8inch 200mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N tip Produzzjoni grad 500um ħxuna

8inch 200mm Silicon Carbide SiC Wejfers 4H-N tip Produzzjoni grad 500um ħxuna Dehru Image

Deskrizzjoni qasira:

Shanghai Xinkehui Tech. Co., Ltd toffri l-aħjar għażla u prezzijiet għal wejfers u substrati ta 'karbur tas-silikon ta' kwalità għolja sa dijametri ta '8inch b'tipi N- u semi-insulanti. Kumpaniji żgħar u kbar ta 'apparat semikonduttur u laboratorji ta' riċerka madwar id-dinja jużaw u jiddependu fuq il-wejfers tal-karbur tas-silikon tagħna.

Ibgħat email lilna

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

200mm 8inch SiC Substrat Speċifikazzjoni

Daqs: 8inch;

Dijametru: 200mm±0.2;

Ħxuna: 500um±25;

Orjentazzjoni tal-wiċċ: 4 lejn [11-20]±0.5°;

Orjentazzjoni talja: [1-100] ± 1 °;

Fond talja: 1±0.25mm;

Mikropajp: <1cm2;

Pjanċi Hex: Xejn Permessi;

Reżistenza: 0.015 ~ 0.028Ω;

EPD:<8000cm2;

TED:<6000cm2

BPD: <2000cm2

TSD: <1000cm2

SF: żona <1%

TTV≤15um；

Warp≤40um；

Pruwa≤25um；

Żoni Poly: ≤5%;

Scratch: <5 u Tul Kumulattiv< 1 Wafer Diametru;

Ċipep/inċiżi: Xejn ma jippermetti D> 0.5mm Wisa 'u Fond;

Xquq: Xejn;

Tebgħa: Xejn

Tarf tal-wejfer: Ċanfrin;

Finitura tal-wiċċ: Double Side Pollakk, Si Face CMP;

Ippakkjar: Cassette Multi-wejfer jew Kontenitur Wafer Uniku;

Id-diffikultajiet attwali fil-preparazzjoni ta '200mm 4H-SiC kristalli mainl

1) Il-preparazzjoni ta 'kristalli taż-żerriegħa ta' 200mm 4H-SiC ta 'kwalità għolja;

2) In-nuqqas ta 'uniformità tal-kamp tat-temperatura ta' daqs kbir u l-kontroll tal-proċess tan-nukleazzjoni;

3) L-effiċjenza tat-trasport u l-evoluzzjoni ta 'komponenti gassużi f'sistemi ta' tkabbir tal-kristall largeize;

4) Il-qsim tal-kristall u l-proliferazzjoni tad-difetti kkawżati minn żieda fl-istress termali ta 'daqs kbir.

Biex jingħelbu dawn l-isfidi u jinkisbu soluzzjonijiet ta 'wejfers ta' 200mm SiC ta 'kwalità għolja huma proposti:

F'termini ta 'preparazzjoni tal-kristall taż-żerriegħa ta' 200mm, qasam tal-fluss tal-kamp tat-temperatura xierqa, u assemblaġġ li qed jespandi ġew studjati u mfassla biex jieħdu intoaccount il-kwalità tal-kristall u d-daqs li jespandi; Tibda b'150mm SiC se:d kristall, wettaq iterazzjoni tal-kristall taż-żerriegħa biex tespandi gradwalment is-SiC crystasize sakemm tilħaq 200mm; Permezz ta 'tkabbir tal-kristalli multipli u proċessi, gradwalment jottimizzaw il-kwalità tal-kristall fiż-żona ta' espansjoni tal-kristall, andimprove l-kwalità tal-kristalli taż-żerriegħa ta '200mm.

F'termini ta 'kristall konduttiv ta' 200mm u preparazzjoni tas-sottostrat, ir-riċerka ottimizzat id-disinn tal-kamp tat-temperatura u tal-fluss għal kristallgrowth ta 'daqs kbir, twettaq tkabbir tal-kristall SiC konduttiv ta' 200mm, u tikkontrolla l-uniformità tad-doping. Wara l-ipproċessar mhux maħdum u l-iffurmar tal-kristall, inkiseb ingott 4H-SiC konduttiv elettriku ta '8 pulzieri b'dijametru standard. Wara l-qtugħ, it-tħin, il-illustrar, l-ipproċessar biex tikseb wejfers SiC 200mm bi ħxuna ta '525um jew hekk