Sottostrat SiC 4H-N ta' grad ta' produzzjoni ta' 8 pulzieri SiC

Deskrizzjoni Qasira:

Sottostrati SiC ta' 8 pulzieri jintużaw f'apparati elettroniċi ta' qawwa għolja, bħal MOSFETs tal-enerġija (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors), diodes Schottky u apparati oħra tas-semikondutturi tal-enerġija.


Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

It-tabella li ġejja turi l-ispeċifikazzjonijiet tal-wejfers SiC ta' 8 pulzieri tagħna:

Speċifikazzjonijiet tad-DSP SiC tat-tip N ta' 8 pulzieri

Numru Oġġett Unità Produzzjoni Riċerka Manikin
1:parametri
1.1 politip -- 4H 4H 4H
1.2 orjentazzjoni tal-wiċċ ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2: Parametru elettriku
2.1 dopant -- Nitroġenu tat-tip n Nitroġenu tat-tip n Nitroġenu tat-tip n
2.2 reżistività ohm ·ċm 0.015~0.025 0.01~0.03 NA
3: Parametru mekkaniku
3.1 dijametru mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
3.2 ħxuna μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orjentazzjoni tal-inċiżjoni ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Fond tal-Inċiżjoni mm 1~1.5 1~1.5 1~1.5
3.5 LTV μm ≤5 (10mm * 10mm) ≤5 (10mm * 10mm) ≤10 (10mm * 10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Pruwa μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Medd μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4: Struttura
4.1 densità tal-mikropajpijiet kull wieħed/ċm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 kontenut ta' metall atomi/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD kull wieħed/ċm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD kull wieħed/ċm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED kull wieħed/ċm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Kwalità ta' quddiem
5.1 quddiem -- Si Si Si
5.2 finitura tal-wiċċ -- CMP tal-wiċċ Si CMP tal-wiċċ Si CMP tal-wiċċ Si
5.3 partiċella kull waħda/wejfer ≤100 (daqs ≥0.3μm) NA NA
5.4 grif kull waħda/wejfer ≤5, Tul Totali ≤200mm NA NA
5.5 Tarf
ċipep/indentazzjonijiet/xquq/tbajja’/kontaminazzjoni
-- Xejn Xejn NA
5.6 Żoni politipiċi -- Xejn Żona ≤10% Żona ≤30%
5.7 immarkar ta' quddiem -- Xejn Xejn Xejn
6: Kwalità tad-dahar
6.1 finitura ta' wara -- MP tal-wiċċ C MP tal-wiċċ C MP tal-wiċċ C
6.2 grif mm NA NA NA
6.3 Difetti fit-tarf ta' wara
ċipep/indentazzjonijiet
-- Xejn Xejn NA
6.4 Ħruxija tad-dahar nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Immarkar ta' wara -- Talja Talja Talja
7:tarf
7.1 tarf -- Ċamfrin Ċamfrin Ċamfrin
8: Pakkett
8.1 ippakkjar -- Epi-ready bil-vakwu
ippakkjar
Epi-ready bil-vakwu
ippakkjar
Epi-ready bil-vakwu
ippakkjar
8.2 ippakkjar -- Multi-wejfer
ippakkjar tal-kasett
Multi-wejfer
ippakkjar tal-kasett
Multi-wejfer
ippakkjar tal-kasett

Dijagramma dettaljata

asd (1)
asd (2)
asd (3)

  • Preċedenti:
  • Li jmiss:

  • Ikteb il-messaġġ tiegħek hawn u ibgħatu lilna