Fehim profond tas-Sistema SPC fil-Manifattura tal-Wajfer

1. Ħarsa ġenerali tas-Sistema SPC

SPC huwa metodu li juża tekniki statistiċi biex jimmonitorja u jikkontrolla l-proċessi tal-manifattura. Il-funzjoni ewlenija tagħha hija li tiskopri anomaliji fil-proċess ta 'produzzjoni billi tiġbor u tanalizza data f'ħin reali, tgħin lill-inġiniera jagħmlu aġġustamenti u deċiżjonijiet f'waqthom. L-għan ta 'SPC huwa li tnaqqas il-varjazzjoni fil-proċess ta' produzzjoni, u tiżgura li l-kwalità tal-prodott tibqa 'stabbli u tissodisfa l-ispeċifikazzjonijiet.

SPC jintuża fil-proċess tal-inċiżjoni biex:

Immonitorja l-parametri kritiċi tat-tagħmir (eż., rata ta’ inċiżjoni, qawwa RF, pressjoni tal-kamra, temperatura, eċċ.)

Analizza l-indikaturi ewlenin tal-kwalità tal-prodott (eż., wisa’ tal-linja, fond tal-inċiżjoni, ħruxija tat-tarf, eċċ.)

Billi jimmonitorjaw dawn il-parametri, l-inġiniera jistgħu jiskopru xejriet li jindikaw degradazzjoni tal-prestazzjoni tat-tagħmir jew devjazzjonijiet fil-proċess ta 'produzzjoni, u b'hekk inaqqsu r-rati ta' ruttam.

2. Komponenti Bażiċi tas-Sistema SPC

Is-sistema SPC hija magħmula minn diversi moduli ewlenin:

Modulu tal-Ġbir tad-Data: Jiġbor data f'ħin reali minn tagħmir u flussi tal-proċess (eż., permezz ta' sistemi FDC, EES) u jirreġistra parametri importanti u riżultati tal-produzzjoni.

Modulu taċ-Ċart ta 'Kontroll: Juża mapep ta' kontroll statistiku (eż., X-Bar chart, R chart, Cp/Cpk chart) biex jivviżwalizza l-istabbiltà tal-proċess u jgħin biex jiddetermina jekk il-proċess huwiex fil-kontroll.

Sistema ta 'Allarm: Tqanqal allarmi meta l-parametri kritiċi jaqbżu l-limiti ta' kontroll jew juru bidliet fix-xejra, li tħeġġeġ lill-inġiniera biex jieħdu azzjoni.

Modulu ta 'Analiżi u Rappurtar: janalizza l-kawża ewlenija ta' anomaliji bbażati fuq charts SPC u regolarment jiġġenera rapporti ta 'prestazzjoni għall-proċess u t-tagħmir.

3. Spjegazzjoni dettaljata tal-Mapep ta' Kontroll fl-SPC

Iċ-ċarts tal-kontroll huma waħda mill-għodod l-aktar użati fl-SPC, li jgħinu biex issir distinzjoni bejn "varjazzjoni normali" (ikkawżata minn varjazzjonijiet fil-proċess naturali) u "varjazzjoni anormali" (ikkawżata minn ħsarat fit-tagħmir jew devjazzjonijiet tal-proċess). Mapep ta’ kontroll komuni jinkludu:

X-Bar u R Charts: Użati biex jimmonitorjaw il-medja u l-firxa fi ħdan lottijiet ta 'produzzjoni biex josservaw jekk il-proċess huwiex stabbli.

Indiċi Cp u Cpk: Użati biex titkejjel il-kapaċità tal-proċess, jiġifieri, jekk l-output tal-proċess jistax b'mod konsistenti jissodisfa r-rekwiżiti tal-ispeċifikazzjoni. Cp ikejjel il-kapaċità potenzjali, filwaqt li Cpk tqis id-devjazzjoni taċ-ċentru tal-proċess mil-limiti tal-ispeċifikazzjoni.

Pereżempju, fil-proċess tal-inċiżjoni, tista 'tissorvelja parametri bħar-rata tal-inċiżjoni u l-ħruxija tal-wiċċ. Jekk ir-rata ta 'inċiżjoni ta' ċerta biċċa tagħmir taqbeż il-limitu ta 'kontroll, tista' tuża mapep ta 'kontroll biex tiddetermina jekk din hijiex varjazzjoni naturali jew indikazzjoni ta' ħsara fit-tagħmir.

4. Applikazzjoni ta 'SPC f'Tagħmir ta' Inċiżjoni

Fil-proċess tal-inċiżjoni, il-kontroll tal-parametri tat-tagħmir huwa kritiku, u l-SPC jgħin biex itejjeb l-istabbiltà tal-proċess bil-modi li ġejjin:

Monitoraġġ tal-Kundizzjoni tat-Tagħmir: Sistemi bħall-FDC jiġbru dejta f'ħin reali dwar parametri ewlenin tat-tagħmir tal-inċiżjoni (eż., qawwa RF, fluss tal-gass) u jgħaqqdu din id-dejta ma 'mapep ta' kontroll SPC biex jiskopru kwistjonijiet potenzjali tat-tagħmir. Pereżempju, jekk tara li l-qawwa RF fuq ċart ta 'kontroll qed tiddevja gradwalment mill-valur stabbilit, tista' tieħu azzjoni bikrija għal aġġustament jew manutenzjoni biex tevita li taffettwa l-kwalità tal-prodott.

Monitoraġġ tal-Kwalità tal-Prodott: Tista 'wkoll ddaħħal parametri ewlenin tal-kwalità tal-prodott (eż., fond tal-inċiżjoni, wisa' tal-linja) fis-sistema SPC biex tissorvelja l-istabbiltà tagħhom. Jekk xi indikaturi kritiċi tal-prodott jiddevjaw gradwalment mill-valuri fil-mira, is-sistema SPC toħroġ allarm, li tindika li huma meħtieġa aġġustamenti tal-proċess.

Manutenzjoni Preventiva (PM): SPC jista 'jgħin biex jottimizza ċ-ċiklu ta' manutenzjoni preventiva għat-tagħmir. Billi tanalizza data fit-tul dwar il-prestazzjoni tat-tagħmir u r-riżultati tal-proċess, tista 'tiddetermina l-aħjar ħin għall-manutenzjoni tat-tagħmir. Pereżempju, billi timmonitorja l-qawwa RF u l-ħajja tal-ESC, tista 'tiddetermina meta t-tindif jew is-sostituzzjoni tal-komponenti hija meħtieġa, tnaqqas ir-rati ta' falliment tat-tagħmir u l-waqfien tal-produzzjoni.

5. Għajnuniet dwar l-Użu ta 'Kuljum għas-Sistema SPC

Meta tuża s-sistema SPC f'operazzjonijiet ta 'kuljum, il-passi li ġejjin jistgħu jiġu segwiti:

Iddefinixxi Parametri ta 'Kontroll Ewlenin (KPI): Identifika l-aktar parametri importanti fil-proċess ta' produzzjoni u inkludihom fil-monitoraġġ SPC. Dawn il-parametri għandhom ikunu relatati mill-qrib mal-kwalità tal-prodott u l-prestazzjoni tat-tagħmir.

Issettja Limiti ta 'Kontroll u Limiti ta' Allarm: Ibbażat fuq data storika u rekwiżiti tal-proċess, issettja limiti ta 'kontroll raġonevoli u limiti ta' allarm għal kull parametru. Il-limiti ta 'kontroll huma ġeneralment stabbiliti għal ± 3σ (devjazzjonijiet standard), filwaqt li limiti ta' allarm huma bbażati fuq il-kundizzjonijiet speċifiċi tal-proċess u t-tagħmir.

Monitoraġġ u Analiżi Kontinwi: Irrevedi regolarment il-mapep tal-kontroll tal-SPC biex tanalizza t-tendenzi u l-varjazzjonijiet tad-dejta. Jekk xi parametri jaqbżu l-limiti ta 'kontroll, hija meħtieġa azzjoni immedjata, bħall-aġġustament tal-parametri tat-tagħmir jew it-twettiq tal-manutenzjoni tat-tagħmir.

Immaniġġjar ta 'Anormalità u Analiżi tal-Kawża Għerq: Meta sseħħ anormalità, is-sistema SPC tirreġistra informazzjoni dettaljata dwar l-inċident. Għandek bżonn issolvi l-problemi u tanalizza l-kawża ewlenija tal-anormalità bbażata fuq din l-informazzjoni. Ħafna drabi huwa possibbli li tiġi kkombinata dejta minn sistemi FDC, sistemi EES, eċċ., Biex tanalizza jekk il-kwistjoni hijiex minħabba ħsara fit-tagħmir, devjazzjoni tal-proċess, jew fatturi ambjentali esterni.

Titjib Kontinwu: Bl-użu tad-dejta storika rreġistrata mis-sistema SPC, identifika punti dgħajfa fil-proċess u tipproponi pjanijiet ta 'titjib. Pereżempju, fil-proċess tal-inċiżjoni, janalizza l-impatt tal-ħajja tal-ESC u l-metodi tat-tindif fuq iċ-ċikli tal-manutenzjoni tat-tagħmir u jottimizza kontinwament il-parametri operattivi tat-tagħmir.

6. Każ ta' Applikazzjoni Prattika

Bħala eżempju prattiku, ejja ngħidu li inti responsabbli għat-tagħmir tal-inċiżjoni E-MAX, u l-katodu tal-kamra qed jesperjenza xedd prematur, li jwassal għal żieda fil-valuri D0 (difett BARC). Billi timmonitorja l-qawwa RF u r-rata ta 'inċiżjoni permezz tas-sistema SPC, tinnota tendenza fejn dawn il-parametri jiddevjaw gradwalment mill-valuri stabbiliti tagħhom. Wara li jiġi attivat allarm SPC, tikkombina data mis-sistema FDC u tiddetermina li l-kwistjoni hija kkawżata minn kontroll instabbli tat-temperatura ġewwa l-kamra. Imbagħad timplimenta metodi ġodda ta 'tindif u strateġiji ta' manutenzjoni, eventwalment tnaqqas il-valur D0 minn 4.3 għal 2.4, u b'hekk ittejjeb il-kwalità tal-prodott.

7.Fil-XINKEHUI tista 'tikseb.

F'XINKEHUI, tista 'tikseb il-wejfer perfett, kemm jekk hu wejfer tas-silikon jew wejfer SiC. Aħna nispeċjalizzaw fit-twassil ta 'wejfers tal-ogħla kwalità għal diversi industriji, li niffukaw fuq il-preċiżjoni u l-prestazzjoni.