Xi jfissru TTV, BOW, WARP, u TIR fil-Wafers?

Meta neżaminaw wejfers tas-silikon semikondutturi jew sottostrati magħmula minn materjali oħra, spiss niltaqgħu ma' indikaturi tekniċi bħal: TTV, BOW, WARP, u possibbilment TIR, STIR, LTV, fost oħrajn. Liema parametri jirrappreżentaw dawn?

TTV — Varjazzjoni Totali tal-Ħxuna
PRAW — Pruwa
WARP — Medd
TIR — Qari Totali Indikat
STIR — Qari Totali Indikat tas-Sit
LTV — Varjazzjoni Lokali tal-Ħxuna

1. Varjazzjoni fil-Ħxuna Totali — TTV

Id-differenza bejn il-ħxuna massima u minima tal-wejfer relattiva għall-pjan ta' referenza meta l-wejfer ikun imwaħħal u f'kuntatt mill-qrib. Ġeneralment tiġi espressa f'mikrometri (μm), ħafna drabi rappreżentata bħala: ≤15 μm.

2. Pruwa — PRUA

Id-devjazzjoni bejn id-distanza minima u massima mill-punt ċentrali tal-wiċċ tal-wejfer sal-pjan ta' referenza meta l-wejfer ikun fi stat ħieles (mhux imwaħħal). Dan jinkludi kemm każijiet konkavi (pruwa negattiva) kif ukoll konvessi (pruwa pożittiva). Tipikament hija espressa f'mikrometri (μm), ħafna drabi rappreżentati bħala: ≤40 μm.

3. Medd — Medd

Id-devjazzjoni bejn id-distanza minima u massima mill-wiċċ tal-wejfer sal-pjan ta' referenza (ġeneralment il-wiċċ ta' wara tal-wejfer) meta l-wejfer ikun fi stat ħieles (mhux imwaħħal). Dan jinkludi kemm każijiet konkavi (tgħawwiġ negattiv) kif ukoll konvessi (tgħawwiġ pożittiv). Ġeneralment hija espressa f'mikrometri (μm), ħafna drabi rappreżentata bħala: ≤30 μm.

4. Qari Totali Indikat — TIR

Meta l-wejfer ikun imwaħħal u f'kuntatt mill-qrib, bl-użu ta' pjan ta' referenza li jimminimizza s-somma tal-interċettazzjonijiet tal-punti kollha fiż-żona tal-kwalità jew reġjun lokali speċifikat fuq il-wiċċ tal-wejfer, it-TIR hija d-devjazzjoni bejn id-distanzi massimi u minimi mill-wiċċ tal-wejfer sa dan il-pjan ta' referenza.

Imwaqqfa fuq għarfien espert profond fl-ispeċifikazzjonijiet ta' materjali semikondutturi bħal TTV, BOW, WARP, u TIR, XKH tipprovdi servizzi ta' pproċessar ta' wejfers personalizzati u ta' preċiżjoni mfassla għal standards stretti tal-industrija. Aħna nipprovdu u nappoġġjaw firxa wiesgħa ta' materjali ta' prestazzjoni għolja inklużi żaffir, karbur tas-silikon (SiC), wejfers tas-silikon, SOI, u kwarz, li jiżguraw ċattità eċċezzjonali, konsistenza tal-ħxuna, u kwalità tal-wiċċ għal applikazzjonijiet avvanzati fl-optoelettronika, apparati tal-enerġija, u MEMS. Afdana li nwasslu soluzzjonijiet ta' materjali affidabbli u makkinar ta' preċiżjoni li jissodisfaw l-aktar rekwiżiti ta' disinn impenjattivi tiegħek.