8inch SiC Produzzjoni grad wejfer 4H-N sottostrat SiC

8inch SiC Produzzjoni grad wejfer 4H-N substrat SiC Dehru Image

Deskrizzjoni qasira:

Substrati SiC ta '8 pulzieri jintużaw f'apparat elettroniku ta' qawwa għolja, bħal MOSFETs tal-qawwa (Transistors tal-Effett tal-Qasam tas-Semikondutturi tal-Metal Ossidu), dajowds Schottky u apparat semikonduttur tal-enerġija oħra.

Ibgħat email lilna

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

It-tabella li ġejja turi l-ispeċifikazzjonijiet tal-wejfers SiC tagħna ta '8inch:

8inch N-tip SiC DSP Specs
Numru	Oġġett	Unità	Produzzjoni	Riċerka	Manikin
1:parametri
1.1	politip	--	4H	4H	4H
1.2	orjentazzjoni tal-wiċċ	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2:parametru elettriku
2.1	dopant	--	Nitroġenu tat-tip n	Nitroġenu tat-tip n	Nitroġenu tat-tip n
2.2	reżistenza	ohm · ċm	0.015 ~ 0.025	0.01 ~ 0.03	NA
3:parametru mekkaniku
3.1	dijametru	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	ħxuna	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Orjentazzjoni talja	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Fond talja	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5 (10mm * 10mm)	≤5 (10mm * 10mm)	≤10 (10mm * 10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	pruwa	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Medd	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4:Struttura
4.1	densità tal-mikropipe	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	kontenut tal-metall	atomi/ċm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
Kwalità 5.Front
5.1	quddiem	--	Si	Si	Si
5.2	finitura tal-wiċċ	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	partiċelli	ea/wejfer	≤100 (size≥0.3μm)	NA	NA
5.4	scratch	ea/wejfer	≤5,Tul totali≤200mm	NA	NA
5.5	Xifer laqx/inċiżi/xquq/tbajja/kontaminazzjoni	--	Xejn	Xejn	NA
5.6	Żoni tal-politip	--	Xejn	Żona ≤10%	Żona ≤30%
5.7	immarkar fuq quddiem	--	Xejn	Xejn	Xejn
6: Il-kwalità tad-dahar
6.1	finitura lura	--	C-wiċċ MP	C-wiċċ MP	C-wiċċ MP
6.2	scratch	mm	NA	NA	NA
6.3	Tarf tad-difetti tad-dahar laqx/inċiżi	--	Xejn	Xejn	NA
6.4	Ħruxija tad-dahar	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	L-immarkar tad-dahar	--	Talja	Talja	Talja
7: tarf
7.1	tarf	--	Ċanfrin	Ċanfrin	Ċanfrin
8:Pakkett
8.1	ippakkjar	--	Epi-lest bil-vakwu ippakkjar	Epi-lest bil-vakwu ippakkjar	Epi-lest bil-vakwu ippakkjar
8.2	ippakkjar	--	Multi-wejfer Ippakkjar tal-cassettes	Multi-wejfer Ippakkjar tal-cassettes	Multi-wejfer Ippakkjar tal-cassettes