Tagħmir ta' Tneħħija bil-Laser Semikonduttur Jirrivoluzzjona t-Tnaqqiq tal-Ingotti

Tagħmir ta' Tneħħija bil-Laser tas-Semikondutturi Jirrivoluzzjona t-Tnaqqis tal-Ingotti Immaġni Dehru

Deskrizzjoni Qasira:

It-Tagħmir tal-Lift-Off bil-Laser tas-Semikondutturi huwa soluzzjoni industrijali speċjalizzata ħafna mfassla għat-tnaqqija preċiża u mingħajr kuntatt tal-ingotti tas-semikondutturi permezz ta' tekniki ta' lift-off indotti bil-lejżer. Din is-sistema avvanzata għandha rwol kruċjali fil-proċessi moderni tal-wejfers tas-semikondutturi, speċjalment fil-fabbrikazzjoni ta' wejfers ultra-rqaq għal elettronika tal-enerġija ta' prestazzjoni għolja, LEDs, u apparati RF. Billi jippermetti s-separazzjoni ta' saffi rqaq minn ingotti bl-ingrossa jew sottostrati donaturi, it-Tagħmir tal-Lift-Off bil-Laser tas-Semikondutturi jirrivoluzzjona t-tnaqqija tal-ingotti billi jelimina l-passi tas-serrar mekkaniku, it-tħin, u l-inċiżjoni kimika.

Ibgħatilna email

Karatteristiċi

Dijagramma dettaljata

Introduzzjoni tal-Prodott ta' Tagħmir ta' Tneħħija bil-Laser Semikonduttur

It-tnaqqija tradizzjonali tal-ingotti tas-semikondutturi, bħal nitrur tal-gallju (GaN), karbur tas-silikon (SiC), u ż-żaffir, ħafna drabi teħtieġ ħafna xogħol, hija ħela ta' flus, u hija suxxettibbli għal mikroxquq jew ħsara fil-wiċċ. B'kuntrast, it-Tagħmir tal-Laser Lift-Off tas-Semikondutturi joffri alternattiva mhux distruttiva u preċiża li timminimizza t-telf ta' materjal u l-istress tal-wiċċ filwaqt li żżid il-produttività. Jappoġġja varjetà wiesgħa ta' materjali kristallini u komposti u jista' jiġi integrat bla xkiel f'linji ta' produzzjoni tas-semikondutturi front-end jew midstream.

B'tul ta' mewġ tal-lejżer konfigurabbli, sistemi ta' fokus adattivi, u ċokkijiet tal-wejfer kompatibbli mal-vakwu, dan it-tagħmir huwa partikolarment adattat għat-tqattigħ tal-ingotti, il-ħolqien tal-lamella, u d-distakkament ta' film ultra-rqiq għal strutturi ta' apparati vertikali jew trasferiment ta' saffi eteroepitassiali.

Parametru tat-Tagħmir tal-Irfigħ bil-Laser Semikonduttur

Tul tal-mewġa	IR/SHG/THG/FHG
Wisa' tal-Impuls	Nanosekonda, Pikosekonda, Femtosekonda
Sistema Ottika	Sistema ottika fissa jew sistema Galvano-ottika
Stadju XY	500 mm × 500 mm
Firxa tal-Ipproċessar	160 mm
Veloċità tal-Moviment	Massimu 1,000 mm/sek
Ripetibbiltà	±1 μm jew inqas
Preċiżjoni tal-Pożizzjoni Assoluta:	±5 μm jew inqas
Daqs tal-wejfer	2–6 pulzieri jew personalizzati
Kontroll	Windows 10,11 u PLC
Vultaġġ tal-Provvista tal-Enerġija	AC 200 V ±20 V, Fażi waħda, 50/60 kHz
Dimensjonijiet Esterni	2400 mm (W) × 1700 mm (F) × 2000 mm (Għoli)
Piż	1,000 kg

Prinċipju ta' Ħidma ta' Tagħmir ta' Tneħħija bil-Laser Semikonduttur

Il-mekkaniżmu ewlieni tat-Tagħmir tat-Tneħħija bil-Laser Semikonduttur jiddependi fuq dekompożizzjoni fototermali selettiva jew ablazzjoni fl-interfaċċja bejn l-ingott donatur u s-saff epitassjali jew fil-mira. Laser UV b'enerġija għolja (tipikament KrF f'248 nm jew lasers UV ta' stat solidu madwar 355 nm) huwa ffukat permezz ta' materjal donatur trasparenti jew semi-trasparenti, fejn l-enerġija hija assorbita b'mod selettiv f'fond predeterminat.

Dan l-assorbiment lokalizzat tal-enerġija joħloq fażi tal-gass bi pressjoni għolja jew saff ta' espansjoni termali fl-interfaċċja, li jibda d-delaminazzjoni nadifa tal-wejfer ta' fuq jew tas-saff tal-apparat mill-bażi tal-ingott. Il-proċess huwa aġġustat b'mod fin billi jiġu aġġustati parametri bħall-wisa' tal-polz, il-fluwenza tal-lejżer, il-veloċità tal-iskannjar, u l-fond fokali tal-assi z. Ir-riżultat huwa porzjon ultra-rqiq—spiss fil-medda ta' 10 sa 50 µm—separat b'mod nadif mill-ingott ġenitur mingħajr brix mekkaniku.

Dan il-metodu ta' tneħħija bil-lejżer għat-tnaqqija tal-ingotti jevita t-telf tal-kerf u l-ħsara fil-wiċċ assoċjata mas-serrar tal-wajer tad-djamanti jew il-lapping mekkaniku. Jippreserva wkoll l-integrità tal-kristall u jnaqqas ir-rekwiżiti tal-illustrar downstream, u b'hekk jagħmel it-Tagħmir ta' Tneħħija bil-Lejżer tas-Semikondutturi għodda rivoluzzjonarja għall-produzzjoni tal-wejfers tal-ġenerazzjoni li jmiss.

Tagħmir ta' Tneħħija bil-Laser Semikonduttur Jirrivoluzzjona t-Tnaqqis tal-Ingotti 2

Applikazzjonijiet ta' Tagħmir ta' Tneħħija bil-Laser Semikonduttur

It-Tagħmir tal-Irfigħ bil-Laser Semikonduttur isib applikazzjoni wiesgħa fit-tnaqqija tal-ingotti f'firxa ta' materjali avvanzati u tipi ta' apparati, inklużi:

Irqaq tal-Ingotti GaN u GaAs għal Apparati tal-Enerġija
Jippermetti l-ħolqien ta' wejfer irqiq għal transistors u dijodi tal-enerġija b'effiċjenza għolja u reżistenza baxxa.

Riklamazzjoni tas-Sottostrat tas-SiC u Separazzjoni tal-Lamella
Jippermetti rfigħ fuq skala ta' wejfer minn sottostrati SiC bl-ingrossa għal strutturi ta' apparati vertikali u użu mill-ġdid ta' wejfers.

Tqattigħ tal-Wafer LED
Jiffaċilita t-tneħħija tas-saffi tal-GaN minn ingotti ħoxnin taż-żaffir biex jipproduċi sottostrati LED ultra-rqaq.

Fabbrikazzjoni ta' Apparati RF u Microwave
Jappoġġja strutturi ta' transistors ultra-rqaq b'mobilità għolja ta' elettroni (HEMT) meħtieġa fis-sistemi 5G u tar-radar.

Trasferiment ta' Saff Epitassjali
Jifred b'mod preċiż saffi epitassjali minn ingotti kristallini għal użu mill-ġdid jew integrazzjoni f'eterostrutturi.

Ċelloli Solari b'Film Irqiq u Fotovoltajċi
Użat biex jissepara saffi rqaq tal-assorbenti għal ċelloli solari flessibbli jew ta' effiċjenza għolja.

F'kull wieħed minn dawn l-oqsma, it-Tagħmir tal-Lift-Off bil-Laser Semikonduttur jipprovdi kontroll inkomparabbli fuq l-uniformità tal-ħxuna, il-kwalità tal-wiċċ, u l-integrità tas-saff.

Vantaġġi tat-Tnaqqiq tal-Ingotti Bbażat fuq il-Laser

Telf ta' Materjal Żero-Kerf
Meta mqabbel mal-metodi tradizzjonali tat-tqattigħ tal-wejfers, il-proċess tal-lejżer jirriżulta fi kważi 100% tal-użu tal-materjal.

Stress u Tgħawwiġ Minimu
It-tneħħija mingħajr kuntatt telimina l-vibrazzjoni mekkanika, u tnaqqas il-formazzjoni tal-bow tal-wejfer u l-mikrocrack.

Preservazzjoni tal-Kwalità tal-Wiċċ
F'ħafna każijiet, m'hemmx bżonn ta' tħaffir jew illustrar wara t-tnaqqija, billi t-tneħħija bil-lejżer tippreserva l-integrità tal-wiċċ ta' fuq.

Rendiment Għoli u Lest għall-Awtomazzjoni
Kapaċi jipproċessa mijiet ta' sottostrati kull xift b'tagħbija/ħatt awtomatizzat.

Adattabbli għal Materjali Multipli
Kompatibbli ma' GaN, SiC, żaffir, GaAs, u materjali emerġenti III-V.

Aktar Sikur għall-Ambjent
Inaqqas l-użu ta' abrażivi u kimiċi ħarxa tipiċi fi proċessi ta' traqqiq ibbażati fuq it-taħlita.

Użu mill-ġdid tas-sottostrat
L-ingotti tad-donaturi jistgħu jiġu riċiklati għal diversi ċikli ta' rfigħ, u b'hekk jitnaqqsu ħafna l-ispejjeż tal-materjal.

Mistoqsijiet Frekwenti (FAQ) dwar Tagħmir ta' Tneħħija bil-Laser Semikonduttur

M1: X'firxa ta' ħxuna jista' jikseb it-Tagħmir tal-Laser Lift-Off tas-Semikondutturi għal flieli tal-wejfer?
A1:Il-ħxuna tipika tal-qatgħa tvarja minn 10 µm sa 100 µm skont il-materjal u l-konfigurazzjoni.

M2: Dan it-tagħmir jista' jintuża biex irqaq ingotti magħmula minn materjali opaki bħas-SiC?
A2:Iva. Billi tirfina t-tul tal-mewġa tal-lejżer u tottimizza l-inġinerija tal-interfaċċja (eż., saffi intermedji sagrifiċjali), anke materjali parzjalment opaki jistgħu jiġu pproċessati.

M3: Kif jiġi allinjat is-sottostrat tad-donatur qabel it-tneħħija tal-lejżer?
A3:Is-sistema tuża moduli ta' allinjament ibbażati fuq il-viżjoni sub-mikron b'feedback minn marki fiduċjali u skens ta' riflettività tal-wiċċ.

M4: X'inhu l-ħin taċ-ċiklu mistenni għal operazzjoni waħda ta' rfigħ bil-lejżer?
A4:Skont id-daqs u l-ħxuna tal-wejfer, iċ-ċikli tipiċi jdumu minn 2 sa 10 minuti.

M5: Il-proċess jeħtieġ ambjent ta' kamra nadifa?
A5:Għalkemm mhux obbligatorju, l-integrazzjoni ta' kamra nadifa hija rakkomandata biex tinżamm l-indafa tas-sottostrat u r-rendiment tal-apparat waqt operazzjonijiet ta' preċiżjoni għolja.

Dwarna

XKH tispeċjalizza fl-iżvilupp ta' teknoloġija għolja, il-produzzjoni, u l-bejgħ ta' ħġieġ ottiku speċjali u materjali ġodda tal-kristall. Il-prodotti tagħna jservu l-elettronika ottika, l-elettronika għall-konsumatur, u l-militar. Noffru komponenti ottiċi taż-żaffir, kisi tal-lentijiet tat-telefowns ċellulari, Ċeramika, LT, Silicon Carbide SIC, Kwarz, u wejfers tal-kristall semikondutturi. B'kompetenza tas-sengħa u tagħmir avvanzat, neċċellaw fl-ipproċessar ta' prodotti mhux standard, bil-għan li nkunu intrapriża ewlenija ta' teknoloġija għolja fil-materjali optoelettroniċi.