English

Sistema ta' Orjentazzjoni tal-Wafer għall-Kejl tal-Orjentazzjoni tal-Kristall

Sistema ta' Orjentazzjoni tal-Wafer għall-Kejl tal-Orjentazzjoni tal-Kristall Immaġni Dehru
  • Sistema ta' Orjentazzjoni tal-Wafer għall-Kejl tal-Orjentazzjoni tal-Kristall
  • Sistema ta' Orjentazzjoni tal-Wafer għall-Kejl tal-Orjentazzjoni tal-Kristall
  • Sistema ta' Orjentazzjoni tal-Wafer għall-Kejl tal-Orjentazzjoni tal-Kristall
  • Sistema ta' Orjentazzjoni tal-Wafer għall-Kejl tal-Orjentazzjoni tal-Kristall

Deskrizzjoni Qasira:

Strument tal-orjentazzjoni tal-wejfer huwa apparat ta' preċiżjoni għolja li juża prinċipji ta' diffrazzjoni tar-raġġi-X biex jottimizza l-proċessi tal-manifattura tas-semikondutturi u x-xjenza tal-materjali billi jiddetermina orjentazzjonijiet kristalografiċi. Il-komponenti ewlenin tiegħu jinkludu sors ta' raġġi-X (eż., Cu-Kα, wavelength ta' 0.154 nm), gonjometru ta' preċiżjoni (riżoluzzjoni angolari ≤0.001°), u ditekters (CCD jew counters ta' scintillazzjoni). Billi jdawwar il-kampjuni u janalizza x-xejriet tad-diffrazzjoni, jikkalkula l-indiċi kristalografiċi (eż., 100, 111) u l-ispazjar tal-kannizzata b'eżattezza ta' ±30 arksekonda. Is-sistema tappoġġja operazzjonijiet awtomatizzati, fissazzjoni bil-vakwu, u rotazzjoni b'ħafna assi, kompatibbli ma' wejfers ta' 2-8 pulzieri għal kejl rapidu tat-truf tal-wejfers, pjani ta' referenza, u allinjament tas-saff epitassjali. L-applikazzjonijiet ewlenin jinvolvu karbur tas-silikon orjentat lejn it-tqattigħ, wejfers taż-żaffir, u validazzjoni tal-prestazzjoni f'temperatura għolja tax-xafra tat-turbini, li jtejbu direttament il-proprjetajiet elettriċi taċ-ċippa u r-rendiment.


Karatteristiċi

Introduzzjoni tat-Tagħmir

L-istrumenti tal-orjentazzjoni tal-wejfer huma apparati ta' preċiżjoni bbażati fuq prinċipji ta' diffrazzjoni tar-raġġi-X (XRD), primarjament użati fil-manifattura tas-semikondutturi, materjali ottiċi, ċeramika, u industriji oħra ta' materjali kristallini.

Dawn l-istrumenti jiddeterminaw l-orjentazzjoni tal-kannizzata tal-kristall u jiggwidaw proċessi preċiżi ta' qtugħ jew illustrar. Il-karatteristiċi ewlenin jinkludu:

  • Kejl ta' preċiżjoni għolja:Kapaċi jirriżolvi pjani kristalografiċi b'riżoluzzjonijiet angolari sa 0.001°.
  • Kompatibilità ta' kampjuni kbar:Jappoġġja wejfers sa dijametru ta' 450 mm u piżijiet ta' 30 kg, adattati għal materjali bħal karbur tas-silikon (SiC), żaffir, u silikon (Si).
  • Disinn modulari:Funzjonalitajiet espansibbli jinkludu analiżi tal-kurva tat-tbandil, immappjar tad-difetti tal-wiċċ 3D, u apparati ta' stivar għall-ipproċessar ta' diversi kampjuni.

Parametri Tekniċi Ewlenin

Kategorija tal-Parametru

Valuri Tipiċi/Konfigurazzjoni

Sors tar-raġġi-X

Cu-Kα (punt fokali ta' 0.4×1 mm), vultaġġ ta' aċċelerazzjoni ta' 30 kV, kurrent tat-tubu aġġustabbli ta' 0–5 mA

​​Firxa Angolari​​

θ: -10° sa +50°; 2θ: -10° sa +100°

​​Preċiżjoni​​

Riżoluzzjoni tal-angolu tal-inklinazzjoni: 0.001°, skoperta ta' difetti fil-wiċċ: ±30 arksekonda (kurva tat-tbandil)

Veloċità tal-Iskennjar

L-iskan Omega jlesti l-orjentazzjoni sħiħa tal-kannizzata f'5 sekondi; l-iskan Theta jieħu ~1 minuta

​​Stadju tal-Kampjun​​

V-groove, ġbid pnewmatiku, rotazzjoni b'ħafna angoli, kompatibbli ma' wejfers ta' 2–8 pulzieri

Funzjonijiet Espansibbli

Analiżi tal-kurva tat-tbandil, immappjar 3D, apparat ta' stivar, skoperta ta' difetti ottiċi (grif, GBs)

Prinċipju ta' Ħidma

​​1. Fondazzjoni tad-Diffrazzjoni tar-Raġġi-X​​

  • Ir-raġġi-X jinteraġixxu man-nuklei atomiċi u l-elettroni fil-kannizzata tal-kristall, u jiġġeneraw mudelli ta' diffrazzjoni. Il-Liġi ta' Bragg (​​nλ = 2d sinθ​​) tirregola r-relazzjoni bejn l-angoli tad-diffrazzjoni (θ) u l-ispazjar tal-kannizzata (d).
    Id-ditekters jaqbdu dawn il-mudelli, li jiġu analizzati biex tiġi rikostruwita l-istruttura kristalografika.

2. Teknoloġija tal-Iskennjar Omega

  • Il-kristall idur kontinwament madwar assi fiss waqt li r-raġġi-X idawluh.
  • Id-ditekters jiġbru sinjali ta' diffrazzjoni fuq diversi pjani kristalografiċi, u b'hekk jippermettu d-determinazzjoni sħiħa tal-orjentazzjoni tal-kannizzata f'5 sekondi.

3. Analiżi tal-Kurva tat-Tbandil

  • Angolu tal-kristall fiss b'angoli ta' inċidenza tar-raġġi-X varji biex titkejjel il-wisa' tal-quċċata (FWHM), jiġu vvalutati d-difetti tal-kannizzata u t-tensjoni.

4. Kontroll Awtomatizzat

  • L-interfejsijiet tal-PLC u tat-touchscreen jippermettu angoli tat-tqattigħ issettjati minn qabel, feedback f'ħin reali, u integrazzjoni ma' magni tat-tqattigħ għal kontroll b'ċirkwit magħluq.

Strument tal-Orjentazzjoni tal-Wafer 7

Vantaġġi u Karatteristiċi

1. Preċiżjoni u Effiċjenza

  • Preċiżjoni angolari ±0.001°, riżoluzzjoni ta' skoperta ta' difetti <30 arksekonda.
  • Il-veloċità tal-iskan Omega hija 200× aktar mgħaġġla mill-iskans tradizzjonali Theta.

2. Modularità u Skalabbiltà

  • Espansibbli għal applikazzjonijiet speċjalizzati (eż., wejfers tas-SiC, xfafar tat-turbini).
  • Jintegra mas-sistemi MES għall-monitoraġġ tal-produzzjoni f'ħin reali.

​​3. Kompatibilità u Stabbiltà​​

  • Jakkomoda kampjuni b'forma irregolari (eż., ingotti tas-saffir imxaqqaq).
  • Disinn imkessaħ bl-arja jnaqqas il-ħtiġijiet ta' manutenzjoni.

4. Operazzjoni Intelliġenti

  • Kalibrazzjoni b'klikk waħda u pproċessar b'ħafna kompiti.
  • Kalibrazzjoni awtomatika bi kristalli ta' referenza biex jitnaqqas l-iżball uman.

Strument tal-Orjentazzjoni tal-Wafer 5-5

Applikazzjonijiet

1. Manifattura tas-Semikondutturi

  • Orjentazzjoni tat-tqattigħ tal-wejfer: Tiddetermina l-orjentazzjonijiet tal-wejfers tas-Si, tas-SiC, u tal-GaN għal effiċjenza ottimizzata tat-tqattigħ.
  • ​​Immappjar tad-difetti​​: Jidentifika grif jew dislokazzjonijiet tal-wiċċ biex itejjeb ir-rendiment taċ-ċippa.

2. Materjali Ottiċi

  • Kristalli mhux lineari (eż., LBO, BBO) għal apparati bil-lejżer.
  • Immarkar tal-wiċċ ta' referenza tal-wejfer taż-żaffir għal sottostrati LED.

​​3. Ċeramika u Komposti​​

  • Janalizza l-orjentazzjoni tal-qamħ f'Si3N4 u ZrO2 għal applikazzjonijiet ta' temperatura għolja.

4. Riċerka u Kontroll tal-Kwalità

  • Universitajiet/laboratorji għall-iżvilupp ta' materjali ġodda (eż., ligi b'entropija għolja).
  • QC industrijali biex tiġi żgurata l-konsistenza tal-lott.

Servizzi ta' XKH

XKH toffri appoġġ tekniku komprensiv tul iċ-ċiklu tal-ħajja għal strumenti ta' orjentazzjoni tal-wejfer, inkluż l-installazzjoni, l-ottimizzazzjoni tal-parametri tal-proċess, l-analiżi tal-kurva tat-tbandil, u l-immappjar tad-difetti tal-wiċċ 3D. Soluzzjonijiet imfassla apposta (eż., teknoloġija ta' stivar ta' ingotti) huma pprovduti biex itejbu l-effiċjenza tal-produzzjoni ta' materjali semikondutturi u ottiċi b'aktar minn 30%. Tim dedikat iwettaq taħriġ fuq il-post, filwaqt li appoġġ remot 24/7 u sostituzzjoni rapida tal-ispare parts jiżguraw l-affidabbiltà tat-tagħmir.

  • Preċedenti:
  • Li jmiss:

    • Prodotti Relatati

    Ikteb il-messaġġ tiegħek hawn u ibgħatu lilna
    Agħfas enter biex tfittex jew ESC biex tagħlaq