Sic ceramic chuck trej taċ-ċeramika tazzi ta 'ġbid ta' preċiżjoni tal-magni personalizzati

Sic Ceramic Chuck Tray Ceramic Cups ta 'Preċiżjoni Magni ta' Preċiżjoni Dehru Personalizzati

Deskrizzjoni qasira:

Sucker tat-trej taċ-ċeramika tas-silikon huwa għażla ideali għall-manifattura tas-semikondutturi minħabba l-ebusija għolja tagħha, konduttività termali għolja u stabbiltà kimika eċċellenti. Il-flatness għoli u l-finitura tal-wiċċ tagħha jiżguraw kuntatt sħiħ bejn il-wejfer u l-irdigħ, li jnaqqsu l-kontaminazzjoni u l-ħsara; Temperatura għolja u reżistenza għall-korrużjoni jagħmluha xierqa għal ambjenti ta 'proċess ħarxa; Fl-istess ħin, disinn ħafif u karatteristiċi ta 'ħajja twila jnaqqsu l-ispejjeż tal-produzzjoni u huma komponenti ewlenin indispensabbli fil-qtugħ tal-wejfer, illustrar, il-litografija u proċessi oħra.

Ibgħatilna l-email

Dettall tal-prodott

Tags tal-prodott

Karatteristiċi tal-materjal:

1. ebusija għolja: L-ebusija tal-Mohs tas-silikon karbur hija 9.2-9.5, it-tieni biss għad-djamant, b'reżistenza qawwija għall-ilbies.
2. Konduttività termali għolja: Il-konduttività termali tal-karbur tas-silikon hija għolja daqs 120-200 w / m · k, li tista 'tinħela s-sħana malajr u hija adattata għal ambjent ta' temperatura għolja.
3
4. Stabbiltà kimika: aċidu tal-karbur tas-silikon u reżistenza għall-korrużjoni alkali, adattata għall-użu f'ambjent korrużiv kimiku.
5. Qawwa mekkanika għolja: il-karbur tas-silikon għandu saħħa ta 'liwi għolja u saħħa kompressiva, u jista' jiflaħ stress mekkaniku kbir.

Karatteristiċi:

1. Fl-industrija tas-semikondutturi, il-wejfers estremament irqaq jeħtieġ li jitpoġġew fuq tazza tal-ġbid tal-vakwu, il-ġbid tal-vakwu jintuża biex jiffissa l-wejfers, u l-proċess ta 'waxing, tnaqqija, waxing, tindif u qtugħ jitwettaq fuq il-wejfers.
2.Silicon Carbide Sucker għandu konduttività termali tajba, jista 'jqassar b'mod effettiv il-ħin tax-xama' u x-xama ', itejjeb l-effiċjenza tal-produzzjoni.
3.Silicon Carbide Vacuum Sucker għandu wkoll aċidu tajjeb u reżistenza għall-korrużjoni alkali.
4. Imqabbad mal-pjanċa tradizzjonali tat-trasportatur tal-Kurundum, tqassar it-tagħbija u l-ħatt tal-ħin tat-tisħin u tat-tkessiħ, ittejjeb l-effiċjenza tax-xogħol; Fl-istess ħin, jista 'jnaqqas l-użu bejn il-pjanċi ta' fuq u t'isfel, iżomm eżattezza tajba tal-pjan, u jestendi l-ħajja tas-servizz b'madwar 40%.
5. Il-proporzjon materjali huwa żgħir, piż ħafif. Huwa iktar faċli għall-operaturi li jġorru pallets, u jnaqqsu r-riskju ta 'ħsara fil-ħabta kkawżata minn diffikultajiet ta' trasport b'madwar 20%.
6.size: dijametru massimu 640mm; Flatness: 3um jew inqas

Qasam tal-Applikazzjoni:

1. Manifattura tas-semikondutturi
● Ipproċessar tal-wejfer:
Għall-iffissar tal-wejfer fil-fotolitografija, inċiżjoni, deposizzjoni ta 'film irqiq u proċessi oħra, li jiżgura preċiżjoni għolja u konsistenza tal-proċess. Ir-reżistenza għolja tat-temperatura u l-korrużjoni tagħha hija adattata għal ambjenti ħorox tal-manifattura tas-semikondutturi.
● Tkabbir epitassjali:
Fit-tkabbir epitassjali tas-SIC jew tal-GAN, bħala trasportatur biex isaħħan u jiffissa l-wejfers, li jiżgura l-uniformità tat-temperatura u l-kwalità tal-kristall f'temperaturi għoljin, itejjeb il-prestazzjoni tal-apparat.
2. Tagħmir fotoelettriku
● Manifattura LED:
Użat biex jiffissa s-sottostrat żaffir jew sic, u bħala trasportatur tat-tisħin fil-proċess MOCVD, biex jiżgura l-uniformità tat-tkabbir epitassjali, itejjeb l-effiċjenza u l-kwalità luminuża LED.
● Diode tal-lejżer:
Bħala apparat ta 'preċiżjoni għolja, iffissar u tisħin ta' sottostrat biex jiżgura l-istabbiltà tat-temperatura tal-proċess, itejjeb il-qawwa tal-ħruġ u l-affidabbiltà tad-dijodu tal-lejżer.
3. Magni ta 'preċiżjoni
● Ipproċessar tal-komponenti ottiċi:
Jintuża għall-iffissar ta 'komponenti ta' preċiżjoni bħal lentijiet ottiċi u filtri biex jiżgura preċiżjoni għolja u tniġġis baxx waqt l-ipproċessar, u huwa adattat għal magni ta 'intensità għolja.
● Ipproċessar taċ-ċeramika:
Bħala apparat ta 'stabbiltà għolja, huwa adattat għal magni ta' preċiżjoni ta 'materjali taċ-ċeramika biex jiżguraw eżattezza u konsistenza tal-magni taħt temperatura għolja u ambjent korrużiv.
4. Esperimenti xjentifiċi
● Esperiment ta 'temperatura għolja:
Bħala apparat ta 'fissazzjoni tal-kampjun f'ambjenti ta' temperatura għolja, jappoġġja esperimenti ta 'temperatura estrema' l fuq minn 1600 ° C biex tiżgura uniformità tat-temperatura u stabbiltà tal-kampjun.
● Test tal-vakwu:
Bħala kampjuni ta 'ffissar u trasportatur tat-tisħin fl-ambjent tal-vakwu, biex tiġi żgurata l-eżattezza u r-ripetibbiltà tal-esperiment, adattati għall-kisi tal-vakwu u t-trattament tas-sħana.

Speċifikazzjonijiet Tekniċi ：

(Proprjetà materjali)		(Unità)	(SSIC)
(Kontenut sic)		(Wt)%	> 99
(Daqs medju tal-qamħ)		mikron	4-10
(Densità)		kg / dm3	> 3.14
(Porożità apparenti)		VO1%	<0.5
(Ebusija vickers)	HV 0.5	GPA	28
* (Saħħa tal-flexural) * (tliet punti)	20ºC	MPA	450
(Saħħa kompressiva)	20ºC	MPA	3900
(Modulu elastiku)	20ºC	GPA	420
(Ebusija tal-ksur)		MPA / M '%	3.5
(Konduttività termali)	20 ° ºC	*W / (m k)**	160
(Reżistività)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Koeffiċjent ta 'espansjoni termali)	a (rt ... 80ºC)**	*K-1 10-6**	4.3
(Temperatura operattiva massima)		oºC	1700

Mas-snin ta 'akkumulazzjoni teknika u esperjenza tal-industrija, XKH huwa kapaċi jfassal parametri ewlenin bħad-daqs, il-metodu ta' tisħin u d-disinn ta 'adsorbiment bil-vakwu ta' Chuck skond il-bżonnijiet speċifiċi tal-klijent, li jiżgura li l-prodott ikun adattat perfettament għall-proċess tal-klijent. Chucks taċ-ċeramika tas-silikon tas-silikon saru komponenti indispensabbli fl-ipproċessar tal-wejfer, tkabbir epitassjali u proċessi ewlenin oħra minħabba l-konduttività termali eċċellenti tagħhom, l-istabbiltà tat-temperatura għolja u l-istabbiltà kimika. Speċjalment fil-manifattura ta 'materjali semikondutturi tat-tielet ġenerazzjoni bħal SiC u GAN, id-domanda għal chucks taċ-ċeramika tas-silikon karbur tkompli tikber. Fil-futur, bl-iżvilupp mgħaġġel ta '5G, vetturi elettriċi, intelliġenza artifiċjali u teknoloġiji oħra, il-prospetti ta' applikazzjoni ta 'chucks taċ-ċeramika tas-silikon karbur fl-industrija tas-semikondutturi se jkunu usa'.