SiC tat-Tip N fuq Sottostrati Komposti tas-Si Dia6inch
| 等级Grad | U 级 | P级 | D级 |
| Grad Baxx ta' BPD | Grad ta' Produzzjoni | Grad finta | |
| 直径Dijametru | 150.0 mm ± 0.25 mm | ||
| 厚度Ħxuna | 500 μm ± 25 μm | ||
| 晶片方向Orjentazzjoni tal-Wafer | Barra mill-assi: 4.0°lejn < 11-20 > ±0.5°għal 4H-N Fuq l-assi: <0001>±0.5°għal 4H-SI | ||
| 主定位边方向Flat Primarju | {10-10}±5.0° | ||
| 主定位边长度Tul Ċatt Primarju | 47.5 mm ± 2.5 mm | ||
| 边缘Esklużjoni tat-tarf | 3 mm | ||
| 总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/Bow /Warp | ≤15μm /≤40μm /≤60μm | ||
| 微管密度和基面位错MPD u BPD | MPD≤1 ċm-2 | MPD≤5 ċm-2 | MPD≤15 ċm-2 |
| BPD≤1000cm-2 | |||
| 电阻率Reżistività | ≥1E5 Ω·ċm | ||
| 表面粗糙度Ħruxija | Ra ≤1 nm tal-Pollakk | ||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||
| 裂纹(强光灯观测) # | Xejn | Tul kumulattiv ≤10mm, tul wieħed ≤2mm | |
| Xquq minn dawl ta' intensità għolja | |||
| 六方空洞（强光灯观测）* | Żona kumulattiva ≤1% | Żona kumulattiva ≤5% | |
| Pjanċi Eżagonali b'dawl ta' intensità għolja | |||
| 多型(强光灯观测)* | Xejn | Żona kumulattiva ≤5% | |
| Żoni Politipiċi b'dawl ta' intensità għolja | |||
| 划痕(强光灯观测)*& | 3 grif għal 1×dijametru tal-wejfer | 5 grif għal 1×dijametru tal-wejfer | |
| Grif minn dawl ta' intensità għolja | tul kumulattiv | tul kumulattiv | |
| 崩边# Ċippa tat-tarf | Xejn | 5 permessi, ≤1 mm kull wieħed | |
| 表面污染物（强光灯观测） | Xejn | ||
| Kontaminazzjoni minn dawl ta' intensità għolja | |||
Dijagramma dettaljata
