Microjet laser teknoloġija tagħmir wejfer qtugħ ipproċessar ta 'materjal SiC

Tagħmir tat-teknoloġija tal-laser Microjet qtugħ tal-wejfer Ipproċessar tal-materjal SiC Dehru Image

Deskrizzjoni qasira:

It-tagħmir tat-teknoloġija tal-lejżer Microjet huwa tip ta 'sistema ta' makkinar ta 'preċiżjoni li tgħaqqad laser ta' enerġija għolja u ġett likwidu ta 'livell ta' mikron. Billi tgħaqqad ir-raġġ tal-lejżer mal-ġett likwidu b'veloċità għolja (ilma dejonizzat jew likwidu speċjali), l-ipproċessar tal-materjal bi preċiżjoni għolja u ħsara termali baxxa jista 'jiġi realizzat. Din it-teknoloġija hija adattata b'mod speċjali għat-tqattigħ, it-tħaffir u l-ipproċessar tal-mikrostruttura ta 'materjali iebsa u fraġli (bħal SiC, żaffir, ħġieġ), u tintuża ħafna f'semikondutturi, wiri fotoelettriku, apparat mediku u oqsma oħra.

Ibgħat email lilna

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Prinċipju ta' ħidma:

1. Akkoppjar tal-lejżer: laser pulsat (UV/aħdar/infra-aħmar) huwa ffokat ġewwa l-ġett likwidu biex jifforma kanal ta 'trażmissjoni ta' enerġija stabbli.

2. Gwida likwida: ġett ta 'veloċità għolja (rata tal-fluss 50-200m/s) li jkessaħ iż-żona tal-ipproċessar u jneħħi d-debris biex tevita l-akkumulazzjoni tas-sħana u t-tniġġis.

3. Tneħħija tal-materjal: L-enerġija tal-lejżer tikkawża effett ta 'cavitation fil-likwidu biex jinkiseb proċessar kiesaħ tal-materjal (żona affettwata bis-sħana <1μm).

4. Kontroll dinamiku: aġġustament f'ħin reali tal-parametri tal-lejżer (qawwa, frekwenza) u pressjoni tal-ġett biex jissodisfaw il-ħtiġijiet ta 'materjali u strutturi differenti.

Parametri ewlenin:

1. Qawwa tal-lejżer: 10-500W (aġġustabbli)

2. Dijametru tal-ġett: 50-300μm

3.Eżattezza tal-magni: ± 0.5μm (qtugħ), proporzjon tal-fond għall-wisa '10:1 (tħaffir)

Vantaġġi tekniċi:

(1) Kważi żero ħsara tas-sħana
- It-tkessiħ bil-ġett likwidu jikkontrolla ż-żona affettwata bis-sħana (HAZ) għal **<1μm**, u jevita mikro-xquq ikkawżati mill-ipproċessar tal-lejżer konvenzjonali (HAZ normalment ikun> 10μm).

(2) Makkinar ta 'preċiżjoni ultra-għolja
- Preċiżjoni tat-tqattigħ/tħaffir sa **±0.5μm**, ħruxija tat-tarf Ra<0.2μm, tnaqqas il-ħtieġa għal illustrar sussegwenti.

- Appoġġ kumpless ta ' l-ipproċessar ta ' l-istruttura 3D (bħal toqob konikali, slots forma).

(3) Kompatibilità wiesgħa tal-materjal
- Materjali iebsa u fraġli: SiC, żaffir, ħġieġ, ċeramika (metodi tradizzjonali huma faċli biex jitfarrku).

- Materjali sensittivi għas-sħana: polimeri, tessuti bijoloġiċi (l-ebda riskju ta 'denaturazzjoni termali).

(4) Protezzjoni ambjentali u effiċjenza
- L-ebda tniġġis mit-trab, il-likwidu jista 'jiġi riċiklat u ffiltrat.

- Żieda ta '30% -50% fil-veloċità tal-ipproċessar (vs. makkinar).

(5) Kontroll intelliġenti
- Pożizzjonament viżwali integrat u ottimizzazzjoni tal-parametri AI, ħxuna tal-materjal adattivi u difetti.

Speċifikazzjonijiet tekniċi:

Volum tal-countertop	300 * 300 * 150	400 * 400 * 200
Assi lineari XY	Mutur lineari. Mutur lineari	Mutur lineari. Mutur lineari
Assi lineari Z	150	200
Preċiżjoni tal-pożizzjonament μm	+/-5	+/-5
Preċiżjoni tal-pożizzjoni ripetuta μm	+/-2	+/-2
Aċċelerazzjoni G	1	0.29
Kontroll numeriku	3 assi /3+1 assi /3+2 assi	3 assi /3+1 assi /3+2 assi
Tip ta' kontroll numeriku	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Wavelength nm	532/1064	532/1064
Qawwa nominali W	50/100/200	50/100/200
Ġett tal-ilma	40-100	40-100
Bar tal-pressjoni taż-żennuna	50-100	50-600
Dimensjonijiet (għodda tal-magni) (wisa ' * tul * għoli) mm	144519442260	1700 * 1500 * 2120
Daqs (kabinett tal-kontroll) (W * L * H)	700 * 2500 * 1600	700 * 2500 * 1600
Piż (tagħmir) T	2.5	3
Piż (kabinett tal-kontroll) KG	800	800
Kapaċità tal-ipproċessar	Ħruxija tal-wiċċ Ra≤1.6um Veloċità tal-ftuħ ≥1.25mm/s Qtugħ taċ-ċirkonferenza ≥6mm/s Veloċità tat-tqattigħ lineari ≥50mm/s	Ħruxija tal-wiċċ Ra≤1.2um Veloċità tal-ftuħ ≥1.25mm/s Qtugħ taċ-ċirkonferenza ≥6mm/s Veloċità tat-tqattigħ lineari ≥50mm/s
	Għall-kristall tan-nitrur tal-gallju, materjali semikondutturi b'distakk tal-medda ultra-wisa (djamant/ossidu tal-gallju), materjali speċjali aerospazjali, sottostrat taċ-ċeramika tal-karbonju LTCC, fotovoltajka, kristall scintillator u ipproċessar ta 'materjali oħra. Nota: Il-kapaċità tal-ipproċessar tvarja skont il-karatteristiċi tal-materjal

Każ tal-ipproċessar:

Is-servizzi ta' XKH:

XKH jipprovdi firxa sħiħa ta 'appoġġ sħiħ ta' servizz taċ-ċiklu tal-ħajja għat-tagħmir tat-teknoloġija tal-laser microjet, mill-iżvilupp bikri tal-proċess u l-konsultazzjoni tal-għażla tat-tagħmir, għall-integrazzjoni tas-sistema personalizzata f'nofs it-terminu (inkluż it-tqabbil speċjali ta 'sors tal-laser, sistema tal-ġett u modulu ta' awtomazzjoni), sat-taħriġ ta 'tħaddim u manutenzjoni aktar tard u ottimizzazzjoni tal-proċess kontinwu, il-proċess kollu huwa mgħammar b'appoġġ ta' tim tekniku professjonali; Ibbażat fuq 20 sena ta 'esperjenza ta' magni ta 'preċiżjoni, nistgħu nipprovdu soluzzjonijiet one-stop inkluż verifika ta' tagħmir, introduzzjoni tal-produzzjoni tal-massa u rispons rapidu wara l-bejgħ (24 siegħa ta 'appoġġ tekniku + riżerva ta' spare parts ewlenin) għal industriji differenti bħal semikondutturi u mediċi, u wegħda garanzija ta '12-il xahar u manutenzjoni tul il-ħajja u servizz ta' aġġornament. Żgura li t-tagħmir tal-klijent dejjem iżomm il-prestazzjoni u l-istabbiltà tal-ipproċessar li jwasslu l-industrija.