Wejfer LNOI (Niobat tal-Litju fuq Iżolatur) Sensing tat-Telekomunikazzjoni Elettro-Ottiku Għoli
Dijagramma dettaljata
Ħarsa ġenerali
Ġewwa l-kaxxa tal-wejfer hemm skanalaturi simmetriċi, li d-dimensjonijiet tagħhom huma strettament uniformi biex isostnu ż-żewġ naħat tal-wejfer. Il-kaxxa tal-kristall ġeneralment hija magħmula minn materjal PP tal-plastik trasluċidu li huwa reżistenti għat-temperatura, l-użu u l-elettriku statiku. Kuluri differenti ta' addittivi jintużaw biex jiddistingwu s-segmenti tal-proċess tal-metall fil-produzzjoni tas-semikondutturi. Minħabba d-daqs żgħir taċ-ċavetta tas-semikondutturi, il-mudelli densi, u r-rekwiżiti stretti ħafna tad-daqs tal-partiċelli fil-produzzjoni, il-kaxxa tal-wejfer trid tkun garantita ambjent nadif biex tikkonnettja mal-kavità tar-reazzjoni tal-kaxxa tal-mikroambjent ta' magni tal-produzzjoni differenti.
Metodoloġija tal-Fabbrikazzjoni
Il-fabbrikazzjoni tal-wejfers tal-LNOI tikkonsisti f'diversi passi preċiżi:
Pass 1: Impjantazzjoni tal-Jone tal-EljuJonji tal-elju jiġu introdotti f'kristall LN bl-ingrossa bl-użu ta' impjantatur tal-joni. Dawn il-joni joqogħdu f'fond speċifiku, u jiffurmaw pjan imdgħajjef li eventwalment jiffaċilita t-tneħħija tal-film.
Pass 2: Formazzjoni tas-Sottostrat tal-BażiWejfer separat tas-silikon jew tal-LN jiġi ossidizzat jew f'saffi b'SiO2 bl-użu tal-PECVD jew ossidazzjoni termali. Il-wiċċ ta' fuq tiegħu jiġi planarizzat għal twaħħil ottimali.
Pass 3: Twaħħil ta' LN mas-SottostratIl-kristall LN impjantat bil-jone jinqaleb u jitwaħħal mal-wejfer bażi bl-użu ta' twaħħil dirett tal-wejfer. F'ambjenti ta' riċerka, il-benzocyclobutene (BCB) jista' jintuża bħala kolla biex jissimplifika t-twaħħil taħt kundizzjonijiet inqas stretti.
Pass 4: Trattament Termali u Separazzjoni tal-FilmL-ittemprar jattiva l-formazzjoni tal-bżieżaq fil-fond tal-impjantazzjoni, u b'hekk jippermetti s-separazzjoni tal-film irqiq (is-saff ta' fuq tal-LN) mill-massa. Il-forza mekkanika tintuża biex titlesta l-esfoljazzjoni.
Pass 5: Lustrar tal-wiċċIl-Lustrar Kimiku Mekkaniku (CMP) jiġi applikat biex jillixxa l-wiċċ ta' fuq tal-LN, u b'hekk itejjeb il-kwalità ottika u r-rendiment tal-apparat.
Parametri Tekniċi
| Materjal | Ottiku Grad LiNbO3 wafes (Abjad or Iswed) | |
| Curie Temperatura | 1142±0.7℃ | |
| Qtugħ Angolu | X/Y/Z eċċ. | |
| Dijametru/daqs | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0.20 mm ±0.005 mm | |
| Ħxuna | 0.18～0.5mm jew aktar | |
| Primarja Ċatt | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Pruwa | -30 | |
| Medd | <40μm | |
| Orjentazzjoni Ċatt | Kollha disponibbli | |
| Wiċċ Tip | Naħa Unika Lustrata (SSP)/Naħat Doppji Lustrati (DSP) | |
| Illustrat ġenb Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Tarf Kriterji | R=0.2mm Tip Ċ or Imnieħer Bullnose | |
| Kwalità | B'xejn of xquq (bżieżaq) u inklużjonijiet) | |
| Ottiku iddopjat | Mg/Fe/Zn/MgO eċċ. għal ottiku grad LN wejfers kull mitlub | |
| Wejfer Wiċċ Kriterji | Indiċi refrattiv | Le=2.2878/Ne=2.2033 @632nm wavelength/metodu ta' akkoppjar tal-priżma. |
| Kontaminazzjoni, | Xejn | |
| Partiċelli ċ>0.3μ m | <=30 | |
| Grif, Tqaxxir | Xejn | |
| Difett | L-ebda xquq fit-tarf, grif, marki tas-serrieq, tbajja' | |
| Ippakkjar | Kwantità/Kaxxa tal-wejfer | 25 biċċa għal kull kaxxa |
Każijiet ta' Użu
Minħabba l-versatilità u l-prestazzjoni tiegħu, l-LNOI jintuża f'bosta industriji:
Fotonika:Modulaturi kompatti, multiplexers, u ċirkwiti fotoniċi.
RF/Akustika:Modulaturi akusto-ottiċi, filtri RF.
Kompjuters Kwantistiċi:Miksers ta' frekwenza mhux lineari u ġeneraturi ta' pari ta' fotoni.
Difiża u Aerospazjali:Ġiroskopji ottiċi b'telf baxx, apparati li jibdlu l-frekwenza.
Apparati Mediċi:Biosensuri ottiċi u sondi tas-sinjali ta' frekwenza għolja.
Mistoqsijiet Frekwenti
M: Għaliex l-LNOI huwa preferut fuq is-SOI fis-sistemi ottiċi?
A:L-LNOI għandu koeffiċjenti elettro-ottiċi superjuri u firxa usa' ta' trasparenza, li jippermettu prestazzjoni ogħla fiċ-ċirkwiti fotoniċi.
M: Is-CMP huwa obbligatorju wara l-qsim?
A:Iva. Il-wiċċ tal-LN espost ikun mhux maħdum wara t-tqattigħ tal-joni u jrid jiġi llustrat biex jissodisfa l-ispeċifikazzjonijiet tal-grad ottiku.
M: X'inhu d-daqs massimu tal-wejfer disponibbli?
A:Il-wejfers kummerċjali tal-LNOI huma primarjament ta' 3” u 4”, għalkemm xi fornituri qed jiżviluppaw varjanti ta' 6”.
M: Jista' s-saff LN jerġa' jintuża wara t-tqassim?
A:Il-kristall bażi jista' jiġi llustrat mill-ġdid u użat mill-ġdid diversi drabi, għalkemm il-kwalità tista' tiddegrada wara ċikli multipli.
M: Il-wejfers LNOI huma kompatibbli mal-ipproċessar CMOS?
A:Iva, huma ddisinjati biex jallinjaw mal-proċessi konvenzjonali tal-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi, speċjalment meta jintużaw sottostrati tas-silikon.
