Linja ta' Awtomazzjoni tal-Lustrar Konnessa f'Erba' Stadji tas-Silikon / Karbur tas-Silikon (SiC) (Linja Integrata tal-Immaniġġjar ta' Wara l-Lustrar)

Linja ta' Awtomazzjoni tal-Lustrar Konnessa f'Erba' Stadji tas-Silikon / Karbur tas-Silikon (SiC) Wafer (Linja Integrata ta' Immaniġġjar ta' Wara l-Lustrar) Immaġni Dehru

Deskrizzjoni Qasira:

Din il-Linja ta' Awtomazzjoni tal-Lustrar Konnessa f'Erba' Stadji hija soluzzjoni integrata u in-line iddisinjata għalwara l-lustrar / wara s-CMPoperazzjonijiet ta'silikonukarbur tas-silikon (SiC)wejfers. Mibnija madwartrasportaturi taċ-ċeramika (pjanċi taċ-ċeramika), is-sistema tgħaqqad diversi kompiti downstream f'linja waħda kkoordinata—tgħin lill-fabbriki jnaqqsu l-immaniġġjar manwali, jistabbilizzaw il-ħin tat-takt, u jsaħħu l-kontroll tal-kontaminazzjoni.

Ibgħatilna email

Karatteristiċi

Dijagramma dettaljata

Linja ta' Awtomazzjoni tal-Lustrar Konnessa f'Erba' Stadji tas-Silikon / Karbur tas-Silikon (SiC) (Linja Integrata tal-Immaniġġjar ta' Wara l-Lustrar)4

Ħarsa ġenerali

Fil-manifattura tas-semikondutturi,tindif effettiv wara s-CMPhuwa rikonoxxut b'mod wiesa' bħala pass ewlieni biex jitnaqqsu d-difetti qabel il-proċess li jmiss, u approċċi avvanzati (inklużtindif megasoniku) huma komunement diskussi għat-titjib tal-prestazzjoni tat-tneħħija tal-partiċelli.

Għas-SiC b'mod partikolari, tiegħuebusija għolja u inerzja kimikajagħmlu l-illustrar ta' sfida (spiss assoċjat ma' rata baxxa ta' tneħħija ta' materjal u riskju ogħla ta' ħsara fil-wiċċ/taħt il-wiċċ), u dan jagħmel l-awtomazzjoni stabbli ta' wara l-illustrar u t-tindif/immaniġġjar ikkontrollat speċjalment siewja.

Linja ta' Awtomazzjoni tal-Lustrar Konnessa f'Erba' Stadji tas-Silikon / Karbur tas-Silikon (SiC) (Linja Integrata tal-Immaniġġjar ta' Wara l-Lustrar)5

Linja ta' Awtomazzjoni tal-Lustrar Konnessa f'Erba' Stadji tas-Silikon / Karbur tas-Silikon (SiC) (Linja Integrata tal-Immaniġġjar ta' Wara l-Lustrar)2

Benefiċċji Ewlenin

Linja integrata waħda li tappoġġja:

Separazzjoni u ġbir tal-wejfers(wara l-illustrar)
Buffering / ħażna tat-trasportatur taċ-ċeramika
Tindif tat-trasportatur taċ-ċeramika
Immuntar (twaħħil) ta' wejfers fuq trasportaturi taċ-ċeramika
Operazzjoni konsolidata, b'linja waħda għalWejfers ta' 6–8 pulzieri

Speċifikazzjonijiet Tekniċi (Mill-Iskeda tad-Datas Fornuta)

Dimensjonijiet tat-Tagħmir (T × W × H):13643 × 5030 × 2300 mm
Provvista tal-Enerġija:AC 380 V, 50 Hz
Qawwa Totali:119 kW
Indafa tal-Immuntar:0.5 μm < 50 kull wieħed; 5 μm < 1 kull wieħed
Immuntar Flatness:≤ 2 μm

Referenza tar-Rendiment (Mill-Iskeda tad-Data Pprovduta)

Dimensjonijiet tat-Tagħmir (T × W × H):13643 × 5030 × 2300 mm
Provvista tal-Enerġija:AC 380 V, 50 Hz
Qawwa Totali:119 kW
Indafa tal-Immuntar:0.5 μm < 50 kull wieħed; 5 μm < 1 kull wieħed
Immuntar Flatness:≤ 2 μm

Fluss Tipiku tal-Linja

Dħul / interfaċċja miż-żona tal-lostru 'l fuq
Separazzjoni u ġbir tal-wejfers
Buffering/ħażna ta' trasportatur taċ-ċeramika (diżakkoppjar f'ħin takt)
Tindif tat-trasportatur taċ-ċeramika
Immuntar ta' wejfers fuq trasportaturi (b'kontroll tal-indafa u l-flatness)
Ħruġ lejn proċess jew loġistika downstream

Mistoqsijiet Frekwenti

M1: Liema problemi ssolvi primarjament din il-linja?
A: Jissimplifika l-operazzjonijiet ta' wara l-lostru billi jintegra s-separazzjoni/ġbir tal-wejfers, il-buffering tat-trasportatur taċ-ċeramika, it-tindif tat-trasportatur, u l-immuntar tal-wejfers f'linja waħda ta' awtomazzjoni kkoordinata—billi jnaqqas il-punti ta' kuntatt manwali u jistabbilizza r-ritmu tal-produzzjoni.

M2: Liema materjali u daqsijiet tal-wejfer huma appoġġjati?
A:Silikon u SiC,6–8 pulzieriwejfers (skont l-ispeċifikazzjoni pprovduta).

M3: Għaliex it-tindif ta' wara s-CMP huwa enfasizzat fl-industrija?
A: Il-letteratura tal-industrija tenfasizza li d-domanda għal tindif effettiv wara s-CMP kibret biex tnaqqas id-densità tad-difetti qabel il-pass li jmiss; approċċi bbażati fuq il-megasoni huma komunement studjati għat-titjib tat-tneħħija tal-partiċelli.

Dwarna

XKH tispeċjalizza fl-iżvilupp ta' teknoloġija għolja, il-produzzjoni, u l-bejgħ ta' ħġieġ ottiku speċjali u materjali ġodda tal-kristall. Il-prodotti tagħna jservu l-elettronika ottika, l-elettronika għall-konsumatur, u l-militar. Noffru komponenti ottiċi taż-żaffir, kisi tal-lentijiet tat-telefowns ċellulari, Ċeramika, LT, Silicon Carbide SIC, Kwarz, u wejfers tal-kristall semikondutturi. B'kompetenza tas-sengħa u tagħmir avvanzat, neċċellaw fl-ipproċessar ta' prodotti mhux standard, bil-għan li nkunu intrapriża ewlenija ta' teknoloġija għolja fil-materjali optoelettroniċi.