Effettur tat-Tmiem taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Prestazzjoni Għolja (Arm tal-Furketta) għall-Awtomazzjoni tas-Semikondutturi u l-Kamra Nadifa

Effettur tat-Tmiem taċ-Ċeramika tal-Alumina ta' Prestazzjoni Għolja (Arm tal-Furketta) għall-Awtomazzjoni tas-Semikondutturi u l-Kamra Nodfa Immaġni Dehru

Deskrizzjoni Qasira:

L-Alumina Ceramic End Effector, magħruf ukoll bħala driegħ tal-furketta taċ-ċeramika jew id robotika taċ-ċeramika, huwa komponent ta' mmaniġġjar ta' preċiżjoni għolja ddisinjat għal sistemi awtomatizzati f'ambjenti ta' semikondutturi, fotovoltajċi, wiri tal-pannelli, u ambjenti ta' laboratorju ta' purità għolja. Huwa ddisinjat biex jipprovdi stabbiltà termali eċċezzjonali, riġidità mekkanika, u reżistenza kimika, u joffri trasport nadif, affidabbli, u sikur ta' materjali sensittivi bħal wejfers tas-silikon, sottostrati tal-ħġieġ, u mikro-komponenti elettroniċi.

Ibgħatilna email

Karatteristiċi

Dijagramma dettaljata

Introduzzjoni tal-Prodott

Bħala tip ta' end effector robotiku, dan il-komponent taċ-ċeramika huwa l-interfaċċja finali bejn is-sistema ta' awtomazzjoni u l-biċċa tax-xogħol. Għandu rwol kritiku fit-trasferiment ta' preċiżjoni, l-allinjament, it-tagħbija/ħatt, u l-kompiti ta' pożizzjonament f'kmamar nodfa u ambjenti tal-vakwu.

driegħ taċ-ċeramika għal wafer drive ta' semikondutturi G13

driegħ taċ-ċeramika għal wafer drive ta' semikondutturi G10

driegħ taċ-ċeramika għal wafer drive ta' semikondutturi G07

Ħarsa Ġenerali lejn il-Materjal – Ċeramika tal-Alumina (Al₂O₃)

Iċ-ċeramika tal-alumina hija materjal taċ-ċeramika teknika stabbli ħafna u kimikament inerti magħruf għall-proprjetajiet mekkaniċi u elettriċi eċċellenti tiegħu. L-alumina ta' purità għolja (≥ 99.5%) użata f'dawn l-effetturi finali tiżgura:

Ebusija għolja (Mohs 9)It-tieni biss wara d-djamant, l-alumina tipprovdi reżistenza estrema għall-użu.
Kapaċità ta' temperatura għoljaIżomm l-integrità strutturali 'l fuq minn 1600°C.
Inerzja kimikaReżistenti għall-aċidi, l-alkali, is-solventi, u l-ambjenti tal-inċiżjoni bil-plażma.
Insulazzjoni elettrikaB'saħħa dielettrika għolja u telf dielettriku baxx.
Espansjoni termali baxxaTiżgura stabbiltà dimensjonali f'ambjenti ta' ċikliżmu termali.
Ġenerazzjoni baxxa ta' partiċelliEssenzjali għall-kompatibilità mal-kamra nadifa (Klassi 10 sa Klassi 1000).

Dawn il-karatteristiċi jagħmlu ċ-ċeramika tal-alumina ideali għal operazzjonijiet kritiċi għall-missjoni f'industriji sensittivi għall-kontaminazzjoni.

Applikazzjonijiet Funzjonali

L-effettur tat-tarf taċ-ċeramika tal-alumina huwa adottat b'mod wiesa' fi proċessi industrijali ta' teknoloġija għolja, partikolarment fejn il-materjali metalliċi jew tal-plastik tradizzjonali jonqsu minħabba problemi ta' espansjoni termali, kontaminazzjoni, jew korrużjoni. L-oqsma ewlenin tal-applikazzjoni jinkludu:

Trasferiment ta' wejfers tas-semikondutturi
Sistemi ta' tagħbija u ħatt tal-fotolitografija
Immaniġġjar tas-sottostrat tal-ħġieġ f'linji OLED u LCD
Trasferiment ta' wejfer tas-silikon kristallin fil-produzzjoni taċ-ċelloli solari
Spezzjoni ottika jew mikroelettronika awtomatizzata
Trasport ta' kampjuni f'laboratorji analitiċi jew bijomediċi
Sistemi ta' awtomazzjoni tal-ambjent tal-vakwu

Il-kapaċità tagħha li taħdem mingħajr ma tintroduċi partiċelli jew ċarġ statiku tagħmilha indispensabbli għal operazzjonijiet robotiċi preċiżi fl-awtomazzjoni tal-kamra nadifa.

Karatteristiċi tad-Disinn u Personalizzazzjoni

Kull end effector taċ-ċeramika huwa ddisinjat biex jaqbel ma' driegħ robotiku speċifiku jew sistema ta' mmaniġġjar tal-wejfers. Aħna nappoġġjaw adattament sħiħ ibbażat fuq:

Kompatibilità tad-daqs tal-wejfer2", 4", 6", 8", 12" u aktar
Ġeometrija u spazjar tas-slottJakkomoda l-qabda tat-tarf, l-appoġġ tan-naħa ta' wara, jew disinji ta' wejfers imnaqqxa
Portijiet tal-ġbidToqob jew kanali tal-vakwu integrati għal immaniġġjar mingħajr kuntatt
Konfigurazzjoni tal-immuntarToqob, ħjut, slots imfassla apposta għall-flanġ tal-għodda tat-tarf tar-robot tiegħek
Trattament tal-wiċċFinitura illustrata, imdaħħla, jew mitħuna fina (Ra < 0.2 µm disponibbli)
Protezzjoni tat-tarfKantunieri ttundjati jew ċanfrin biex tiġi evitata ħsara lill-wejfer

Bl-użu ta' tpinġijiet CAD jew mudelli 3D ipprovduti mill-klijenti, l-inġiniera tagħna jistgħu jottimizzaw kull driegħ tal-furketta għall-piż, is-saħħa u l-indafa.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Vantaġġi tal-Effetturi tat-Tmiem taċ-Ċeramika

Karatteristika	Benefiċċju
Riġidità Mekkanika Għolja	Iżomm preċiżjoni dimensjonali taħt forzi ta' tagħbija robotiċi
Prestazzjoni Termali Eċċellenti	Jaħdem b'mod affidabbli f'ambjenti ta' temperatura għolja jew plażma
Kontaminazzjoni Żero tal-Metalli	L-ebda riskju ta' kontaminazzjoni tal-joni fl-ipproċessar kritiku tas-semikondutturi
Wiċċ ta' Frizzjoni Baxxa	Inaqqas ir-riskju tal-grif fuq il-wejfers jew is-sottostrati tal-ħġieġ
Anti-Statiku u Mhux Manjetiku	Ma jattirax it-trab jew jaffettwax komponenti sensittivi għall-manjetiċi
Ħajja ta' Servizz Twila	Reżistenza superjuri għall-użu f'ċikli ripetittivi ta' awtomazzjoni b'veloċità għolja
Kompatibilità Ultra-Nadifa	Adattat għal kmamar nodfa ISO 14644 (Klassi 100 u inqas)

Meta mqabbla ma' dirgħajn tal-plastik jew tal-aluminju, iċ-ċeramika tal-alumina tipprovdi stabbiltà kimika u fiżika mtejba b'mod drammatiku b'rekwiżiti minimi ta' manutenzjoni.

Proprjetà	Driegħ tal-metall	Driegħ tal-plastik	Driegħ taċ-Ċeramika tal-Alumina
Ebusija	Moderat	Baxx	Għoli Ħafna (Mohs 9)
Stabbiltà Termali	≤ 500°Ċ	≤ 150°Ċ	≥ 1600°Ċ
Reżistenza Kimika	Moderat	Fqir	Eċċellenti
Adattabilità għall-Kamra Nadifa	Medju	Baxx	Għoli Ħafna
Reżistenza għall-Ilbies	Medju	Baxx	Pendenti
Saħħa Dielettrika	Baxx	Medju	Għoli
Preċiżjoni tal-Magnir Personalizzat	Limitata	Moderat	Għoli (±0.01mm possibbli)

Speċifikazzjonijiet Tekniċi

Parametru	Valur
Materjal	Alumina ta' purità għolja (≥ 99.5%)
Temperatura tax-Xogħol	Sa 1600°C
Ħruxija tal-wiċċ	Ra ≤ 0.2 µm (mhux obbligatorju)
Daqsijiet tal-Wafer Kompatibbli	2" sa 12" jew apposta
Tolleranza tal-Flatness	±0.01 mm (jiddependi mill-applikazzjoni)
Appoġġ għall-Ġbid tal-Vakwu	Kanali fakultattivi u personalizzabbli
Għażliet ta' Immuntar	Toqob bil-bolt, flanġ, slotted

Mistoqsijiet Frekwenti (FAQ)

M1: Jista' l-effettur finali jiġi integrat f'sistemi robotiċi eżistenti?
A1:Iva. Aħna nappoġġjaw il-personalizzazzjoni bbażata fuq l-interfaċċja robotika tiegħek. Tista' tibgħatilna tpinġija CAD jew dimensjonijiet tal-flanġ għal adattament preċiż.

M2: Id-dirgħajn taċ-ċeramika se jinkisru faċilment waqt l-użu?
A2:Filwaqt li ċ-ċeramika hija fraġli min-natura tagħha, id-disinji tagħna jużaw ġeometrija ottimizzata biex jimminimizzaw il-konċentrazzjoni tal-istress. Taħt kundizzjonijiet ta' użu xierqa, jipprovdu ħajja ta' servizz ferm itwal mill-metall jew il-plastik.

M3: Huwa possibbli li dan jintuża f'kmamar tal-vakwu ultra-għoli jew tal-inċiżjoni tal-plażma?
A3:Iva. Iċ-ċeramika tal-alumina ma toħroġx gass, hija termalment stabbli, u reżistenti għall-korrużjoni—perfettament adattata għal ambjenti ta' vakwu għoli, gass reattiv, jew plażma.

M4: Kif jitnaddfu jew jinżammu dawn il-komponenti?
A4:Jistgħu jitnaddfu bl-użu ta' ilma DI, alkoħol, jew deterġenti kompatibbli mal-kamra nadifa. Mhija meħtieġa l-ebda manutenzjoni speċjali minħabba l-istabbiltà kimika u l-wiċċ inert tagħhom.

Dwarna

XKH tispeċjalizza fl-iżvilupp ta' teknoloġija għolja, il-produzzjoni, u l-bejgħ ta' ħġieġ ottiku speċjali u materjali ġodda tal-kristall. Il-prodotti tagħna jservu l-elettronika ottika, l-elettronika għall-konsumatur, u l-militar. Noffru komponenti ottiċi taż-żaffir, kisi tal-lentijiet tat-telefowns ċellulari, Ċeramika, LT, Silicon Carbide SIC, Kwarz, u wejfers tal-kristall semikondutturi. B'kompetenza tas-sengħa u tagħmir avvanzat, neċċellaw fl-ipproċessar ta' prodotti mhux standard, bil-għan li nkunu intrapriża ewlenija ta' teknoloġija għolja fil-materjali optoelettroniċi.