Wejfers tal-Kwarz Fuż ta' Purità Għolja għal Semikondutturi, Applikazzjonijiet Ottiċi Fotoniċi 2″4″6″8″12″

Deskrizzjoni Qasira:

Kwarz imdewweb—magħruf ukoll bħalaSilika mdewba—hija l-forma mhux kristallina (amorfa) tad-dijossidu tas-silikon (SiO₂). B'differenza mill-borosilikat jew ħġieġ industrijali ieħor, il-kwarz imdewweb ma fih l-ebda dopanti jew addittivi, u joffri kompożizzjoni kimikament pura ta' SiO₂. Huwa magħruf għat-trażmissjoni ottika eċċezzjonali tiegħu kemm fl-ispettru ultravjola (UV) kif ukoll fl-infra-aħmar (IR), u tisboq il-materjali tradizzjonali tal-ħġieġ.


Karatteristiċi

Ħarsa ġenerali lejn il-Ħġieġ tal-Kwarz

Il-wejfers tal-kwarz jiffurmaw is-sinsla ta' għadd kbir ta' apparati moderni li jmexxu d-dinja diġitali tal-lum. Min-navigazzjoni fl-ismartphone tiegħek sas-sinsla tal-istazzjonijiet bażi 5G, il-kwarz jagħti bil-kwiet l-istabbiltà, il-purità u l-preċiżjoni meħtieġa fl-elettronika u l-fotonika ta' prestazzjoni għolja. Kemm jekk jappoġġja ċirkwiti flessibbli, jippermetti sensuri MEMS, jew jifforma l-bażi għall-komputazzjoni kwantistika, il-karatteristiċi uniċi tal-kwarz jagħmluh indispensabbli fl-industriji kollha.

“Silika Fuża” jew “Kwarz Fuż” li hija l-fażi amorfa tal-kwarz (SiO2). Meta mqabbla mal-ħġieġ borosilikat, is-silika fuża m’għandhiex addittivi; għalhekk teżisti fil-forma pura tagħha, SiO2. Is-silika fuża għandha trasmissjoni ogħla fl-ispettru infra-aħmar u ultravjola meta mqabbla mal-ħġieġ normali. Is-silika fuża hija prodotta billi tidwib u terġa’ tissolidifika SiO2 ultrapur. Is-silika fuża sintetika min-naħa l-oħra hija magħmula minn prekursuri kimiċi rikki fis-silikon bħal SiCl4 li huma gassifikati u mbagħad ossidizzati f’atmosfera ta’ H2 + O2. It-trab SiO2 iffurmat f’dan il-każ huwa mdewweb mas-silika fuq sottostrat. Il-blokki tas-silika fuża jinqatgħu f’wejfers u wara l-wejfers jiġu finalment illustrati.

Karatteristiċi u Benefiċċji Ewlenin tal-Wafer tal-Ħġieġ tal-Kwarz

  • Purità Ultra-Għolja (≥99.99% SiO2)
    Ideali għal proċessi ta' semikondutturi u fotoniċi ultra-nodfa fejn il-kontaminazzjoni tal-materjal trid tiġi minimizzata.

  • Firxa Operattiva Termali Wiesgħa
    Iżomm l-integrità strutturali minn temperaturi krijoġeniċi sa aktar minn 1100°C mingħajr tgħawwiġ jew degradazzjoni.

  • Trażmissjoni UV u IR eċċellenti
    Jipprovdi ċarezza ottika eċċellenti mill-ultravjola profonda (DUV) sal-infra-aħmar qrib (NIR), u jappoġġja applikazzjonijiet ottiċi ta' preċiżjoni.

  • Koeffiċjent ta' Espansjoni Termali Baxxa
    Ittejjeb l-istabbiltà dimensjonali taħt varjazzjonijiet fit-temperatura, tnaqqas l-istress u ttejjeb l-affidabbiltà tal-proċess.

  • Reżistenza Kimika Superjuri
    Inerti għall-biċċa l-kbira tal-aċidi, alkali, u solventi—li jagħmilha adattata sew għal ambjenti kimikament aggressivi.

  • Flessibilità tal-Finitura tal-Wiċċ
    Disponibbli b'finitura llustrata ultra-lixxa, fuq naħa waħda jew fuq żewġ naħat, kompatibbli mar-rekwiżiti tal-fotonika u l-MEMS.

Proċess ta' Manifattura ta' Wejfer tal-Ħġieġ tal-Kwarz

Il-wejfers tal-kwarz imdewweb huma prodotti permezz ta' serje ta' passi kkontrollati u preċiżi:

  1. Għażla ta' Materja Prima
    Għażla ta' kwarz naturali ta' purità għolja jew sorsi sintetiċi ta' SiO₂.

  2. Tidwib u Fużjoni
    Il-kwarz jiddewweb f'temperatura ta' madwar 2000°C f'fran elettriċi taħt atmosfera kkontrollata biex jiġu eliminati l-inklużjonijiet u l-bżieżaq.

  3. Formazzjoni ta' Blokki
    Is-silika mdewba titkessaħ fi blokki solidi jew ingotti.

  4. Tqattigħ tal-wejfer
    Serrieq ta' preċiżjoni tad-djamanti jew tal-wajer jintużaw biex jaqtgħu l-ingotti fi vojt tal-wejfer.

  5. Lapping u Lustrar
    Iż-żewġ uċuħ huma ċċattjati u llustrati biex jissodisfaw l-ispeċifikazzjonijiet ottiċi, tal-ħxuna u tal-ħruxija eżatti.

  6. Tindif u Spezzjoni
    Il-wejfers jitnaddfu f'kmamar nodfa tal-Klassi ISO 100/1000 u jiġu soġġetti għal spezzjoni rigoruża għal difetti u konformità dimensjonali.

Proprjetajiet tal-wejfer tal-Ħġieġ tal-Kwarz

speċifikazzjoni unità 4" 6" 8" 10" 12"
Dijametru / daqs (jew kwadru) mm 100 150 200 250 300
Tolleranza (±) mm 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2
Ħxuna mm 0.10 jew aktar 0.30 jew aktar 0.40 jew aktar 0.50 jew aktar 0.50 jew aktar
Referenza primarja ċatta mm 32.5 57.5 Semi-talja Semi-talja Semi-talja
LTV (5mm × 5mm) μm < 0.5 < 0.5 < 0.5 < 0.5 < 0.5
TTV μm < 2 < 3 < 3 < 5 < 5
Pruwa μm ±20 ±30 ±40 ±40 ±40
Medd μm ≤ 30 ≤ 40 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50
PLTV (5mm × 5mm) < 0.4μm % ≥95% ≥95% ≥95% ≥95% ≥95%
It-Tarf tat-Tarf mm Konformi mal-Istandard SEMI M1.2 / irreferi għal IEC62276
Tip ta' Wiċċ Naħa Unika Illustrata / Naħat Doppji Illustrati
Naħa illustrata Ra nm ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Kriterji tan-Naħa ta' Wara μm ġenerali 0.2-0.7 jew personalizzat

Kwarz vs. Materjali Trasparenti Oħra

Proprjetà Ħġieġ tal-Kwarz Ħġieġ Borosilikat Żaffir Ħġieġ Standard
Temperatura Massima tat-Tħaddim ~1100°Ċ ~500°Ċ ~2000°Ċ ~200°Ċ
Trażmissjoni UV Eċċellenti (JGS1) Fqir Tajjeb Fqir ħafna
Reżistenza Kimika Eċċellenti Moderat Eċċellenti Fqir
Purità Estremament għoli Baxx għal moderat Għoli Baxx
Espansjoni Termali Baxx ħafna Moderat Baxx Għoli
Spiża Moderat għal għoli Baxx Għoli Baxx ħafna

Mistoqsijiet Frekwenti dwar il-Wafer tal-Ħġieġ tal-Kwarz

M1: X'inhi d-differenza bejn il-kwarz imdewweb u s-silika mdewba?
Filwaqt li t-tnejn huma forom amorfi ta' SiO₂, il-kwarz imdewweb tipikament joriġina minn sorsi naturali tal-kwarz, filwaqt li s-silika mdewba hija prodotta sintetikament. Funzjonalment, joffru prestazzjoni simili, iżda s-silika mdewba jista' jkollha purità u omoġenjità kemxejn ogħla.

M2: Jistgħu l-wejfers tal-kwarz imdewweb jintużaw f'ambjenti ta' vakwu għoli?
Iva. Minħabba l-proprjetajiet baxxi ta' ħruġ ta' gass tagħhom u r-reżistenza termali għolja, il-wejfers tal-kwarz imdewweb huma eċċellenti għal sistemi tal-vakwu u applikazzjonijiet aerospazjali.

M3: Dawn il-wejfers huma adattati għal applikazzjonijiet tal-lejżer deep-UV?
Assolutament. Il-kwarz imdewweb għandu trasmittanza għolja sa ~185 nm, li jagħmilha ideali għal ottiċi DUV, maskri tal-litografija, u sistemi tal-lejżer eċċimeri.

M4: Tappoġġjaw il-fabbrikazzjoni tal-wejfers apposta?
Iva. Noffru adattament sħiħ inkluż id-dijametru, il-ħxuna, il-kwalità tal-wiċċ, ċatti/talji, u tfassil bil-lejżer, ibbażat fuq ir-rekwiżiti speċifiċi tal-applikazzjoni tiegħek.

Dwarna

XKH tispeċjalizza fl-iżvilupp ta' teknoloġija għolja, il-produzzjoni, u l-bejgħ ta' ħġieġ ottiku speċjali u materjali ġodda tal-kristall. Il-prodotti tagħna jservu l-elettronika ottika, l-elettronika għall-konsumatur, u l-militar. Noffru komponenti ottiċi taż-żaffir, kisi tal-lentijiet tat-telefowns ċellulari, Ċeramika, LT, Silicon Carbide SIC, Kwarz, u wejfers tal-kristall semikondutturi. B'kompetenza tas-sengħa u tagħmir avvanzat, neċċellaw fl-ipproċessar ta' prodotti mhux standard, bil-għan li nkunu intrapriża ewlenija ta' teknoloġija għolja fil-materjali optoelettroniċi.

 

Sottostrat ta' Sapphire mhux ipproċessat ta' Purità Għolja Blank taż-Żaffir għall-Ipproċessar 5


  • Preċedenti:
  • Li jmiss:

  • Ikteb il-messaġġ tiegħek hawn u ibgħatu lilna