Wejfer tas-silikon b'film irqiq SiO2 b'ossidu termali ta' 4 pulzieri 6 pulzieri 8 pulzieri 12 pulzieri
Introduzzjoni tal-kaxxa tal-wejfer
Il-proċess ewlieni tal-manifattura ta' wejfers tas-silikon ossidizzati ġeneralment jinkludi l-passi li ġejjin: tkabbir tas-silikon monokristallin, qtugħ f'wejfers, illustrar, tindif u ossidazzjoni.
Tkabbir tas-silikon monokristallin: L-ewwel, is-silikon monokristallin jitkabbar f'temperaturi għoljin b'metodi bħall-metodu Czochralski jew il-metodu Float-zone. Dan il-metodu jippermetti l-preparazzjoni ta' kristalli singoli tas-silikon b'purità għolja u integrità tal-kannizzata.
Tqattigħ: Is-silikon monokristallin imkabbar ġeneralment ikun f'forma ċilindrika u jeħtieġ li jinqata' f'wejfers irqaq biex jintuża bħala sottostrat tal-wejfer. It-tqattigħ ġeneralment isir b'cutter tad-djamanti.
Lustrar: Il-wiċċ tal-wejfer maqtugħ jista' jkun irregolari u jeħtieġ lustrar kimiku-mekkaniku biex jinkiseb wiċċ lixx.
Tindif: Il-wejfer illustrat jitnaddaf biex jitneħħew l-impuritajiet u t-trab.
Ossidazzjoni: Fl-aħħarnett, il-wejfers tas-silikon jitpoġġew f'forn b'temperatura għolja għal trattament ta' ossidazzjoni biex jiffurmaw saff protettiv ta' dijossidu tas-silikon biex itejbu l-proprjetajiet elettriċi u s-saħħa mekkanika tiegħu, kif ukoll biex iservu bħala saff iżolanti fiċ-ċirkwiti integrati.
L-użi ewlenin tal-wejfers tas-silikon ossidizzat jinkludu l-manifattura ta' ċirkwiti integrati, il-manifattura ta' ċelloli solari, u l-manifattura ta' apparati elettroniċi oħra. Il-wejfers tal-ossidu tas-silikon jintużaw ħafna fil-qasam tal-materjali semikondutturi minħabba l-proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti tagħhom, l-istabbiltà dimensjonali u kimika, il-kapaċità li joperaw f'temperaturi għoljin u pressjonijiet għoljin, kif ukoll proprjetajiet iżolanti u ottiċi tajbin.
Il-vantaġġi tiegħu jinkludu struttura kristallina kompluta, kompożizzjoni kimika pura, dimensjonijiet preċiżi, proprjetajiet mekkaniċi tajbin, eċċ. Dawn il-karatteristiċi jagħmlu l-wejfers tal-ossidu tas-silikon partikolarment adattati għall-manifattura ta' ċirkwiti integrati ta' prestazzjoni għolja u apparati mikroelettroniċi oħra.
Dijagramma dettaljata

