Furketta/id taċ-ċeramika tas-Silicon Carbide SiC għal Sistemi ta' Immaniġġjar Kritiku
Dijagramma dettaljata


Introduzzjoni ta' Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur tad-Driegħ/Id
Il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idhuwa komponent avvanzat żviluppat għal awtomazzjoni industrijali avvanzata, ipproċessar ta' semikondutturi, u ambjenti ultra-nodfa. L-arkitettura distinta tiegħu f'forma ta' furketta u l-wiċċ taċ-ċeramika ultra-ċatt jagħmluh ideali għall-immaniġġjar ta' sottostrati delikati, inklużi wejfers tas-silikon, pannelli tal-ħġieġ, u apparati ottiċi. Iddisinjat bi preċiżjoni u manifatturat minn karbur tas-silikon ultra-pur, il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjoffri saħħa mekkanika, affidabbiltà termali, u kontroll tal-kontaminazzjoni mingħajr paragun.
B'differenza minn dirgħajn konvenzjonali tal-metall jew tal-plastik, il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjagħti prestazzjoni stabbli f'kundizzjonijiet termali, kimiċi u tal-vakwu estremi. Kemm jekk jopera f'kamra nadifa tal-Klassi 1 jew f'kamra tal-plażma b'vakwu għoli, dan il-komponent jiżgura trasport sikur, effiċjenti u mingħajr residwi ta' partijiet ta' valur.
Bi struttura mfassla għal dirgħajn robotiċi, apparat li jimmaniġġja l-wejfers, u għodod ta' trasferiment awtomatizzati, il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idhuwa aġġornament intelliġenti għal kwalunkwe sistema ta' preċiżjoni għolja.


Proċess ta' Manifattura ta' Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur tad-Driegħ/Id
Il-ħolqien ta' prestazzjoni għoljaFurketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjinvolvi fluss tax-xogħol tal-inġinerija taċ-ċeramika kkontrollat b'mod strett li jiżgura ripetibbiltà, affidabbiltà, u rati ta' difetti ultra-baxxi.
1. Inġinerija tal-Materjali
Fil-fabbrikazzjoni tal-... jintuża biss trab tal-karbur tas-silikon ta' purità ultra-għolja...Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Id, li jiżgura kontaminazzjoni jonika baxxa u saħħa għolja tal-massa. It-trabijiet huma mħallta b'mod preċiż ma' addittivi tas-sinterizzazzjoni u sustanzi li jgħaqqdu biex tinkiseb densifikazzjoni ottimali.
2. Il-Formazzjoni tal-Istruttura Bażika
Il-ġeometrija tal-bażi tal-furketta driegħ/idhuwa ffurmat bl-użu ta' pressa iżostatika kiesħa jew iffurmar bl-injezzjoni, li jiżgura densità għolja ta' materjal aħdar u distribuzzjoni uniformi tal-istress. Il-konfigurazzjoni f'forma ta' U hija ottimizzata għall-proporzjon bejn l-ebusija u l-piż u r-rispons dinamiku.
3. Proċess ta' Sinterizzazzjoni
Il-ġisem aħdar tal-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idhuwa sinterizzat f'forn tal-gass inert b'temperatura għolja f'aktar minn 2000°C. Dan il-pass jiżgura densità kważi teoretika, u jipproduċi komponent li jirreżisti l-qsim, it-tgħawwiġ, u d-devjazzjoni dimensjonali taħt tagħbijiet termali tad-dinja reali.
4. Tħin u Makkinar ta' Preċiżjoni
Għodda avvanzata tad-djamanti CNC tintuża biex tifforma d-dimensjonijiet finali tal-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/IdTolleranzi stretti (±0.01 mm) u finitura tal-wiċċ b'livell ta' mera jnaqqsu r-rilaxx ta' partikuli u l-istress mekkaniku.
5. Kundizzjonament u Tindif tal-Wiċċ
L-irfinar finali tal-wiċċ jinkludi illustrar kimiku u tindif ultrasoniku biex jippreparafurketta driegħ/idgħal integrazzjoni diretta f'sistemi ultra-nodfa. Kisi fakultattiv (CVD-SiC, saffi anti-riflettivi) huwa wkoll disponibbli.
Dan il-proċess metikoluż jiggarantixxi li kull wieħedFurketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjissodisfa l-aktar standards industrijali stretti, inklużi r-rekwiżiti SEMI u ISO għal kmamar nodfa.
Parametru tad-Driegħ/Id tal-Furketta taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon
Oġġett | Kundizzjonijiet tat-Test | Dejta | Unità |
Kontenut ta' Karbur tas-Silikon | / | >99.5 | % |
Daqs Medju tal-Qamħ | / | 4-10 | mikron |
Densità | / | >3.14 | g/ċm3 |
Porożità Apparenti | / | <0.5 | Volum % |
Ebusija tal-Vickers | HV0.5 | 2800 | Kg/mm2 |
Modulu ta' Tifqigħ (3 Punti) | Daqs tal-bar tat-test: 3 x 4 x 40mm | 450 | MPa |
Saħħa tal-Kompressjoni | 20°Ċ | 3900 | MPa |
Modulu ta' Elastiċità | 20°Ċ | 420 | GPa |
Ebusija tal-Ksur | / | 3.5 | MPa/m1/2 |
Konduttività Termali | 20°Ċ | 160 | W/(mK) |
Reżistività Elettrika | 20°Ċ | 106-108 | Ωcm |
Koeffiċjent ta' Espansjoni Termali | 20°C-800°C | 4.3 | K-110-6 |
Temperatura Massima tal-Applikazzjoni | Atmosfera tal-Ossidu | 1600 | °Ċ |
Temperatura Massima tal-Applikazzjoni | Atmosfera Inerta | 1950 | °Ċ |
Applikazzjonijiet tad-Driegħ/Id tal-Furketta taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon
Il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/IdHuwa ddisinjat għall-użu f'applikazzjonijiet ta' preċiżjoni għolja, riskju għoli, u sensittivi għall-kontaminazzjoni. Jippermetti mmaniġġjar, trasferiment, jew appoġġ affidabbli ta' komponenti kritiċi mingħajr ebda kompromess.
➤ Industrija tas-Semikondutturi
-
Użat bħala furketta robotika fi stazzjonijiet ta' trasferiment ta' wejfers front-end u FOUP.
-
Integrat f'kmamar tal-vakwu għall-inċiżjoni tal-plażma u l-proċessi PVD/CVD.
-
Jiffunzjona bħala driegħ trasportatur fil-metroloġija u l-għodod tal-allinjament tal-wejfers.
Il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjelimina r-riskji ta' skariku elettrostatiku (ESD), jappoġġja l-preċiżjoni dimensjonali, u jirreżisti l-korrużjoni tal-plażma.
➤ Fotonika u Ottika
-
Jappoġġja lentijiet delikati, kristalli tal-lejżer, u sensuri waqt il-fabbrikazzjoni jew l-ispezzjoni.
L-ebusija għolja tiegħu tipprevjeni l-vibrazzjoni, filwaqt li l-korp taċ-ċeramika jirreżisti l-kontaminazzjoni tal-uċuħ ottiċi.
➤ Produzzjoni ta' Wirjiet u Panels
-
Jimmaniġġja ħġieġ irqiq, moduli OLED, u sottostrati LCD waqt it-trasport jew l-ispezzjoni.
Iċ-ċatt u kimikament inertFurketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjipproteġi kontra l-grif jew l-inċiżjoni kimika.
➤ Strumenti Aerospazjali u Xjentifiċi
-
Użat fl-assemblaġġ tal-ottika tas-satelliti, ir-robotika tal-vakwu, u s-setups tal-linja tar-raġġi tas-sinkrotron.
Jaħdem bla difetti f'kmamar nodfa ta' grad spazjali u f'ambjenti suxxettibbli għar-radjazzjoni.
F'kull qasam, il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Iditejjeb l-effiċjenza tas-sistema, inaqqas il-ħsara fil-partijiet, u jimminimizza l-ħin ta' waqfien.

Mistoqsijiet Frekwenti – Mistoqsijiet Frekwenti dwar id-Driegħ/l-Id tal-Furketta taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon
M1: X'jagħmel il-Furketta tad-Driegħ/Id taċ-Ċeramika tas-Silicon Carbide aħjar mill-alternattivi tal-metall?
Il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/IdGħandu ebusija superjuri, densità aktar baxxa, reżistenza kimika aħjar, u espansjoni termali ferm inqas mill-metalli. Huwa wkoll kompatibbli mal-kamra nadifa u ħieles mill-korrużjoni jew mill-ġenerazzjoni ta' partiċelli.
M2: Nista' nitlob dimensjonijiet apposta għad-Driegħ/Id tal-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur tiegħi?
Iva. Noffru personalizzazzjoni sħiħa, inkluż il-wisa' tal-furketta, il-ħxuna, it-toqob tal-immuntar, il-qtugħ, u t-trattamenti tal-wiċċ. Kemm jekk għal wejfers ta' 6", 8", jew 12", tiegħekfurketta driegħ/idjista' jiġi mfassal biex jaqbel.
M3: Kemm iddum id-Driegħ/Id tal-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silicon Carbide taħt il-plażma jew il-vakwu?
Bis-saħħa tal-materjal SiC ta' densità għolja u n-natura inerti, il-furketta driegħ/idJibqa' funzjonali anke wara eluf ta' ċikli ta' proċess. Juri xedd minimu taħt tagħbijiet aggressivi ta' sħana tal-plażma jew tal-vakwu.
M4: Il-prodott huwa adattat għal kmamar nodfa tal-Klassi 1 tal-ISO?
Assolutament. L-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idhuwa manifatturat u ppakkjat f'faċilitajiet ta' kmamar nodfa ċċertifikati, b'livelli ta' partiċelli ferm taħt ir-rekwiżiti tal-Klassi 1 tal-ISO.
M5: X'inhi t-temperatura massima tat-tħaddim għal din id-driegħ/id tal-furketta?
Il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjista' jopera kontinwament sa 1500°C, u b'hekk ikun adattat għall-użu dirett f'kmamar tal-proċess b'temperatura għolja u sistemi ta' vakwu termali.
Dawn il-FAQs jirriflettu l-aktar tħassib tekniku komuni minn inġiniera, maniġers tal-laboratorji, u integraturi tas-sistema li jużaw il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Id.
Dwarna
XKH tispeċjalizza fl-iżvilupp ta' teknoloġija għolja, il-produzzjoni, u l-bejgħ ta' ħġieġ ottiku speċjali u materjali ġodda tal-kristall. Il-prodotti tagħna jservu l-elettronika ottika, l-elettronika għall-konsumatur, u l-militar. Noffru komponenti ottiċi taż-żaffir, kisi tal-lentijiet tat-telefowns ċellulari, Ċeramika, LT, Silicon Carbide SIC, Kwarz, u wejfers tal-kristall semikondutturi. B'kompetenza tas-sengħa u tagħmir avvanzat, neċċellaw fl-ipproċessar ta' prodotti mhux standard, bil-għan li nkunu intrapriża ewlenija ta' teknoloġija għolja fil-materjali optoelettroniċi.
