Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Id
Dijagramma dettaljata


Introduzzjoni ta' Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur tad-Driegħ/Id
Il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idhuwa komponent avvanzat għall-immaniġġjar żviluppat għal sistemi ta' awtomazzjoni ta' preċiżjoni għolja, partikolarment fl-industriji tas-semikondutturi u ottiċi. Dan il-komponent għandu disinn distintiv f'forma ta' U ottimizzat għall-immaniġġjar tal-wejfers, li jiżgura kemm is-saħħa mekkanika kif ukoll l-eżattezza dimensjonali taħt kundizzjonijiet ambjentali estremi. Magħmul minn ċeramika tal-karbur tas-silikon ta' purità għolja, il-furketta driegħ/idjagħti riġidità eċċezzjonali, stabbiltà termali, u reżistenza kimika.
Hekk kif l-apparati semikondutturi jevolvu lejn ġeometriji aktar fini u tolleranzi aktar stretti, id-domanda għal komponenti ħielsa mill-kontaminazzjoni u termalment stabbli ssir kritika. Il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjilqa' din l-isfida billi joffri ġenerazzjoni baxxa ta' partiċelli, uċuħ ultra-lixxi, u integrità strutturali robusta. Kemm jekk fit-trasport tal-wejfers, fil-pożizzjonament tas-sottostrat, jew fir-ras tal-għodda robotiċi, dan il-komponent huwa ddisinjat għall-affidabbiltà u l-lonġevità.
Raġunijiet ewlenin biex tagħżel danFurketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjinkludu:
-
Espansjoni termali minima għal preċiżjoni dimensjonali
-
Ebusija għolja għal ħajja twila ta' servizz
-
Reżistenza għall-aċidi, l-alkali, u l-gassijiet reattivi
-
Kompatibilità ma' ambjenti ta' kmamar nodfa tal-Klassi 1 tal-ISO


Prinċipju tal-Manifattura tad-Driegħ/Id tal-Furketta taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon
Il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idhuwa prodott permezz ta' fluss tax-xogħol tal-ipproċessar taċ-ċeramika kkontrollat ħafna ddisinjat biex jiżgura proprjetajiet tal-materjal superjuri u konsistenza dimensjonali.
1. Preparazzjoni tat-Trab
Il-proċess jibda bl-għażla ta' trabijiet ultra-fini tal-karbur tas-silikon. Dawn it-trabijiet jitħalltu ma' sustanzi li jgħaqqdu u għajnuniet għas-sinterizzazzjoni biex jiffaċilitaw il-kompattazzjoni u d-densifikazzjoni. Għal danfurketta driegħ/id, Trabijiet β-SiC jew α-SiC jintużaw biex jiżguraw kemm l-ebusija kif ukoll it-reżistenza.
2. Iffurmar u Preformazzjoni
Skont il-kumplessità tal-furketta driegħ/idFid-disinn, il-parti tiġi ffurmata bl-użu ta' pressa iżostatika, iffurmar bl-injezzjoni, jew ikkastjar biż-żliq. Dan jippermetti ġeometriji kumplessi u strutturi b'ħitan irqaq, kruċjali għan-natura ħafifa tal-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Id.
3. Sinterizzazzjoni f'Temperatura Għolja
Is-sinterizzazzjoni titwettaq f'temperaturi 'l fuq minn 2000°C f'atmosferi ta' vakwu jew argon. Dan l-istadju jittrasforma l-korp aħdar f'komponent taċ-ċeramika kompletament densifikat. Is-sinterizzazzjonifurketta driegħ/idjikseb densità kważi teoretika, u jipprovdi proprjetajiet mekkaniċi u termali eċċellenti.
4. Makkinar ta' Preċiżjoni
Wara s-sinterizzazzjoni, l-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjgħaddi minn tħin tad-djamanti u makkinar CNC. Dan jiżgura ċattità fi ħdan ±0.01 mm u jippermetti l-inklużjoni ta' toqob tal-immuntar u karatteristiċi ta' lokalizzazzjoni kritiċi għall-installazzjoni tiegħu f'sistemi awtomatizzati.
5. Irfinar tal-wiċċ
Il-lostru jnaqqas l-irqaq tal-wiċċ (Ra < 0.02 μm), essenzjali għat-tnaqqis tal-ġenerazzjoni tal-partikuli. Kisi CVD fakultattiv jista' jiġi applikat biex tittejjeb ir-reżistenza tal-plażma jew tiżdied il-funzjonalità bħal imġieba antistatika.
Matul dan il-proċess, jiġu applikati protokolli ta' kontroll tal-kwalità biex jiggarantixxuFurketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjaħdem b'mod affidabbli fl-aktar applikazzjonijiet sensittivi.
Parametri tad-Driegħ/Id tal-Furketta taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon
Speċifikazzjonijiet Prinċipali tal-Kisi CVD-SIC | ||
Proprjetajiet tas-SiC-CVD | ||
Struttura tal-Kristall | Fażi β tal-FCC | |
Densità | g/ċm³ | 3.21 |
Ebusija | Ebusija Vickers | 2500 |
Daqs tal-Qamħ | μm | 2~10 |
Purità Kimika | % | 99.99995 |
Kapaċità tas-Sħana | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
Temperatura tas-Sublimazzjoni | ℃ | 2700 |
Saħħa Flexural | MPa (RT 4 punti) | 415 |
Modulu ta' Young | Gpa (liwja ta' 4pt, 1300℃) | 430 |
Espansjoni Termali (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
Konduttività termali | (W/mK) | 300 |
Applikazzjonijiet tad-Driegħ/Id tal-Furketta taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon
Il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjintuża ħafna f'industriji fejn purità għolja, stabbiltà, u preċiżjoni mekkanika huma essenzjali. Dawn jinkludu:
1. Manifattura tas-Semikondutturi
Fil-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi, il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjintuża biex jittrasporta wejfers tas-silikon f'għodod tal-proċess bħal kmamar tal-inċiżjoni, sistemi ta' depożizzjoni, u tagħmir ta' spezzjoni. Ir-reżistenza termali u l-eżattezza dimensjonali tiegħu jagħmluh ideali biex jimminimizza l-allinjament ħażin tal-wejfers u l-kontaminazzjoni.
2. Produzzjoni ta' Panels tal-Wiri
Fil-manifattura tal-wiri OLED u LCD, il-furketta driegħ/idjiġi applikat f'sistemi pick-and-place, fejn jimmaniġġja sottostrati tal-ħġieġ fraġli. Il-massa baxxa u r-riġidità għolja tiegħu jippermettu moviment veloċi u stabbli mingħajr vibrazzjoni jew deflessjoni.
3. Sistemi Ottiċi u Fotoniċi
Għall-allinjament u l-pożizzjonament ta' lentijiet, mirja, jew ċipep fotoniċi, il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjoffri appoġġ mingħajr vibrazzjoni, kritiku fl-ipproċessar tal-lejżer u fl-applikazzjonijiet tal-metroloġija ta' preċiżjoni.
4. Sistemi Aerospazjali u tal-Vakwu
Fis-sistemi ottiċi tal-ajruspazju u l-istrumenti tal-vakwu, l-istruttura mhux manjetika u reżistenti għall-korrużjoni ta' dan il-komponent tiżgura stabbiltà fit-tul. Il-furketta driegħ/idjista' jopera wkoll f'vakwu ultra-għoli (UHV) mingħajr ma joħroġ gass.
F'dawn l-oqsma kollha, il-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjegħleb l-alternattivi tradizzjonali tal-metall jew tal-polimeru fl-affidabbiltà, l-indafa, u l-ħajja tas-servizz.

Mistoqsijiet Frekwenti dwar id-Driegħ/l-Id tal-Furketta taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon
M1: Liema daqsijiet ta' wejfers huma appoġġjati mis-Silicon Carbide Ceramic Fork Arm/Hand?
Il-furketta driegħ/idjista' jiġi personalizzat biex jappoġġja wejfers ta' 150 mm, 200 mm, u 300 mm. Il-firxa tal-furketta, il-wisa' tad-driegħ, u l-mudelli tat-toqob jistgħu jiġu mfassla biex jaqblu mal-pjattaforma speċifika tal-awtomazzjoni tiegħek.
M2: Id-Driegħ/Id tal-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silicon Carbide hija kompatibbli mas-sistemi tal-vakwu?
Iva. L-furketta driegħ/idhuwa adattat kemm għal sistemi ta' vakwu baxx kif ukoll għal sistemi ta' vakwu ultra-għoli. Għandu rati baxxi ta' ħruġ ta' gass u ma jirrilaxxax partikuli, u dan jagħmilha ideali għal ambjenti ta' kmamar nodfa u vakwu.
M3: Nista' nżid kisi jew modifiki tal-wiċċ mad-driegħ/id tal-furketta?
Ċertament. L-Furketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjista' jkun miksi b'saffi CVD-SiC, karbonju, jew ossidu biex itejjeb ir-reżistenza tal-plażma tiegħu, il-proprjetajiet anti-statiċi, jew l-ebusija tal-wiċċ.
M4: Kif tiġi vverifikata l-kwalità tad-driegħ/id tal-furketta?
Kull wieħedFurketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Idjgħaddi minn spezzjoni dimensjonali bl-użu ta' għodod CMM u metroloġiċi bil-lejżer. Il-kwalità tal-wiċċ tiġi evalwata permezz ta' SEM u profilometrija mingħajr kuntatt biex tissodisfa l-istandards ISO u SEMI.
M5: X'inhu l-ħin taċ-ċomb għall-ordnijiet tad-driegħ/id tal-furketta apposta?
Il-ħin taċ-ċomb tipikament ivarja minn 3 sa 5 ġimgħat skont il-kumplessità u l-kwantità. Prototipar rapidu huwa disponibbli għal talbiet urġenti.
Dawn il-FAQs għandhom l-għan li jgħinu lill-inġiniera u lit-timijiet tal-akkwist jifhmu l-kapaċitajiet u l-għażliet disponibbli meta jagħżluFurketta taċ-Ċeramika tas-Silikon Karbur Driegħ/Id.
Dwarna
XKH tispeċjalizza fl-iżvilupp ta' teknoloġija għolja, il-produzzjoni, u l-bejgħ ta' ħġieġ ottiku speċjali u materjali ġodda tal-kristall. Il-prodotti tagħna jservu l-elettronika ottika, l-elettronika għall-konsumatur, u l-militar. Noffru komponenti ottiċi taż-żaffir, kisi tal-lentijiet tat-telefowns ċellulari, Ċeramika, LT, Silicon Carbide SIC, Kwarz, u wejfers tal-kristall semikondutturi. B'kompetenza tas-sengħa u tagħmir avvanzat, neċċellaw fl-ipproċessar ta' prodotti mhux standard, bil-għan li nkunu intrapriża ewlenija ta' teknoloġija għolja fil-materjali optoelettroniċi.
