Driegħ tal-Furketta taċ-Ċeramika SiC / Effettur tat-Tmiem – Immaniġġjar ta' Preċiżjoni Avvanzat għall-Manifattura tas-Semikondutturi

Deskrizzjoni Qasira:

Id-Driegħ tal-Furketta taċ-Ċeramika SiC, spiss imsejjaħ Effettur tat-Tmiem taċ-Ċeramika, huwa komponent ta' preċiżjoni ta' prestazzjoni għolja żviluppat speċifikament għat-trasport, l-allinjament u l-pożizzjonament tal-wejfers f'industriji ta' teknoloġija għolja, partikolarment fil-produzzjoni tas-semikondutturi u l-fotovoltajka. Fabbrikat bl-użu ta' ċeramika tal-karbur tas-silikon ta' purità għolja, dan il-komponent jikkombina saħħa mekkanika eċċezzjonali, espansjoni termali ultra-baxxa, u reżistenza superjuri għal xokk termali u korrużjoni.

Ibgħatilna email

Karatteristiċi

Dijagramma dettaljata

Ħarsa Ġenerali lejn il-Prodott

B'differenza mill-end effectors tradizzjonali magħmula mill-aluminju, l-azzar inossidabbli, jew saħansitra l-kwarz, l-end effectors taċ-ċeramika SiC joffru prestazzjoni mingħajr paragun f'kmamar tal-vakwu, kmamar nodfa, u ambjenti ta' pproċessar ħorox, u dan jagħmilhom parti ewlenija mir-robots tal-immaniġġjar tal-wejfers tal-ġenerazzjoni li jmiss. Biż-żieda fid-domanda għal produzzjoni ħielsa mill-kontaminazzjoni u tolleranzi aktar stretti fil-manifattura taċ-ċipep, l-użu ta' end effectors taċ-ċeramika qed isir malajr l-istandard tal-industrija.

Prinċipju tal-Manifattura

Il-fabbrikazzjoni ta'Effetturi tat-Tmiem taċ-Ċeramika SiCjinvolvi serje ta' proċessi ta' preċiżjoni għolja u purità għolja li jiżguraw kemm il-prestazzjoni kif ukoll id-durabbiltà. Tipikament jintużaw żewġ proċessi ewlenin:

Karbur tas-Silikon Magħqud bir-Reazzjoni (RB-SiC)

F'dan il-proċess, preforma magħmula minn trab u sustanza li tgħaqqad il-karbur tas-silikon tiġi infiltrata b'silikon imdewweb f'temperaturi għoljin (~1500°C), li jirreaġixxi mal-karbonju residwu biex jifforma kompost SiC-Si dens u riġidu. Dan il-metodu joffri kontroll dimensjonali eċċellenti u huwa kosteffettiv għall-produzzjoni fuq skala kbira.

Karbur tas-Silikon Sinterizzat mingħajr Pressjoni (SSiC)

L-SSiC isir billi jiġi sinterizzat trab tas-SiC ultra-fin u ta' purità għolja f'temperaturi estremament għoljin (>2000°C) mingħajr l-użu ta' addittivi jew fażi li tgħaqqad. Dan jirriżulta fi prodott b'densità ta' kważi 100% u l-ogħla proprjetajiet mekkaniċi u termali disponibbli fost il-materjali tas-SiC. Huwa ideali għal applikazzjonijiet ta' mmaniġġjar ta' wejfers ultra-kritiċi.

Wara l-Ipproċessar

Makkinar CNC ta' PreċiżjoniJikseb ċattità u paralleliżmu għoli.
Irfinar tal-wiċċIl-lostru tad-djamanti jnaqqas l-irqaq tal-wiċċ għal <0.02 µm.
SpezzjoniInterferometrija ottika, CMM, u ttestjar mhux distruttiv jintużaw biex jivverifikaw kull biċċa.

Dawn il-passi jiggarantixxu li l-Effettur tat-tarf tas-SiCjagħti preċiżjoni konsistenti fit-tqegħid tal-wejfer, planarità eċċellenti, u ġenerazzjoni minima ta' partiċelli.

Karatteristiċi u Benefiċċji Ewlenin

Karatteristika	Deskrizzjoni
Ebusija Ultra-Għolja	Ebusija Vickers > 2500 HV, reżistenti għall-użu u t-tqattigħ.
Espansjoni Termali Baxxa	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, li jippermetti stabbiltà dimensjonali fiċ-ċikliżmu termali.
Inerzja Kimika	Reżistenti għall-HF, HCl, gassijiet tal-plażma, u aġenti korrużivi oħra.
Reżistenza Eċċellenti għal Xokkijiet Termali	Adattat għal tisħin/tkessiħ rapidu f'sistemi tal-vakwu u tal-forn.
Riġidità u Saħħa Għolja	Jappoġġja dirgħajn twal tal-furketta cantilevered mingħajr deflessjoni.
Emissjoni baxxa ta' gass	Ideali għal ambjenti ta' vakwu ultra-għoli (UHV).
Lest għall-Kamra Nadifa tal-Klassi ISO 1	It-tħaddim mingħajr partiċelli jiżgura l-integrità tal-wejfer.

Applikazzjonijiet

Id-Driegħ tal-Furketta / l-Effettur tat-Tmiem tas-SiC taċ-Ċeramika jintuża ħafna f'industriji li jeħtieġu preċiżjoni estrema, ndafa, u reżistenza kimika. Ix-xenarji ewlenin tal-applikazzjoni jinkludu:

Manifattura tas-Semikondutturi

Tagħbija/ħatt ta' wejfers f'sistemi ta' depożizzjoni (CVD, PVD), inċiżjoni (RIE, DRIE), u tindif.
Trasport robotiku ta' wejfers bejn FOUPs, cassettes, u għodod tal-proċess.
Immaniġġjar ta' temperaturi għoljin waqt l-ipproċessar termali jew it-temprar.

Produzzjoni ta' Ċelloli Fotovoltajċi

Trasport delikat ta' wejfers tas-silikon fraġli jew sottostrati solari f'linji awtomatizzati.

Industrija tal-Wiri fuq Pannelli Ċatti (FPD)

Ċaqliq ta' pannelli jew sottostrati kbar tal-ħġieġ f'ambjenti ta' produzzjoni OLED/LCD.

Semikonduttur Kompost / MEMS

Użat f'linji ta' fabbrikazzjoni GaN, SiC, u MEMS fejn il-kontroll tal-kontaminazzjoni u l-preċiżjoni tal-pożizzjonament huma kruċjali.

Ir-rwol tiegħu ta' effettur finali huwa speċjalment kritiku biex jiżgura immaniġġjar stabbli u mingħajr difetti waqt operazzjonijiet sensittivi.

Kapaċitajiet ta' Personalizzazzjoni

Noffru adattament estensiv biex nilħqu rekwiżiti varji ta' tagħmir u proċess:

Disinn tal-FurkettaLayouts b'żewġ ponot, b'ħafna swaba', jew b'livelli maqsuma.
Kompatibilità tad-Daqs tal-WaferMinn wejfers ta' 2” sa 12”.
Interfejsijiet tal-ImmuntarKompatibbli ma' dirgħajn robotiċi OEM.
Tolleranzi tal-Ħxuna u tal-WiċċĊatt fil-livell tal-mikron u arrotondament tat-truf disponibbli.
Karatteristiċi Kontra ż-ŻlieqTessuti jew kisi tal-wiċċ mhux obbligatorji għal qabda sigura tal-wejfer.

Kull wieħedeffettur tat-tarf taċ-ċeramikahuwa ddisinjat flimkien mal-klijenti biex jiżgura twaħħil preċiż b'bidliet minimi fl-għodda.

Mistoqsijiet Frekwenti (FAQ)

M1: Kif inhu s-SiC aħjar mill-kwarz għal applikazzjoni ta' end effector?
A1:Filwaqt li l-kwarz jintuża komunement għall-purità tiegħu, m'għandux reżistenza mekkanika u huwa suxxettibbli għall-ksur taħt tagħbija jew xokk tat-temperatura. Is-SiC joffri saħħa superjuri, reżistenza għall-użu, u stabbiltà termali, u jnaqqas b'mod sinifikanti r-riskju ta' waqfien u ħsara lill-wejfer.

M2: Din id-driegħ tal-furketta taċ-ċeramika huwa kompatibbli mal-handlers robotiċi kollha tal-wejfers?
A2:Iva, l-effetturi tat-tarf taċ-ċeramika tagħna huma kompatibbli mal-biċċa l-kbira tas-sistemi ewlenin tal-immaniġġjar tal-wejfers u jistgħu jiġu adattati għall-mudelli robotiċi speċifiċi tiegħek bi tpinġijiet preċiżi tal-inġinerija.

M3: Jista' jimmaniġġja wejfers ta' 300 mm mingħajr ma jitgħawweġ?
A3:Assolutament. Ir-riġidità għolja tas-SiC tippermetti li anke dirgħajn irqaq u twal tal-furketta jżommu wejfers ta' 300 mm b'mod sigur mingħajr ma jiċċaqalqu jew jitgħawġu waqt il-moviment.

M4: X'inhi l-ħajja tas-servizz tipika ta' end effector taċ-ċeramika SiC?
A4:Bl-użu xieraq, end effector tas-SiC jista' jdum minn 5 sa 10 darbiet aktar mill-mudelli tradizzjonali tal-kwarz jew tal-aluminju, grazzi għar-reżistenza eċċellenti tiegħu għall-istress termali u mekkaniku.

M5: Toffru sostituzzjonijiet jew servizzi ta' prototipazzjoni rapida?
A5:Iva, aħna nappoġġjaw produzzjoni rapida ta' kampjuni u noffru servizzi ta' sostituzzjoni bbażati fuq tpinġijiet CAD jew partijiet b'inġinerija inversa minn tagħmir eżistenti.

Dwarna

XKH tispeċjalizza fl-iżvilupp ta' teknoloġija għolja, il-produzzjoni, u l-bejgħ ta' ħġieġ ottiku speċjali u materjali ġodda tal-kristall. Il-prodotti tagħna jservu l-elettronika ottika, l-elettronika għall-konsumatur, u l-militar. Noffru komponenti ottiċi taż-żaffir, kisi tal-lentijiet tat-telefowns ċellulari, Ċeramika, LT, Silicon Carbide SIC, Kwarz, u wejfers tal-kristall semikondutturi. B'kompetenza tas-sengħa u tagħmir avvanzat, neċċellaw fl-ipproċessar ta' prodotti mhux standard, bil-għan li nkunu intrapriża ewlenija ta' teknoloġija għolja fil-materjali optoelettroniċi.