Wejfer LNOI (Niobat tal-Litju fuq Iżolatur) Sensing tat-Telekomunikazzjoni Elettro-Ottiku Għoli

Deskrizzjoni Qasira:

LNOI (Lithium Niobate on Insulator) jirrappreżenta pjattaforma trasformattiva fin-nanofotonika, li tgħaqqad il-karatteristiċi ta' prestazzjoni għolja tan-nijobat tal-litju ma' pproċessar skalabbli kompatibbli mas-silikon. Bl-użu ta' metodoloġija Smart-Cut™ modifikata, films irqaq tal-LN huma separati minn kristalli bl-ingrossa u mwaħħlin ma' sottostrati iżolanti, u jiffurmaw munzell ibridu kapaċi jappoġġja teknoloġiji ottiċi, RF u kwantistiċi avvanzati.


Karatteristiċi

Dijagramma dettaljata

LNOI 3
LiNbO3-4

Ħarsa ġenerali

Ġewwa l-kaxxa tal-wejfer hemm skanalaturi simmetriċi, li d-dimensjonijiet tagħhom huma strettament uniformi biex isostnu ż-żewġ naħat tal-wejfer. Il-kaxxa tal-kristall ġeneralment hija magħmula minn materjal PP tal-plastik trasluċidu li huwa reżistenti għat-temperatura, l-użu u l-elettriku statiku. Kuluri differenti ta' addittivi jintużaw biex jiddistingwu s-segmenti tal-proċess tal-metall fil-produzzjoni tas-semikondutturi. Minħabba d-daqs żgħir taċ-ċavetta tas-semikondutturi, il-mudelli densi, u r-rekwiżiti stretti ħafna tad-daqs tal-partiċelli fil-produzzjoni, il-kaxxa tal-wejfer trid tkun garantita ambjent nadif biex tikkonnettja mal-kavità tar-reazzjoni tal-kaxxa tal-mikroambjent ta' magni tal-produzzjoni differenti.

Metodoloġija tal-Fabbrikazzjoni

Il-fabbrikazzjoni tal-wejfers tal-LNOI tikkonsisti f'diversi passi preċiżi:

Pass 1: Impjantazzjoni tal-Jone tal-EljuJonji tal-elju jiġu introdotti f'kristall LN bl-ingrossa bl-użu ta' impjantatur tal-joni. Dawn il-joni joqogħdu f'fond speċifiku, u jiffurmaw pjan imdgħajjef li eventwalment jiffaċilita t-tneħħija tal-film.

Pass 2: Formazzjoni tas-Sottostrat tal-BażiWejfer separat tas-silikon jew tal-LN jiġi ossidizzat jew f'saffi b'SiO2 bl-użu tal-PECVD jew ossidazzjoni termali. Il-wiċċ ta' fuq tiegħu jiġi planarizzat għal twaħħil ottimali.

Pass 3: Twaħħil ta' LN mas-SottostratIl-kristall LN impjantat bil-jone jinqaleb u jitwaħħal mal-wejfer bażi bl-użu ta' twaħħil dirett tal-wejfer. F'ambjenti ta' riċerka, il-benzocyclobutene (BCB) jista' jintuża bħala kolla biex jissimplifika t-twaħħil taħt kundizzjonijiet inqas stretti.

Pass 4: Trattament Termali u Separazzjoni tal-FilmL-ittemprar jattiva l-formazzjoni tal-bżieżaq fil-fond tal-impjantazzjoni, u b'hekk jippermetti s-separazzjoni tal-film irqiq (is-saff ta' fuq tal-LN) mill-massa. Il-forza mekkanika tintuża biex titlesta l-esfoljazzjoni.

Pass 5: Lustrar tal-wiċċIl-Lustrar Kimiku Mekkaniku (CMP) jiġi applikat biex jillixxa l-wiċċ ta' fuq tal-LN, u b'hekk itejjeb il-kwalità ottika u r-rendiment tal-apparat.

Parametri Tekniċi

Materjal

Ottiku Grad LiNbO3 wafes (Abjad or Iswed)

Curie Temperatura

1142±0.7℃

Qtugħ Angolu

X/Y/Z eċċ.

Dijametru/daqs

2”/3”/4” ±0.03mm

Tol(±)

<0.20 mm ±0.005 mm

Ħxuna

0.18~0.5mm jew aktar

Primarja Ċatt

16mm/22mm/32mm

TTV

<3μm

Pruwa

-30

Medd

<40μm

Orjentazzjoni Ċatt

Kollha disponibbli

Wiċċ Tip

Naħa Unika Lustrata (SSP)/Naħat Doppji Lustrati (DSP)

Illustrat ġenb Ra

<0.5nm

S/D

20/10

Tarf Kriterji R=0.2mm Tip Ċ or Imnieħer Bullnose
Kwalità B'xejn of xquq (bżieżaq) u inklużjonijiet)
Ottiku iddopjat Mg/Fe/Zn/MgO eċċ. għal ottiku grad LN wejfers kull mitlub
Wejfer Wiċċ Kriterji

Indiċi refrattiv

Le=2.2878/Ne=2.2033 @632nm wavelength/metodu ta' akkoppjar tal-priżma.

Kontaminazzjoni,

Xejn

Partiċelli ċ>0.3μ m

<=30

Grif, Tqaxxir

Xejn

Difett

L-ebda xquq fit-tarf, grif, marki tas-serrieq, tbajja'
Ippakkjar

Kwantità/Kaxxa tal-wejfer

25 biċċa għal kull kaxxa

Każijiet ta' Użu

Minħabba l-versatilità u l-prestazzjoni tiegħu, l-LNOI jintuża f'bosta industriji:

Fotonika:Modulaturi kompatti, multiplexers, u ċirkwiti fotoniċi.

RF/Akustika:Modulaturi akusto-ottiċi, filtri RF.

Kompjuters Kwantistiċi:Miksers ta' frekwenza mhux lineari u ġeneraturi ta' pari ta' fotoni.

Difiża u Aerospazjali:Ġiroskopji ottiċi b'telf baxx, apparati li jibdlu l-frekwenza.

Apparati Mediċi:Biosensuri ottiċi u sondi tas-sinjali ta' frekwenza għolja.

Mistoqsijiet Frekwenti

M: Għaliex l-LNOI huwa preferut fuq is-SOI fis-sistemi ottiċi?

A:L-LNOI għandu koeffiċjenti elettro-ottiċi superjuri u firxa usa' ta' trasparenza, li jippermettu prestazzjoni ogħla fiċ-ċirkwiti fotoniċi.

 

M: Is-CMP huwa obbligatorju wara l-qsim?

A:Iva. Il-wiċċ tal-LN espost ikun mhux maħdum wara t-tqattigħ tal-joni u jrid jiġi llustrat biex jissodisfa l-ispeċifikazzjonijiet tal-grad ottiku.

M: X'inhu d-daqs massimu tal-wejfer disponibbli?

A:Il-wejfers kummerċjali tal-LNOI huma primarjament ta' 3” u 4”, għalkemm xi fornituri qed jiżviluppaw varjanti ta' 6”.

 

M: Jista' s-saff LN jerġa' jintuża wara t-tqassim?

A:Il-kristall bażi jista' jiġi llustrat mill-ġdid u użat mill-ġdid diversi drabi, għalkemm il-kwalità tista' tiddegrada wara ċikli multipli.

 

M: Il-wejfers LNOI huma kompatibbli mal-ipproċessar CMOS?

A:Iva, huma ddisinjati biex jallinjaw mal-proċessi konvenzjonali tal-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi, speċjalment meta jintużaw sottostrati tas-silikon.


  • Preċedenti:
  • Li jmiss:

  • Ikteb il-messaġġ tiegħek hawn u ibgħatu lilna