8 pulzieri 200mm 4H-N SiC Wafer konduttiv finta ta' grad ta' riċerka

Deskrizzjoni Qasira:

Hekk kif is-swieq tat-trasport, tal-enerġija u industrijali jevolvu, id-domanda għal elettronika tal-enerġija affidabbli u ta' prestazzjoni għolja tkompli tikber. Biex jissodisfaw il-ħtiġijiet għal prestazzjoni mtejba tas-semikondutturi, il-manifatturi tal-apparati qed ifittxu materjali semikondutturi b'bandgap wiesa', bħall-portafoll 4H SiC Prime Grade tagħna ta' wejfers tas-silikon karbur (SiC) tat-tip 4H n.


Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

Minħabba l-proprjetajiet fiżiċi u elettroniċi uniċi tiegħu, materjal semikonduttur tal-wejfer SiC ta' 200mm jintuża biex jinħolqu apparati elettroniċi ta' prestazzjoni għolja, temperatura għolja, reżistenti għar-radjazzjoni u frekwenza għolja. Il-prezz tas-sottostrat SiC ta' 8 pulzieri qed jonqos gradwalment hekk kif it-teknoloġija ssir aktar avvanzata u d-domanda tikber. Żviluppi teknoloġiċi riċenti wasslu għall-manifattura fuq skala ta' produzzjoni ta' wejfers SiC ta' 200mm. Il-vantaġġi ewlenin tal-materjali semikondutturi tal-wejfer SiC meta mqabbla mal-wejfers Si u GaAs: Is-saħħa tal-kamp elettriku ta' 4H-SiC waqt it-tkissir tal-valangi hija aktar minn ordni ta' kobor ogħla mill-valuri korrispondenti għal Si u GaAs. Dan iwassal għal tnaqqis sinifikanti fir-reżistività Ron fl-istat mixgħul. Reżistività baxxa fl-istat mixgħul, flimkien ma' densità għolja tal-kurrent u konduttività termali, tippermetti l-użu ta' die żgħar ħafna għal apparati tal-enerġija. Il-konduttività termali għolja ta' SiC tnaqqas ir-reżistenza termali taċ-ċippa. Il-proprjetajiet elettroniċi ta' apparati bbażati fuq wejfers SiC huma stabbli ħafna maż-żmien u stabbli fit-temperatura, li jiżgura affidabbiltà għolja tal-prodotti. Il-karbur tas-silikon huwa estremament reżistenti għar-radjazzjoni qawwija, li ma tiddegradax il-proprjetajiet elettroniċi taċ-ċippa. It-temperatura operattiva limitata għolja tal-kristall (aktar minn 6000C) tippermettilek toħloq apparati affidabbli ħafna għal kundizzjonijiet operattivi ħorox u applikazzjonijiet speċjali. Fil-preżent, nistgħu nipprovdu wejfers SiC ta' 200mm f'lottijiet żgħar b'mod kostanti u kontinwu u għandna xi stokk fil-maħżen.

Speċifikazzjoni

Numru Oġġett Unità Produzzjoni Riċerka Manikin
1. Parametri
1.1 politip -- 4H 4H 4H
1.2 orjentazzjoni tal-wiċċ ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2. Parametru elettriku
2.1 dopant -- Nitroġenu tat-tip n Nitroġenu tat-tip n Nitroġenu tat-tip n
2.2 reżistività ohm ·ċm 0.015~0.025 0.01~0.03 NA
3. Parametru mekkaniku
3.1 dijametru mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
3.2 ħxuna μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orjentazzjoni tal-inċiżjoni ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Fond tal-Inċiżjoni mm 1~1.5 1~1.5 1~1.5
3.5 LTV μm ≤5 (10mm * 10mm) ≤5 (10mm * 10mm) ≤10 (10mm * 10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Pruwa μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Medd μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4. Struttura
4.1 densità tal-mikropajpijiet kull wieħed/ċm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 kontenut ta' metall atomi/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD kull wieħed/ċm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD kull wieħed/ċm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED kull wieħed/ċm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Kwalità pożittiva
5.1 quddiem -- Si Si Si
5.2 finitura tal-wiċċ -- CMP tal-wiċċ Si CMP tal-wiċċ Si CMP tal-wiċċ Si
5.3 partiċella kull waħda/wejfer ≤100 (daqs ≥0.3μm) NA NA
5.4 grif kull waħda/wejfer ≤5, Tul Totali ≤200mm NA NA
5.5 Tarf
ċipep/indentazzjonijiet/xquq/tbajja’/kontaminazzjoni
-- Xejn Xejn NA
5.6 Żoni politipiċi -- Xejn Żona ≤10% Żona ≤30%
5.7 immarkar ta' quddiem -- Xejn Xejn Xejn
6. Kwalità tad-dahar
6.1 finitura ta' wara -- MP tal-wiċċ C MP tal-wiċċ C MP tal-wiċċ C
6.2 grif mm NA NA NA
6.3 Difetti fit-tarf ta' wara
ċipep/indentazzjonijiet
-- Xejn Xejn NA
6.4 Ħruxija tad-dahar nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Immarkar ta' wara -- Talja Talja Talja
7. Tarf
7.1 tarf -- Ċamfrin Ċamfrin Ċamfrin
8. Pakkett
8.1 ippakkjar -- Epi-ready bil-vakwu
ippakkjar
Epi-ready bil-vakwu
ippakkjar
Epi-ready bil-vakwu
ippakkjar
8.2 ippakkjar -- Multi-wejfer
ippakkjar tal-kasett
Multi-wejfer
ippakkjar tal-kasett
Multi-wejfer
ippakkjar tal-kasett

Dijagramma dettaljata

8 pulzieri SiC03
8 pulzieri SiC4
8 pulzieri SiC5
8 pulzieri SiC6

  • Preċedenti:
  • Li jmiss:

  • Ikteb il-messaġġ tiegħek hawn u ibgħatu lilna