Tagħmir Awtomatiku Kompletament għat-Tqattigħ taċ-Ċrieki tal-Wefer Daqs tax-Xogħol għat-Tqattigħ taċ-Ċrieki tal-Wefer ta' 8 pulzieri/12-il pulzier

Tagħmir Awtomatiku Kompletament għall-Qtugħ taċ-Ċrieki tal-Wefer Daqs tax-Xogħol Qtugħ taċ-Ċrieki tal-Wefer ta' 8 pulzieri/12-il pulzier Immaġni Dehru

Deskrizzjoni Qasira:

XKH żviluppat b'mod indipendenti sistema kompletament awtomatika għat-tirqim tat-truf tal-wejfers, li tirrappreżenta soluzzjoni avvanzata ddisinjata għal proċessi ta' manifattura ta' semikondutturi front-end. Dan it-tagħmir jinkorpora teknoloġija innovattiva ta' kontroll sinkroniku b'ħafna assi u għandu sistema ta' magħżel b'riġidità għolja (veloċità massima ta' rotazzjoni: 60,000 RPM), li twassal tirqim preċiż tat-truf b'eżattezza tat-tqattigħ sa ±5μm. Is-sistema turi kompatibilità eċċellenti ma' diversi sottostrati semikondutturi, inklużi iżda mhux limitati għal:
1. Wejfers tas-silikon (Si): Adattati għall-ipproċessar tat-truf ta' wejfers ta' 8-12-il pulzier;
2. Semikondutturi komposti: Materjali semikondutturi tat-tielet ġenerazzjoni bħal GaAs u SiC;
3. Sottostrati speċjali: Wejfers ta' materjal pjeżoelettriku inklużi LT/LN;

Id-disinn modulari jappoġġja s-sostituzzjoni rapida ta' diversi konsumabbli inklużi xfafar tad-djamanti u rjus tal-qtugħ bil-lejżer, b'kompatibilità li taqbeż l-istandards tal-industrija. Għal rekwiżiti ta' proċess speċjalizzat, nipprovdu soluzzjonijiet komprensivi li jinkludu:
· Provvista ta' konsumabbli għat-tqattigħ dedikata
· Servizzi ta' pproċessar apposta
· Soluzzjonijiet ta' ottimizzazzjoni tal-parametri tal-proċess

Ibgħatilna email

Karatteristiċi

Parametri tekniċi

Parametru	Unità	Speċifikazzjoni
Daqs Massimu tal-Biċċa tax-Xogħol	mm	ø12"
Żarbun	Konfigurazzjoni	Żarbun Uniku
	Veloċità	3,000–60,000 rpm
	Qawwa tal-Ħruġ	1.8 kW (2.4 mhux obbligatorju) f'30,000 min⁻¹
	Dijametru Massimu tax-Xafra	Ø58 mm
Assi X	Firxa tat-Tqattigħ	310 mm
Assi Y	Firxa tat-Tqattigħ	310 mm
	Żieda fil-Pass	0.0001 mm
	Preċiżjoni tal-Pożizzjonament	≤0.003 mm/310 mm, ≤0.002 mm/5 mm (żball wieħed)
Assi Z	Riżoluzzjoni tal-Moviment	0.00005 mm
Assi Z	Ripetibbiltà	0.001 mm
Assi θ	Rotazzjoni Massima	380 grad
Tip ta' magħżel		Żennun wieħed, mgħammar b'xafra riġida għat-tqattigħ taċ-ċrieki
Preċiżjoni tat-Tqattigħ taċ-Ċrieki	μm	±50
Preċiżjoni tal-Pożizzjonament tal-Wafer	μm	±50
Effiċjenza ta' Wejfer Uniku	minuta/wejfer	8
Effiċjenza b'ħafna wejfers		Sa 4 wejfers ipproċessati simultanjament
Piż tat-Tagħmir	kg	≈3,200
Dimensjonijiet tat-Tagħmir (W × D × H)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

Prinċipju Operattiv

Is-sistema tikseb prestazzjoni eċċezzjonali fit-tirqim permezz ta' dawn it-teknoloġiji ewlenin:

1. Sistema ta' Kontroll tal-Mozzjoni Intelliġenti:
· Sewqan ta' mutur lineari ta' preċiżjoni għolja (preċiżjoni tal-pożizzjonament ripetut: ±0.5μm)
· Kontroll sinkroniku ta' sitt assi li jappoġġja l-ippjanar kumpless tat-trajettorja
· Algoritmi ta' soppressjoni tal-vibrazzjoni f'ħin reali li jiżguraw l-istabbiltà tat-tqattigħ

2. Sistema ta' Sejbien Avvanzata:
· Sensor tal-għoli tal-lejżer 3D integrat (preċiżjoni: 0.1μm)
· Pożizzjonament viżwali CCD b'riżoluzzjoni għolja (5 megapixels)
· Modulu ta' spezzjoni tal-kwalità online

3. Proċess Awtomatizzat Kompletament:
· Tagħbija/ħatt awtomatiku (kompatibbli mal-interfaċċja standard FOUP)
· Sistema ta' klassifikazzjoni intelliġenti
· Unità tat-tindif b'ċirkwit magħluq (indafa: Klassi 10)

Applikazzjonijiet Tipiċi

Dan it-tagħmir jagħti valur sinifikanti fl-applikazzjonijiet tal-manifattura tas-semikondutturi:

Qasam tal-Applikazzjoni	Materjali tal-Proċess	Vantaġġi Tekniċi
Manifattura tal-IC	Wejfers tas-silikon ta' 8/12"	Ittejjeb l-allinjament tal-litografija
Apparati tal-Enerġija	Wejfers tas-SiC/GaN	Jipprevjeni difetti fit-truf
Sensuri MEMS	Wejfers tas-SOI	Jiżgura l-affidabbiltà tal-apparat
Apparati RF	Wejfers tal-GaAs	Ittejjeb il-prestazzjoni ta' frekwenza għolja
Ippakkjar Avvanzat	Wejfers Rikostitwiti	Iżżid ir-rendiment tal-ippakkjar

Karatteristiċi

1. Konfigurazzjoni b'erba' stazzjonijiet għal effiċjenza għolja fl-ipproċessar;
2. Tneħħija u tneħħija stabbli taċ-ċrieki TAIKO;
3. Kompatibilità għolja ma' konsumabbli ewlenin;
4. It-teknoloġija tat-tirqim sinkroniku b'ħafna assi tiżgura qtugħ preċiż tat-tarf;
5. Il-fluss tal-proċess kompletament awtomatizzat inaqqas b'mod sinifikanti l-ispejjeż tax-xogħol;
6. Id-disinn tal-mejda tax-xogħol personalizzat jippermetti l-ipproċessar stabbli ta' strutturi speċjali;

Funzjonijiet

1. Sistema ta' skoperta ta' qatra taċ-ċirku;
2. Tindif awtomatiku tal-mejda tax-xogħol;
3. Sistema intelliġenti ta' tneħħija tal-irbit UV;
4. Reġistrazzjoni tar-reġistru tal-operazzjonijiet;
5. Integrazzjoni tal-modulu tal-awtomazzjoni tal-fabbrika;

Impenn ta' Servizz

XKH tipprovdi servizzi komprensivi ta' appoġġ tul iċ-ċiklu tal-ħajja sħiħ iddisinjati biex jimmassimizzaw il-prestazzjoni tat-tagħmir u l-effiċjenza operattiva matul il-vjaġġ tal-produzzjoni tiegħek.
1. Servizzi ta' Personalizzazzjoni
· Konfigurazzjoni ta' Tagħmir Imfassal apposta: It-tim tal-inġinerija tagħna jikkollabora mill-qrib mal-klijenti biex jottimizza l-parametri tas-sistema (veloċità tat-tqattigħ, għażla tax-xafra, eċċ.) ibbażati fuq proprjetajiet speċifiċi tal-materjal (Si/SiC/GaAs) u r-rekwiżiti tal-proċess.
· Appoġġ għall-Iżvilupp tal-Proċess: Noffru pproċessar ta' kampjuni b'rapporti ta' analiżi dettaljati inkluż kejl tal-ħruxija tat-truf u mappaġġ tad-difetti.
· Żvilupp Koordinat ta' Konsumabbli: Għal materjali ġodda (eż., Ga₂O₃), naħdmu ma' manifatturi ewlenin ta' konsumabbli biex niżviluppaw xfafar/ottika tal-lejżer speċifiċi għall-applikazzjoni.

2. Appoġġ Tekniku Professjonali
· Appoġġ Dedikat fuq il-Post: Assenja inġiniera ċċertifikati għal fażijiet kritiċi ta' żvilupp (tipikament 2-4 ġimgħat), li jkopru:
Kalibrazzjoni tat-tagħmir u rfinar tal-proċess
Taħriġ tal-kompetenza tal-operatur
Gwida għall-integrazzjoni ta' kmamar nodfa tal-Klassi ISO 5
· Manutenzjoni Predittiva: Verifiki tas-saħħa kull tliet xhur b'analiżi tal-vibrazzjoni u dijanjostika tal-mutur servo biex jipprevjenu waqfien mhux ippjanat.
· Monitoraġġ mill-Bogħod: Traċċar tal-prestazzjoni tat-tagħmir f'ħin reali permezz tal-pjattaforma IoT tagħna (JCFront Connect®) b'allerti awtomatizzati ta' anomaliji.

3. Servizzi b'Valur Miżjud
· Bażi ta' Għarfien tal-Proċess: Aċċessa aktar minn 300 riċetta ta' qtugħ ivvalidata għal diversi materjali (aġġornata kull tliet xhur).
· Allinjament tal-Pjan Direzzjonali tat-Teknoloġija: Ipprepara l-investiment tiegħek għall-futur b'mogħdijiet ta' aġġornament tal-ħardwer/softwer (eż., modulu ta' skoperta ta' difetti bbażat fuq l-AI).
· Rispons ta' Emerġenza: Dijanjosi remota garantita fi żmien 4 sigħat u intervent fuq il-post fi żmien 48 siegħa (kopertura globali).

4. Infrastruttura tas-Servizz
· Garanzija tal-Prestazzjoni: Impenn kuntrattwali għal ≥98% ħin ta' tħaddim tat-tagħmir b'ħinijiet ta' rispons appoġġjati minn SLA.

Titjib Kontinwu

Aħna nwettqu stħarriġiet tas-sodisfazzjon tal-klijenti darbtejn fis-sena u nimplimentaw inizjattivi Kaizen biex intejbu l-għoti tas-servizz. It-tim tagħna ta' Riċerka u Żvilupp jittraduċi l-għarfien fuq il-post f'aġġornamenti tat-tagħmir - 30% tat-titjib tal-firmware joriġina mir-rispons tal-klijenti.