Stadju tal-Bearing tal-Ajru SiC ta' Ultra-Preċiżjoni

Stadju tal-Bearings tal-Ajru SiC ta' Ultra-Preċiżjoni Immaġni Dehru

Deskrizzjoni Qasira:

Bl-evoluzzjoni kontinwa tal-industrija tas-semikondutturi, it-tagħmir tal-ipproċessar u l-ispezzjoni jitlob prestazzjoni dejjem ogħla. Billi nibnu fuq kompetenza estensiva fil-kontroll tal-moviment u l-pożizzjonament fil-livell tan-nanometru, żviluppajna stadju tal-berings tal-arja ultra-preċiżjoni b'żewġ assi tat-tip H planari.

Ibgħatilna email

Karatteristiċi

Dijagramma dettaljata

Ħarsa ġenerali

Iddisinjat bi struttura taċ-ċeramika tas-silikon karbur (SiC) ottimizzata għall-elementi finiti u teknoloġija ta' berings tal-arja kkumpensati, l-istadju jagħti preċiżjoni, riġidità u rispons dinamiku eċċellenti. Huwa idealment adattat għal:

Ipproċessar u spezzjoni tas-semikondutturi
Fabbrikazzjoni u metroloġija mikro/nano
Qtugħ u lustrar bid-dubbiena fuq skala nanometrika
Skennjar ta' preċiżjoni b'veloċità għolja

Karatteristiċi Ewlenin

Gwida tal-berings tal-arja SiCgħal ebusija u preċiżjoni ultra-għolja
Dinamika għoljaveloċità sa 1 m/s, aċċelerazzjoni sa 4 g, issetiljar rapidu
Assi Y tal-gantry b'sewqan doppjujiżgura kapaċità ta' tagħbija għolja u stabbiltà
Għażliet tal-kodifikaturgradilja ottika jew interferometru tal-lejżer
Preċiżjoni tal-pożizzjonament±0.15 μm;ripetibbiltà±75 nm
Rottaġġ tal-kejbil ottimizzatgħal disinn nadif u affidabbiltà fit-tul
Konfigurazzjonijiet personalizzabbligħal bżonnijiet speċifiċi għall-applikazzjoni

Disinn ta' Ultra-Preċiżjoni & Arkitettura ta' Sewqan Dirett, Mingħajr Kuntatt

Qafas taċ-Ċeramika SiC~5× l-ebusija tal-liga tal-aluminju u ~5× espansjoni termali aktar baxxa, li tiżgura stabbiltà b'veloċità għolja u robustezza termali.
Kuxxinett tal-Ajru KkumpensatDisinn proprjetarju jtejjeb l-ebusija, il-kapaċità tat-tagħbija, u l-istabbiltà tal-moviment.
Prestazzjoni DinamikaJappoġġja veloċità ta' 1 m/s u aċċelerazzjoni ta' 4 g, ideali għal proċessi ta' produzzjoni għolja.
Integrazzjoni bla xkielKompatibbli ma' sistemi ta' iżolament tal-vibrazzjoni, stadji rotatorji, moduli ta' inklinazzjoni, u pjattaformi għall-immaniġġjar tal-wejfers.
Ġestjoni tal-KejbilsIr-raġġ tal-liwi kkontrollat jimminimizza l-istress għal ħajja ta' servizz estiża.

Mutur Lineari Mingħajr QalbaMoviment bla xkiel b'forza ta' cogging żero.
Sewqan b'ħafna muturiIt-tqegħid tal-mutur fil-pjan tat-tagħbija jtejjeb id-drittezza, il-pjanità u l-preċiżjoni angolari.
Iżolament TermaliIl-muturi huma iżolati mill-istruttura tal-palk; tkessiħ bl-arja jew bl-ilma mhux obbligatorju għal ċikli ta' xogħol għoli.

Speċifikazzjonijiet

Mudell	400-400	500-500	600-600
Assi	X (skennjar) / Y (pass)	X (skennjar) / Y (pass)	X (skennjar) / Y (pass)
Ivvjaġġar (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Preċiżjoni (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Ripetibbiltà (nm)	±75	±100	±100
Riżoluzzjoni (nm)	0.3	0.3	0.3
Veloċità Massima (m/s)	1	1	1
Aċċelerazzjoni (g)	4	4	4
Dritt (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Stabbiltà (nm)	±5	±5	±5
Tagħbija Massima (kg)	20	20	20
Inklinazzjoni/Roll/Yaw (ark-sek)	±1	±1	±1

Kundizzjonijiet tat-Test:

Provvista tal-arja: nadifa u niexfa; punt tan-nida ≤ 0°F; filtrazzjoni tal-partiċelli ≤ 0.25 μm; jew 99.99% nitroġenu.
Preċiżjoni mkejla 25 mm 'il fuq miċ-ċentru tal-istadju f'20±1 °C, 40–60% RH.

Applikazzjonijiet

Litografija, spezzjoni u mmaniġġjar tal-wejfers tas-semikondutturi
Fabbrikazzjoni mikro/nano u metroloġija ta' preċiżjoni
Manifattura ta' ottika ta' kwalità għolja u interferometrija
Riċerka aerospazjali u xjentifika avvanzata

Mistoqsijiet Frekwenti – Stadju tal-Ajru tas-Silikon Karbur

1. X'inhu stadju li fih l-arja?

Stadju li jġorr l-arja juża film irqiq ta' arja bi pressjoni bejn l-istadju u l-gwida biex jipprovdimoviment bla frizzjoni, mingħajr xedd, u ultra-bla xkielB'differenza mill-bearings mekkaniċi konvenzjonali, dan jelimina l-stick-slip, jagħti preċiżjoni fil-livell tan-nanometru, u jappoġġja affidabbiltà fit-tul.

2. Għaliex għandu jintuża l-karbur tas-silikon (SiC) għall-istruttura tal-palk?

Ebusija għolja~5× dak tal-liga tal-aluminju, u b'hekk timminimizza d-deformazzjoni waqt moviment dinamiku.
Espansjoni termali baxxa~5× inqas mill-aluminju, u b'hekk tinżamm l-eżattezza taħt varjazzjonijiet fit-temperatura.
ĦfiefDensità aktar baxxa meta mqabbla mal-azzar, li tippermetti tħaddim b'veloċità għolja u aċċelerazzjoni għolja.
Stabbiltà eċċellentiDamping u riġidità superjuri għal pożizzjonament ultra-preċiżjoni.

3. Il-palk jeħtieġ lubrikazzjoni jew manutenzjoni?

Mhija meħtieġa l-ebda lubrikazzjoni tradizzjonali peress li hemml-ebda kuntatt mekkanikuIl-manutenzjoni rakkomandata tinkludi:

Provvistaarja kkompressata jew nitroġenu nadif u niexef
Spezzjoni perjodika tal-filtri u d-dryer
Kejbils ta' monitoraġġ u sistemi ta' tkessiħ

4. X'inhuma r-rekwiżiti tal-provvista tal-arja?

Punt tan-nida: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtrazzjoni tal-partiċelli: ≤ 0.25 μm
Arja nadifa u niexfa jew nitroġenu pur ta' 99.99%
Pressjoni stabbli b'varjazzjoni minima

Dwarna

XKH tispeċjalizza fl-iżvilupp ta' teknoloġija għolja, il-produzzjoni, u l-bejgħ ta' ħġieġ ottiku speċjali u materjali ġodda tal-kristall. Il-prodotti tagħna jservu l-elettronika ottika, l-elettronika għall-konsumatur, u l-militar. Noffru komponenti ottiċi taż-żaffir, kisi tal-lentijiet tat-telefowns ċellulari, Ċeramika, LT, Silicon Carbide SIC, Kwarz, u wejfers tal-kristall semikondutturi. B'kompetenza tas-sengħa u tagħmir avvanzat, neċċellaw fl-ipproċessar ta' prodotti mhux standard, bil-għan li nkunu intrapriża ewlenija ta' teknoloġija għolja fil-materjali optoelettroniċi.