali Wejfer tas-silikon 4inch 6inch 8inch 12inch
Introduċi l-kaxxa tal-wejfer
Il-proċess ewlieni tal-manifattura ta 'wejfers tas-silikon ossidizzat ġeneralment jinkludi l-passi li ġejjin: tkabbir tas-silikon monokristallin, qtugħ f'wejfers, illustrar, tindif u ossidazzjoni.
Tkabbir tas-silikon monokristallin: L-ewwel, is-silikon monokristallin jitkabbar f'temperaturi għoljin b'metodi bħall-metodu Czochralski jew il-metodu Float-zone. Dan il-metodu jippermetti l-preparazzjoni ta 'kristalli singoli tas-silikon b'purità għolja u integrità tal-kannizzata.
Dicing: Is-silikon monokristallin imkabbar huwa ġeneralment f'forma ċilindrika u jeħtieġ li jinqata 'f'wejfers irqaq biex jintuża bħala sottostrat tal-wejfer. It-tqattigħ normalment isir bi qtugħ tad-djamanti.
Illustrar: Il-wiċċ tal-wejfer maqtugħ jista 'jkun irregolari u jeħtieġ illustrar kimiku-mekkaniku biex jinkiseb wiċċ lixx.
Tindif: Il-wejfer illustrat huwa mnaddaf biex tneħħi l-impuritajiet u t-trab.
Ossidanti: Fl-aħħarnett, il-wejfers tas-silikon jitpoġġew f'forn b'temperatura għolja għal trattament ossidanti biex jiffurmaw saff protettiv ta 'dijossidu tas-silikon biex itejbu l-proprjetajiet elettriċi u s-saħħa mekkanika tiegħu, kif ukoll biex iservu bħala saff iżolanti f'ċirkwiti integrati.
L-użi ewlenin ta 'wejfers tas-silikon ossidizzat jinkludu l-manifattura ta' ċirkwiti integrati, il-manifattura ta 'ċelloli solari, u l-manifattura ta' apparat elettroniku ieħor. Il-wejfers tal-ossidu tas-silikon jintużaw ħafna fil-qasam tal-materjali semikondutturi minħabba l-proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti tagħhom, l-istabbiltà dimensjonali u kimika, il-kapaċità li joperaw f'temperaturi għoljin u pressjonijiet għoljin, kif ukoll proprjetajiet iżolanti u ottiċi tajbin.
Il-vantaġġi tiegħu jinkludu struttura tal-kristall kompluta, kompożizzjoni kimika pura, dimensjonijiet preċiżi, proprjetajiet mekkaniċi tajbin, eċċ Dawn il-karatteristiċi jagħmlu wejfers tal-ossidu tas-silikon partikolarment adattati għall-manifattura ta 'ċirkwiti integrati ta' prestazzjoni għolja u tagħmir mikroelettroniku ieħor.