Wejfers tal-Kwarz Fuż ta' Purità Għolja għal Semikondutturi, Applikazzjonijiet Ottiċi Fotoniċi 2″4″6″8″12″
Dijagramma dettaljata


Ħarsa ġenerali lejn il-Ħġieġ tal-Kwarz

Il-wejfers tal-kwarz jiffurmaw is-sinsla ta' għadd kbir ta' apparati moderni li jmexxu d-dinja diġitali tal-lum. Min-navigazzjoni fl-ismartphone tiegħek sas-sinsla tal-istazzjonijiet bażi 5G, il-kwarz jagħti bil-kwiet l-istabbiltà, il-purità u l-preċiżjoni meħtieġa fl-elettronika u l-fotonika ta' prestazzjoni għolja. Kemm jekk jappoġġja ċirkwiti flessibbli, jippermetti sensuri MEMS, jew jifforma l-bażi għall-komputazzjoni kwantistika, il-karatteristiċi uniċi tal-kwarz jagħmluh indispensabbli fl-industriji kollha.
“Silika Fuża” jew “Kwarz Fuż” li hija l-fażi amorfa tal-kwarz (SiO2). Meta mqabbla mal-ħġieġ borosilikat, is-silika fuża m’għandhiex addittivi; għalhekk teżisti fil-forma pura tagħha, SiO2. Is-silika fuża għandha trasmissjoni ogħla fl-ispettru infra-aħmar u ultravjola meta mqabbla mal-ħġieġ normali. Is-silika fuża hija prodotta billi tidwib u terġa’ tissolidifika SiO2 ultrapur. Is-silika fuża sintetika min-naħa l-oħra hija magħmula minn prekursuri kimiċi rikki fis-silikon bħal SiCl4 li huma gassifikati u mbagħad ossidizzati f’atmosfera ta’ H2 + O2. It-trab SiO2 iffurmat f’dan il-każ huwa mdewweb mas-silika fuq sottostrat. Il-blokki tas-silika fuża jinqatgħu f’wejfers u wara l-wejfers jiġu finalment illustrati.
Karatteristiċi u Benefiċċji Ewlenin tal-Wafer tal-Ħġieġ tal-Kwarz
-
Purità Ultra-Għolja (≥99.99% SiO2)
Ideali għal proċessi ta' semikondutturi u fotoniċi ultra-nodfa fejn il-kontaminazzjoni tal-materjal trid tiġi minimizzata. -
Firxa Operattiva Termali Wiesgħa
Iżomm l-integrità strutturali minn temperaturi krijoġeniċi sa aktar minn 1100°C mingħajr tgħawwiġ jew degradazzjoni. -
Trażmissjoni UV u IR eċċellenti
Jipprovdi ċarezza ottika eċċellenti mill-ultravjola profonda (DUV) sal-infra-aħmar qrib (NIR), u jappoġġja applikazzjonijiet ottiċi ta' preċiżjoni. -
Koeffiċjent ta' Espansjoni Termali Baxxa
Ittejjeb l-istabbiltà dimensjonali taħt varjazzjonijiet fit-temperatura, tnaqqas l-istress u ttejjeb l-affidabbiltà tal-proċess. -
Reżistenza Kimika Superjuri
Inerti għall-biċċa l-kbira tal-aċidi, alkali, u solventi—li jagħmilha adattata sew għal ambjenti kimikament aggressivi. -
Flessibilità tal-Finitura tal-Wiċċ
Disponibbli b'finitura llustrata ultra-lixxa, fuq naħa waħda jew fuq żewġ naħat, kompatibbli mar-rekwiżiti tal-fotonika u l-MEMS.
Proċess ta' Manifattura ta' Wejfer tal-Ħġieġ tal-Kwarz
Il-wejfers tal-kwarz imdewweb huma prodotti permezz ta' serje ta' passi kkontrollati u preċiżi:
-
Għażla ta' Materja Prima
Għażla ta' kwarz naturali ta' purità għolja jew sorsi sintetiċi ta' SiO₂. -
Tidwib u Fużjoni
Il-kwarz jiddewweb f'temperatura ta' madwar 2000°C f'fran elettriċi taħt atmosfera kkontrollata biex jiġu eliminati l-inklużjonijiet u l-bżieżaq. -
Formazzjoni ta' Blokki
Is-silika mdewba titkessaħ fi blokki solidi jew ingotti. -
Tqattigħ tal-wejfer
Serrieq ta' preċiżjoni tad-djamanti jew tal-wajer jintużaw biex jaqtgħu l-ingotti fi vojt tal-wejfer. -
Lapping u Lustrar
Iż-żewġ uċuħ huma ċċattjati u llustrati biex jissodisfaw l-ispeċifikazzjonijiet ottiċi, tal-ħxuna u tal-ħruxija eżatti. -
Tindif u Spezzjoni
Il-wejfers jitnaddfu f'kmamar nodfa tal-Klassi ISO 100/1000 u jiġu soġġetti għal spezzjoni rigoruża għal difetti u konformità dimensjonali.
Proprjetajiet tal-wejfer tal-Ħġieġ tal-Kwarz
speċifikazzjoni | unità | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
---|---|---|---|---|---|---|
Dijametru / daqs (jew kwadru) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
Tolleranza (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
Ħxuna | mm | 0.10 jew aktar | 0.30 jew aktar | 0.40 jew aktar | 0.50 jew aktar | 0.50 jew aktar |
Referenza primarja ċatta | mm | 32.5 | 57.5 | Semi-talja | Semi-talja | Semi-talja |
LTV (5mm × 5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
TTV | μm | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
Pruwa | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
Medd | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
PLTV (5mm × 5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
It-Tarf tat-Tarf | mm | Konformi mal-Istandard SEMI M1.2 / irreferi għal IEC62276 | ||||
Tip ta' Wiċċ | Naħa Unika Illustrata / Naħat Doppji Illustrati | |||||
Naħa illustrata Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
Kriterji tan-Naħa ta' Wara | μm | ġenerali 0.2-0.7 jew personalizzat |
Kwarz vs. Materjali Trasparenti Oħra
Proprjetà | Ħġieġ tal-Kwarz | Ħġieġ Borosilikat | Żaffir | Ħġieġ Standard |
---|---|---|---|---|
Temperatura Massima tat-Tħaddim | ~1100°Ċ | ~500°Ċ | ~2000°Ċ | ~200°Ċ |
Trażmissjoni UV | Eċċellenti (JGS1) | Fqir | Tajjeb | Fqir ħafna |
Reżistenza Kimika | Eċċellenti | Moderat | Eċċellenti | Fqir |
Purità | Estremament għoli | Baxx għal moderat | Għoli | Baxx |
Espansjoni Termali | Baxx ħafna | Moderat | Baxx | Għoli |
Spiża | Moderat għal għoli | Baxx | Għoli | Baxx ħafna |
Mistoqsijiet Frekwenti dwar il-Wafer tal-Ħġieġ tal-Kwarz
M1: X'inhi d-differenza bejn il-kwarz imdewweb u s-silika mdewba?
Filwaqt li t-tnejn huma forom amorfi ta' SiO₂, il-kwarz imdewweb tipikament joriġina minn sorsi naturali tal-kwarz, filwaqt li s-silika mdewba hija prodotta sintetikament. Funzjonalment, joffru prestazzjoni simili, iżda s-silika mdewba jista' jkollha purità u omoġenjità kemxejn ogħla.
M2: Jistgħu l-wejfers tal-kwarz imdewweb jintużaw f'ambjenti ta' vakwu għoli?
Iva. Minħabba l-proprjetajiet baxxi ta' ħruġ ta' gass tagħhom u r-reżistenza termali għolja, il-wejfers tal-kwarz imdewweb huma eċċellenti għal sistemi tal-vakwu u applikazzjonijiet aerospazjali.
M3: Dawn il-wejfers huma adattati għal applikazzjonijiet tal-lejżer deep-UV?
Assolutament. Il-kwarz imdewweb għandu trasmittanza għolja sa ~185 nm, li jagħmilha ideali għal ottiċi DUV, maskri tal-litografija, u sistemi tal-lejżer eċċimeri.
M4: Tappoġġjaw il-fabbrikazzjoni tal-wejfers apposta?
Iva. Noffru adattament sħiħ inkluż id-dijametru, il-ħxuna, il-kwalità tal-wiċċ, ċatti/talji, u tfassil bil-lejżer, ibbażat fuq ir-rekwiżiti speċifiċi tal-applikazzjoni tiegħek.
Dwarna
XKH tispeċjalizza fl-iżvilupp ta' teknoloġija għolja, il-produzzjoni, u l-bejgħ ta' ħġieġ ottiku speċjali u materjali ġodda tal-kristall. Il-prodotti tagħna jservu l-elettronika ottika, l-elettronika għall-konsumatur, u l-militar. Noffru komponenti ottiċi taż-żaffir, kisi tal-lentijiet tat-telefowns ċellulari, Ċeramika, LT, Silicon Carbide SIC, Kwarz, u wejfers tal-kristall semikondutturi. B'kompetenza tas-sengħa u tagħmir avvanzat, neċċellaw fl-ipproċessar ta' prodotti mhux standard, bil-għan li nkunu intrapriża ewlenija ta' teknoloġija għolja fil-materjali optoelettroniċi.