Pala tal-Cantilever tas-Silikon Karbur (Pala tal-Cantilever SiC)

Deskrizzjoni Qasira:

Ibgħatilna email

Karatteristiċi

Dijagramma dettaljata

Ħarsa Ġenerali lejn il-Prodott

Il-pala cantilever tas-silikon karbur, manifatturata minn silikon karbur marbut b'reazzjoni ta' prestazzjoni għolja (RBSiC), hija komponent kritiku użat f'sistemi ta' tagħbija u mmaniġġjar ta' wejfers għal applikazzjonijiet ta' semikondutturi u fotovoltajċi.
Meta mqabbla mal-paletti tradizzjonali tal-kwarz jew tal-grafita, il-paletti cantilever tas-SiC joffru saħħa mekkanika superjuri, ebusija għolja, espansjoni termali baxxa, u reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti. Huma jżommu stabbiltà strutturali eċċellenti taħt temperaturi għoljin, u jissodisfaw ir-rekwiżiti stretti ta' daqsijiet kbar tal-wejfers, ħajja ta' servizz estiża, u kontaminazzjoni ultra-baxxa.

Bl-iżvilupp kontinwu ta' proċessi tas-semikondutturi lejn dijametri akbar tal-wejfers, produzzjoni ogħla, u ambjenti ta' pproċessar aktar nodfa, il-paletti cantilever tas-SiC gradwalment issostitwixxu l-materjali konvenzjonali, u saru l-għażla preferuta għal fran tad-diffużjoni, LPCVD, u tagħmir relatat ta' temperatura għolja.

Karatteristiċi tal-Prodott

Stabbiltà Eċċellenti f'Temperatura Għolja
- Jaħdem b'mod affidabbli f'1000–1300 ℃ mingħajr deformazzjoni.
- Temperatura massima tas-servizz sa 1380℃.
Kapaċità Għolja li Tiflaħ it-Tagħbija
- Saħħa tal-liwi sa 250–280 MPa, ħafna ogħla mill-paletti tal-kwarz.
- Kapaċi jimmaniġġja wejfers b'dijametru kbir (300 mm u aktar).
Ħajja ta' Servizz Estiża & Manutenzjoni Baxxa
- Koeffiċjent baxx ta' espansjoni termali (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), imqabbel tajjeb mal-materjali tal-kisi LPCVD.
- Inaqqas ix-xquq u t-tqaxxir ikkawżati mill-istress, u b'hekk itawwal b'mod sinifikanti ċ-ċikli tat-tindif u l-manutenzjoni.
Reżistenza għall-Korrużjoni u Purità
- Reżistenza eċċellenti għall-aċidi u l-alkali.
- Mikrostruttura densa b'porożità miftuħa <0.1%, li timminimizza l-ġenerazzjoni ta' partiċelli u r-rilaxx ta' impuritajiet.
Disinn Kompatibbli mal-Awtomazzjoni
- Ġeometrija trasversali stabbli b'eżattezza dimensjonali għolja.
- Jintegra bla xkiel mas-sistemi robotiċi tat-tagħbija u l-ħatt tal-wejfers, u b'hekk jippermetti produzzjoni kompletament awtomatizzata.

Proprjetajiet Fiżiċi u Kimiċi

Oġġett	Unità	Dejta
Temperatura Massima tas-Servizz	℃	1380
Densità	g/ċm³	3.04 – 3.08
Porożità Miftuħa	%	< 0.1
Saħħa tal-Liwi	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
Modulu tal-Elastiċità	GPa	330 (20℃), 300 (1200℃)
Konduttività Termali	W/m·K	45 (1200℃)
Koeffiċjent ta' Espansjoni Termali	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Ebusija tal-Vickers	HV2	≥ 2100
Reżistenza għall-Aċidu/Alkalin	-	Eċċellenti

Tulijiet standard:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Dimensjonijiet tad-dwana disponibbli fuq talba

Applikazzjonijiet

Industrija tas-Semikondutturi
- LPCVD (Depożizzjoni Kimika tal-Fwar bi Pressjoni Baxxa)
- Proċessi ta' diffużjoni (fosfru, boron, eċċ.)
- Ossidazzjoni termali
Industrija Fotovoltajka
- Diffużjoni u kisi tal-wejfers tal-polisilikon u monokristallini
- It-tempra u l-passivazzjoni f'temperatura għolja
Oqsma Oħra
- Ambjenti korrużivi b'temperatura għolja
- Sistemi ta' mmaniġġjar ta' wejfers ta' preċiżjoni li jeħtieġu ħajja twila ta' servizz u kontaminazzjoni baxxa

Benefiċċji tal-Klijent

Spejjeż Operattivi Mnaqqsa– Ħajja itwal meta mqabbla mal-paletti tal-kwarz, li timminimizza l-ħin ta' waqfien u l-frekwenza tas-sostituzzjoni.
Rendiment Ogħla– Kontaminazzjoni estremament baxxa tiżgura ndafa tal-wiċċ tal-wejfer u tnaqqas ir-rati tad-difetti.
Prova għall-Ġejjieni– Kompatibbli ma' daqsijiet kbar ta' wejfers u proċessi ta' semikondutturi tal-ġenerazzjoni li jmiss.
Produttività Mtejba– Kompatibbli bis-sħiħ mas-sistemi ta' awtomazzjoni robotiċi, li jappoġġjaw il-manifattura ta' volum għoli.

Mistoqsijiet Frekwenti – Pala tal-Cantilever tal-Karbur tas-Silikon

M1: X'inhi pala cantilever tas-silikon karbur?
A: Huwa komponent ta' appoġġ u mmaniġġjar tal-wejfer magħmul minn karbur tas-silikon marbut bir-reazzjoni (RBSiC). Jintuża ħafna f'fran tad-diffużjoni, LPCVD, u proċessi oħra ta' semikondutturi u fotovoltajċi f'temperatura għolja.

M2: Għaliex tagħżel SiC fuq paletti tal-kwarz?
A: Meta mqabbla mal-paletti tal-kwarz, il-paletti tas-SiC joffru:

Saħħa mekkanika ogħla u kapaċità li ġġorr it-tagħbija
Stabbiltà termali aħjar f'temperaturi sa 1380 ℃
Ħajja ta' servizz ħafna itwal u ċikli ta' manutenzjoni mnaqqsa
Ġenerazzjoni aktar baxxa ta' partiċelli u riskju ta' kontaminazzjoni
Kompatibilità ma' daqsijiet akbar ta' wejfers (300 mm u aktar)

M3: Liema daqsijiet ta' wejfers tista' tappoġġja l-pala cantilever tas-SiC?
A: Hemm disponibbli paletti standard għal sistemi ta' forn ta' 2378 mm, 2550 mm, u 2660 mm. Hemm disponibbli dimensjonijiet personalizzati biex jappoġġjaw wejfers sa 300 mm u aktar.

Dwarna

XKH tispeċjalizza fl-iżvilupp ta' teknoloġija għolja, il-produzzjoni, u l-bejgħ ta' ħġieġ ottiku speċjali u materjali ġodda tal-kristall. Il-prodotti tagħna jservu l-elettronika ottika, l-elettronika għall-konsumatur, u l-militar. Noffru komponenti ottiċi taż-żaffir, kisi tal-lentijiet tat-telefowns ċellulari, Ċeramika, LT, Silicon Carbide SIC, Kwarz, u wejfers tal-kristall semikondutturi. B'kompetenza tas-sengħa u tagħmir avvanzat, neċċellaw fl-ipproċessar ta' prodotti mhux standard, bil-għan li nkunu intrapriża ewlenija ta' teknoloġija għolja fil-materjali optoelettroniċi.