Grafit tal-pjanċa tat-trej taċ-ċeramika SiC b'kisja CVD SiC għat-tagħmir

Grafit tal-pjanċa tat-trej taċ-ċeramika SiC b'kisja ta 'CVD SiC għal tagħmir Dehru Dehru

Deskrizzjoni qasira:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd tipproduċi Φ380mm–Φ600mm diska tal-inċiżjoni tas-semikondutturi, disk li jġorr il-wejfer, trej tal-karbur tas-silikon, trej SIC, trej tal-karbur tas-silikon, trej tal-inċiżjoni ICP, trej tal-inċiżjoni, purità tal-karbur tas-silikon> 99.9%, ħajja tas-servizz tat-trej SIC huwa erba 'darbiet dak tat-trej CVD ibbażat fuq il-grafita, użu fit-tul mingħajr deformazzjoni, Reżistenti għall-aċidu FH, korrużjoni H2So4 konċentrata.

Ibgħat email lilna

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Iċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon mhux biss tintuża fl-istadju tad-depożizzjoni tal-film irqiq, bħal epitaxy jew MOCVD, jew fl-ipproċessar tal-wejfer, li fil-qalba tiegħu t-trejs tal-ġarr tal-wejfer għall-MOCVD huma l-ewwel soġġetti għall-ambjent tad-depożizzjoni, u għalhekk huma reżistenti ħafna għal sħana u korrużjoni.Il-ġarriera miksija bis-SiC għandhom ukoll konduttività termali għolja u proprjetajiet ta 'distribuzzjoni termali eċċellenti.

Deposizzjoni Kimika Pura tal-Fwar tas-Silikon Carbide (CVD SiC) wejfer trasportaturi għall-ipproċessar ta 'Deposizzjoni ta' Fwar Kimiku Organiku tal-Metall f'temperatura għolja (MOCVD).

It-trasportaturi tal-wejfer CVD SiC puri huma superjuri b'mod sinifikanti għat-trasportaturi tal-wejfer konvenzjonali użati f'dan il-proċess, li huma tal-grafita u miksija b'saff ta 'CVD SiC.dawn it-trasportaturi miksija bbażati fuq il-grafita ma jistgħux jifilħu t-temperaturi għoljin (1100 sa 1200 grad Celsius) meħtieġa għad-depożizzjoni GaN tal-lum led blu u abjad ta 'luminożità għolja.It-temperaturi għoljin jikkawżaw li l-kisja tiżviluppa pinholes ċkejkna li permezz tagħhom il-kimiċi tal-proċess jonqsu l-grafita taħt.Il-partiċelli tal-grafita mbagħad jitfarrku u jikkontaminaw il-GaN, u b'hekk it-trasportatur tal-wejfer miksi jiġi sostitwit.

CVD SiC għandu purità ta '99.999% jew aktar u għandu konduttività termali għolja u reżistenza għal xokk termali.Għalhekk, jista 'jiflaħ it-temperaturi għoljin u l-ambjenti ħarxa ta' manifattura LED ta 'luminożità għolja.Huwa materjal monolitiku solidu li jilħaq densità teoretika, jipproduċi partiċelli minimi, u juri reżistenza għolja ħafna għall-korrużjoni u l-erożjoni.Il-materjal jista 'jbiddel l-opaċità u l-konduttività mingħajr ma jintroduċi impuritajiet metalliċi.It-trasportaturi tal-wejfer huma tipikament ta '17-il pulzier fid-dijametru u jistgħu jżommu sa 40 wejfer ta' 2-4 pulzier.