Sottostrat SiC 4H-N ta' grad ta' produzzjoni ta' 8 pulzieri SiC
It-tabella li ġejja turi l-ispeċifikazzjonijiet tal-wejfers SiC ta' 8 pulzieri tagħna:
Speċifikazzjonijiet tad-DSP SiC tat-tip N ta' 8 pulzieri | |||||
Numru | Oġġett | Unità | Produzzjoni | Riċerka | Manikin |
1:parametri | |||||
1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | orjentazzjoni tal-wiċċ | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
2: Parametru elettriku | |||||
2.1 | dopant | -- | Nitroġenu tat-tip n | Nitroġenu tat-tip n | Nitroġenu tat-tip n |
2.2 | reżistività | ohm ·ċm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
3: Parametru mekkaniku | |||||
3.1 | dijametru | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
3.2 | ħxuna | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Orjentazzjoni tal-inċiżjoni | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | Fond tal-Inċiżjoni | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Pruwa | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Medd | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
4: Struttura | |||||
4.1 | densità tal-mikropajpijiet | kull wieħed/ċm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | kontenut ta' metall | atomi/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | TSD | kull wieħed/ċm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | BPD | kull wieħed/ċm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | TED | kull wieħed/ċm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5. Kwalità ta' quddiem | |||||
5.1 | quddiem | -- | Si | Si | Si |
5.2 | finitura tal-wiċċ | -- | CMP tal-wiċċ Si | CMP tal-wiċċ Si | CMP tal-wiċċ Si |
5.3 | partiċella | kull waħda/wejfer | ≤100 (daqs ≥0.3μm) | NA | NA |
5.4 | grif | kull waħda/wejfer | ≤5, Tul Totali ≤200mm | NA | NA |
5.5 | Tarf ċipep/indentazzjonijiet/xquq/tbajja’/kontaminazzjoni | -- | Xejn | Xejn | NA |
5.6 | Żoni politipiċi | -- | Xejn | Żona ≤10% | Żona ≤30% |
5.7 | immarkar ta' quddiem | -- | Xejn | Xejn | Xejn |
6: Kwalità tad-dahar | |||||
6.1 | finitura ta' wara | -- | MP tal-wiċċ C | MP tal-wiċċ C | MP tal-wiċċ C |
6.2 | grif | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Difetti fit-tarf ta' wara ċipep/indentazzjonijiet | -- | Xejn | Xejn | NA |
6.4 | Ħruxija tad-dahar | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
6.5 | Immarkar ta' wara | -- | Talja | Talja | Talja |
7:tarf | |||||
7.1 | tarf | -- | Ċamfrin | Ċamfrin | Ċamfrin |
8: Pakkett | |||||
8.1 | ippakkjar | -- | Epi-ready bil-vakwu ippakkjar | Epi-ready bil-vakwu ippakkjar | Epi-ready bil-vakwu ippakkjar |
8.2 | ippakkjar | -- | Multi-wejfer ippakkjar tal-kasett | Multi-wejfer ippakkjar tal-kasett | Multi-wejfer ippakkjar tal-kasett |
Dijagramma dettaljata



Ikteb il-messaġġ tiegħek hawn u ibgħatu lilna