6inch SiC Epitaxiy wejfer N/P tip jaċċettaw personalizzat
Il-proċess ta 'preparazzjoni tal-wejfer epitassjali tal-karbur tas-silikon huwa metodu li juża t-teknoloġija ta' Depożizzjoni Kimika tal-Fwar (CVD).Dawn li ġejjin huma l-prinċipji tekniċi rilevanti u l-passi tal-proċess tal-preparazzjoni:
Prinċipju tekniku:
Deposizzjoni Kimika tal-Fwar: Bl-użu tal-gass tal-materja prima fil-fażi tal-gass, taħt kundizzjonijiet speċifiċi ta 'reazzjoni, huwa dekompost u depożitat fuq is-sottostrat biex jifforma l-film irqiq mixtieq.
Reazzjoni tal-fażi tal-gass: Permezz ta 'piroliżi jew reazzjoni ta' qsim, diversi gassijiet tal-materja prima fil-fażi tal-gass jinbidlu kimikament fil-kamra tar-reazzjoni.
Passi tal-proċess tal-preparazzjoni:
Trattament tas-sottostrat: Is-sottostrat huwa soġġett għal tindif tal-wiċċ u trattament minn qabel biex jiżgura l-kwalità u l-kristallinità tal-wejfer epitassjali.
Debugging tal-kamra tar-reazzjoni: aġġusta t-temperatura, il-pressjoni u r-rata tal-fluss tal-kamra tar-reazzjoni u parametri oħra biex tiżgura l-istabbiltà u l-kontroll tal-kundizzjonijiet tar-reazzjoni.
Provvista ta 'materja prima: provvista tal-materja prima tal-gass meħtieġa fil-kamra tar-reazzjoni, it-taħlit u l-kontroll tar-rata tal-fluss kif meħtieġ.
Proċess ta 'reazzjoni: Billi ssaħħan il-kamra tar-reazzjoni, il-materja prima tal-gass tgħaddi minn reazzjoni kimika fil-kamra biex tipproduċi d-depożitu mixtieq, jiġifieri film tal-karbur tas-silikon.
Tkessiħ u ħatt: Fl-aħħar tar-reazzjoni, it-temperatura titbaxxa gradwalment biex tkessaħ u tissolidifika d-depożiti fil-kamra tar-reazzjoni.
Ittemprar u post-ipproċessar tal-wejfer epitassjali: il-wejfer epitassjali depożitat huwa ittemprat u pproċessat wara biex itejjeb il-proprjetajiet elettriċi u ottiċi tiegħu.
Il-passi u l-kundizzjonijiet speċifiċi tal-proċess tal-preparazzjoni tal-wejfer epitassjali tal-karbur tas-silikon jistgħu jvarjaw skont it-tagħmir u r-rekwiżiti speċifiċi.Dan ta 'hawn fuq huwa biss fluss u prinċipju ġenerali tal-proċess, l-operazzjoni speċifika teħtieġ li tiġi aġġustata u ottimizzata skont is-sitwazzjoni attwali.
Dijagramma Dettaljata
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)