Tagħmir tat-teknoloġija tal-lejżer Microjet qtugħ tal-wejfer ipproċessar ta' materjal SiC

Deskrizzjoni Qasira:

It-tagħmir tat-teknoloġija tal-lejżer Microjet huwa tip ta' sistema ta' makkinarju ta' preċiżjoni li tgħaqqad lejżer ta' enerġija għolja u ġett ta' likwidu fil-livell tal-mikron. Billi tgħaqqad ir-raġġ tal-lejżer mal-ġett ta' likwidu b'veloċità għolja (ilma dejonizzat jew likwidu speċjali), jista' jinkiseb ipproċessar ta' materjal bi preċiżjoni għolja u ħsara termali baxxa. Din it-teknoloġija hija adattata b'mod speċjali għat-tqattigħ, it-tħaffir u l-ipproċessar tal-mikrostruttura ta' materjali iebsin u fraġli (bħal SiC, żaffir, ħġieġ), u tintuża ħafna f'semikondutturi, wirjiet fotoelettriċi, apparati mediċi u oqsma oħra.

Ibgħatilna email

Karatteristiċi

Prinċipju ta' ħidma:

1. Akkoppjar tal-lejżer: lejżer pulsat (UV/aħdar/infra-aħmar) huwa ffukat ġewwa l-ġett tal-likwidu biex jifforma kanal ta' trasmissjoni tal-enerġija stabbli.

2. Gwida tal-likwidu: ġett b'veloċità għolja (rata tal-fluss 50-200m/s) li jkessaħ iż-żona tal-ipproċessar u jneħħi l-fdalijiet biex jevita l-akkumulazzjoni tas-sħana u t-tniġġis.

3. Tneħħija tal-materjal: L-enerġija tal-lejżer tikkawża effett ta' cavitation fil-likwidu biex jinkiseb ipproċessar kiesaħ tal-materjal (żona affettwata mis-sħana <1μm).

4. Kontroll dinamiku: aġġustament f'ħin reali tal-parametri tal-lejżer (qawwa, frekwenza) u l-pressjoni tal-ġett biex jissodisfaw il-ħtiġijiet ta' materjali u strutturi differenti.

Parametri ewlenin:

1. Qawwa tal-lejżer: 10-500W (aġġustabbli)

2. Dijametru tal-ġett: 50-300μm

3. Preċiżjoni tal-magni: ±0.5μm (qtugħ), proporzjon tal-fond għall-wisa' 10:1 (tħaffir)

Vantaġġi tekniċi:

(1) Kważi żero ħsara mis-sħana
- It-tkessiħ b'ġett likwidu jikkontrolla ż-żona affettwata mis-sħana (HAZ) għal **<1μm**, u jevita mikro-xquq ikkawżati mill-ipproċessar konvenzjonali bil-lejżer (HAZ ġeneralment ikun >10μm).

(2) Makkinar ta' preċiżjoni ultra-għolja
- Preċiżjoni tat-tqattigħ/tħaffir sa **±0.5μm**, ħruxija tat-tarf Ra<0.2μm, tnaqqas il-ħtieġa għal illustrar sussegwenti.

- Appoġġ għall-ipproċessar ta' struttura 3D kumplessa (bħal toqob koniċi, slots iffurmati).

(3) Kompatibilità wiesgħa tal-materjal
- Materjali iebsin u fraġli: SiC, żaffir, ħġieġ, ċeramika (il-metodi tradizzjonali huma faċli biex jitkissru).

- Materjali sensittivi għas-sħana: polimeri, tessuti bijoloġiċi (l-ebda riskju ta' denaturazzjoni termali).

(4) Protezzjoni u effiċjenza ambjentali
- L-ebda tniġġis mit-trab, il-likwidu jista' jiġi riċiklat u ffiltrat.

- Żieda ta' 30%-50% fil-veloċità tal-ipproċessar (vs. il-magni).

(5) Kontroll intelliġenti
- Pożizzjonament viżwali integrat u ottimizzazzjoni tal-parametri tal-AI, ħxuna tal-materjal adattiva u difetti.

Speċifikazzjonijiet tekniċi:

Volum tal-countertop	300 * 300 * 150	400 * 400 * 200
Assi lineari XY	Mutur lineari. Mutur lineari	Mutur lineari. Mutur lineari
Assi lineari Z	150	200
Preċiżjoni tal-pożizzjonament μm	+/-5	+/-5
Preċiżjoni tal-pożizzjonament ripetut μm	+/-2	+/-2
Aċċelerazzjoni G	1	0.29
Kontroll numeriku	3 assi / 3+1 assi / 3+2 assi	3 assi / 3+1 assi / 3+2 assi
Tip ta' kontroll numeriku	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Tul ta' mewġa nm	532/1064	532/1064
Qawwa nominali W	50/100/200	50/100/200
Ġett tal-ilma	40-100	40-100
Bar tal-pressjoni taż-żennuna	50-100	50-600
Dimensjonijiet (għodda tal-magna) (wisa' * tul * għoli) mm	1445 * 1944 * 2260	1700 * 1500 * 2120
Daqs (kabinett tal-kontroll) (W * T * H)	700 * 2500 * 1600	700 * 2500 * 1600
Piż (tagħmir) T	2.5	3
Piż (kabinett tal-kontroll) KG	800	800
Kapaċità tal-ipproċessar	Ħruxija tal-wiċċ Ra≤1.6um Veloċità tal-ftuħ ≥1.25mm/s Qtugħ taċ-ċirkonferenza ≥6mm/s Veloċità lineari tat-tqattigħ ≥50mm/s	Ħruxija tal-wiċċ Ra≤1.2um Veloċità tal-ftuħ ≥1.25mm/s Qtugħ taċ-ċirkonferenza ≥6mm/s Veloċità lineari tat-tqattigħ ≥50mm/s
	Għal kristall tan-nitrid tal-gallju, materjali semikondutturi b'medda ta' frekwenza ultra-wiesgħa (djamant/ossidu tal-gallju), materjali speċjali tal-ajruspazju, sottostrat taċ-ċeramika tal-karbonju LTCC, fotovoltajċi, kristall xintillatur u pproċessar ta' materjali oħra. Nota: Il-kapaċità tal-ipproċessar tvarja skont il-karatteristiċi tal-materjal

Każ tal-ipproċessar:

Is-servizzi ta' XKH:

XKH tipprovdi firxa sħiħa ta' appoġġ ta' servizz taċ-ċiklu tal-ħajja sħiħ għal tagħmir tat-teknoloġija tal-lejżer microjet, mill-iżvilupp bikri tal-proċess u l-konsultazzjoni tal-għażla tat-tagħmir, sal-integrazzjoni tas-sistema personalizzata f'nofs it-terminu (inkluż it-tqabbil speċjali tas-sors tal-lejżer, is-sistema tal-ġett u l-modulu tal-awtomazzjoni), sat-taħriġ aktar tard dwar l-operazzjoni u l-manutenzjoni u l-ottimizzazzjoni kontinwa tal-proċess, il-proċess kollu huwa mgħammar b'appoġġ professjonali tat-tim tekniku; Abbażi ta' 20 sena ta' esperjenza fil-magni tal-preċiżjoni, nistgħu nipprovdu soluzzjonijiet one-stop inkluż verifika tat-tagħmir, introduzzjoni tal-produzzjoni tal-massa u rispons rapidu wara l-bejgħ (24 siegħa ta' appoġġ tekniku + riżerva ta' spare parts ewlenin) għal industriji differenti bħas-semikondutturi u l-mediku, u nwiegħdu garanzija ta' 12-il xahar u servizz ta' manutenzjoni u aġġornament tul il-ħajja. Niżguraw li t-tagħmir tal-klijent dejjem iżomm prestazzjoni u stabbiltà tal-ipproċessar ewlenin fl-industrija.