Magna tal-Lustrar tar-Raġġ tal-Joni għal żaffir SiC Si

Deskrizzjoni Qasira:

Il-Magna tal-Iffigurar u l-Lustrar tar-Raġġ Joniku hija bbażata fuq il-prinċipju ta'sputtering tal-joniĠewwa kamra b'vakwu għoli, sors ta' joni jiġġenera plażma, li tiġi aċċellerata f'raġġ ta' joni b'enerġija għolja. Dan ir-raġġ ibbumbardja l-wiċċ tal-komponent ottiku, u jneħħi l-materjal fuq skala atomika biex jikseb korrezzjoni u finitura ultra-preċiżi tal-wiċċ.

Ibgħatilna email

Karatteristiċi

Dijagramma dettaljata

Ħarsa ġenerali lejn il-Prodott tal-Magna tal-Lustrar tar-Raġġ tal-Joni

Il-Magna tal-Iffigurar u l-Lustrar b'Raġġ Joniku hija bbażata fuq il-prinċipju tal-isputtering tal-joni. Ġewwa kamra b'vakwu għoli, sors ta' joni jiġġenera plażma, li tiġi aċċellerata f'raġġ ta' joni b'enerġija għolja. Dan ir-raġġ ibbumbardja l-wiċċ tal-komponent ottiku, u jneħħi l-materjal fuq skala atomika biex jikseb korrezzjoni u finitura ultra-preċiżi tal-wiċċ.

Bħala proċess mingħajr kuntatt, il-lostru bir-raġġ tal-joni jelimina l-istress mekkaniku u jevita ħsara taħt il-wiċċ, u b'hekk jagħmilha ideali għall-manifattura ta' ottika ta' preċiżjoni għolja użata fl-astronomija, l-ajruspazju, is-semikondutturi, u applikazzjonijiet ta' riċerka avvanzata.

Prinċipju ta' Ħidma tal-Magna tal-Lustrar tar-Raġġ tal-Joni

Ġenerazzjoni tal-Joni
Gass inert (eż., argon) jiddaħħal fil-kamra tal-vakwu u jiġi jonizzat permezz ta' skariku elettriku biex jifforma plażma.

Aċċelerazzjoni u Formazzjoni ta' Raġġi
Il-joni jiġu aċċellerati għal diversi mijiet jew eluf ta' elettroni volts (eV) u ffurmati f'post ta' raġġ stabbli u ffukat.

Tneħħija tal-Materjal
Ir-raġġ tal-joni fiżikament ibexxex l-atomi mill-wiċċ mingħajr ma jibda reazzjonijiet kimiċi.

Sejbien ta' Żbalji u Ippjanar tal-Mogħdija
Id-devjazzjonijiet tal-figura tal-wiċċ jitkejlu bl-interferometrija. Il-funzjonijiet ta' tneħħija jiġu applikati biex jiddeterminaw il-ħinijiet ta' permanenza u jiġġeneraw mogħdijiet tal-għodda ottimizzati.

Korrezzjoni ta' Ċirkwit Magħluq
Iċ-ċikli iterattivi tal-ipproċessar u l-kejl ikomplu sakemm jintlaħqu l-miri ta' preċiżjoni RMS/PV.

Karatteristiċi Ewlenin tal-Magna tal-Lustrar tar-Raġġ tal-Joni

Kompatibilità Universali tal-Wiċċ– Jipproċessa uċuħ ċatti, sferiċi, asferiċi, u b'forma ħielsa

Rata ta' Tneħħija Ultra-Stabbli– Jippermetti korrezzjoni tal-figura sub-nanometru

Ipproċessar Mingħajr Ħsara– L-ebda difetti taħt il-wiċċ jew bidliet strutturali

Prestazzjoni Konsistenti– Jaħdem tajjeb bl-istess mod fuq materjali ta’ ebusija varjabbli

Korrezzjoni ta' Frekwenza Baxxa/Medja– Jelimina l-iżbalji mingħajr ma jiġġenera artefatti ta' frekwenza medja/għolja

Rekwiżit Baxx ta' Manutenzjoni– Tħaddim kontinwu twil b'ħin minimu ta' waqfien

Speċifikazzjonijiet Tekniċi Prinċipali tal-Magna tal-Lustrar tar-Raġġ tal-Joni

Oġġett	Speċifikazzjoni
Metodu ta' Proċessar	Sputtering tal-joni f'ambjent ta' vakwu għoli
Tip ta' Proċessar	Figurazzjoni u illustrar tal-wiċċ mingħajr kuntatt
Daqs Massimu tal-Biċċa tax-Xogħol	Φ4000 mm
Assi tal-Mozzjoni	3 assi / 5 assi
Stabbiltà tat-Tneħħija	≥95%
Preċiżjoni tal-wiċċ	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS tipiku < 1 nm; PV < 15 nm)
Kapaċità ta' Korrezzjoni tal-Frekwenza	Ineħħi żbalji ta' frekwenza baxxa-medja mingħajr ma jintroduċi żbalji ta' frekwenza medja/għolja
Operazzjoni Kontinwa	3–5 ġimgħat mingħajr manutenzjoni tal-vakwu
Spiża tal-Manutenzjoni	Baxx

Kapaċitajiet ta' Proċessar tal-Magna tal-Lustrar tar-Raġġ Joniku

Tipi ta' Uċuħ Appoġġjati

Sempliċi: Ċatt, sferiku, priżma

Kumpless: Asfera simmetrika/assimetrika, asfera barra mill-assi, ċilindrika

Speċjali: Ottika ultra-rqiqa, ottika slat, ottika emisferika, ottika konformali, pjanċi tal-fażi, uċuħ freeform

Materjali Appoġġjati

Ħġieġ ottiku: Kwarz, mikrokristallin, K9, eċċ.

Materjali infra-aħmar: silikon, ġermanju, eċċ.

Metalli: Aluminju, azzar inossidabbli, liga tat-titanju, eċċ.

Kristalli: YAG, karbur tas-silikon b'kristall wieħed, eċċ.

Materjali iebsin/fraġli: Karbur tas-silikon, eċċ.

Kwalità tal-Wiċċ / Preċiżjoni

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Studji tal-Każijiet tal-Ipproċessar tal-Magna tal-Lustrar tar-Raġġ tal-Joni

Każ 1 – Mera Ċatta Standard

Biċċa tax-xogħol: Kwarz ċatt D630 mm

Riżultat: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Każ 2 – Mera li Tirrifletti bir-Raġġi-X

Biċċa tax-xogħol: 150 × 30 mm silikon ċatt

Riżultat: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Inklinazzjoni 0.13 µrad

Każ 3 – Mera Barra mill-Assi

Biċċa tax-xogħol: D326 mm mera tal-art barra mill-assi

Riżultat: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Mistoqsijiet Frekwenti dwar Nuċċali tal-Kwarz

Mistoqsijiet Frekwenti – Magna tal-Lustrar bir-Raġġ tal-Joni

M1: X'inhu l-illustrar bir-raġġ tal-joni?
A1:L-illustrar b'raġġ ta' joni huwa proċess mingħajr kuntatt li juża raġġ iffukat ta' joni (bħal joni tal-argon) biex ineħħi materjal minn wiċċ biċċa tax-xogħol. L-joni jiġu aċċellerati u diretti lejn il-wiċċ, u jikkawżaw tneħħija ta' materjal fil-livell atomiku, li tirriżulta f'finitura ultra-lixxa. Dan il-proċess jelimina l-istress mekkaniku u l-ħsara taħt il-wiċċ, u jagħmilha ideali għal komponenti ottiċi ta' preċiżjoni.

M2: Liema tipi ta' uċuħ tista' tipproċessa l-Magna tal-Lustrar bir-Raġġ Joniku?
A2:Il-Magna tal-Lustrar tar-Raġġ tal-Jonijista' jipproċessa varjetà ta' uċuħ, inklużi komponenti ottiċi sempliċi bħalċatti, sferi, u priżmi, kif ukoll ġeometriji kumplessi bħalasferi, asferi barra mill-assi, uuċuħ ta' forma ħielsaHuwa effettiv b'mod speċjali fuq materjali bħal ħġieġ ottiku, ottika infra-aħmar, metalli, u materjali iebsin/fraġli.

M3: Ma' liema materjali tista' taħdem il-Magna tal-Lustrar bir-Raġġ Joniku?
A3:Il-Magna tal-Lustrar tar-Raġġ tal-Jonijista' jillustra firxa wiesgħa ta' materjali, inklużi:

Ħġieġ ottikuKwarz, mikrokristallin, K9, eċċ.
Materjali infra-aħmarSilikon, ġermanju, eċċ.
MetalliAluminju, azzar inossidabbli, liga tat-titanju, eċċ.
Materjali tal-kristallYAG, karbur tas-silikon b'kristall wieħed, eċċ.
Materjali oħra iebsin/fraġliKarbur tas-silikon, eċċ.

Dwarna

XKH tispeċjalizza fl-iżvilupp ta' teknoloġija għolja, il-produzzjoni, u l-bejgħ ta' ħġieġ ottiku speċjali u materjali ġodda tal-kristall. Il-prodotti tagħna jservu l-elettronika ottika, l-elettronika għall-konsumatur, u l-militar. Noffru komponenti ottiċi taż-żaffir, kisi tal-lentijiet tat-telefowns ċellulari, Ċeramika, LT, Silicon Carbide SIC, Kwarz, u wejfers tal-kristall semikondutturi. B'kompetenza tas-sengħa u tagħmir avvanzat, neċċellaw fl-ipproċessar ta' prodotti mhux standard, bil-għan li nkunu intrapriża ewlenija ta' teknoloġija għolja fil-materjali optoelettroniċi.