Wejfer SiC Epitaxiy ta' 6 pulzieri tat-tip N/P jaċċetta personalizzat

Il-proċess ta' preparazzjoni tal-wejfer epitassjali tal-karbur tas-silikon huwa metodu li juża t-teknoloġija tad-Depożizzjoni Kimika tal-Fwar (CVD). Dawn li ġejjin huma l-prinċipji tekniċi rilevanti u l-passi tal-proċess ta' preparazzjoni:

Prinċipju tekniku:

Depożizzjoni Kimika tal-Fwar: Bl-użu tal-gass tal-materja prima fil-fażi tal-gass, taħt kundizzjonijiet speċifiċi ta' reazzjoni, dan jiġi dekompost u depożitat fuq is-sottostrat biex jifforma l-film irqiq mixtieq.

Reazzjoni fil-fażi tal-gass: Permezz ta' piroliżi jew reazzjoni ta' kkrekkjar, diversi gassijiet tal-materja prima fil-fażi tal-gass jinbidlu kimikament fil-kamra tar-reazzjoni.

Passi tal-proċess ta' preparazzjoni:

Trattament tas-sottostrat: Is-sottostrat huwa soġġett għal tindif tal-wiċċ u trattament minn qabel biex tiġi żgurata l-kwalità u l-kristallinità tal-wejfer epitassjali.

Debugging tal-kamra tar-reazzjoni: aġġusta t-temperatura, il-pressjoni u r-rata tal-fluss tal-kamra tar-reazzjoni u parametri oħra biex tiżgura l-istabbiltà u l-kontroll tal-kundizzjonijiet tar-reazzjoni.

Provvista ta' materja prima: ipprovdi l-materja prima tal-gass meħtieġa fil-kompartiment tar-reazzjoni, billi tħallat u tikkontrolla r-rata tal-fluss kif meħtieġ.

Proċess ta' reazzjoni: Billi tissaħħan il-kompartiment tar-reazzjoni, il-materja prima gassuża tgħaddi minn reazzjoni kimika fil-kompartiment biex tipproduċi d-depożitu mixtieq, jiġifieri film tal-karbur tas-silikon.

Tkessiħ u ħatt: Fi tmiem ir-reazzjoni, it-temperatura titbaxxa gradwalment biex id-depożiti fil-kompartiment tar-reazzjoni jitkessħu u jissolidifikaw.

Ittemprar u pproċessar wara l-wejfer epitassjali: il-wejfer epitassjali depożitat jiġi ttemprat u pproċessat wara l-proċessar biex jittejbu l-proprjetajiet elettriċi u ottiċi tiegħu.

Il-passi u l-kundizzjonijiet speċifiċi tal-proċess ta' preparazzjoni tal-wejfer epitassjali tal-karbur tas-silikon jistgħu jvarjaw skont it-tagħmir u r-rekwiżiti speċifiċi. Ta' hawn fuq huwa biss fluss u prinċipju ġenerali tal-proċess, l-operazzjoni speċifika teħtieġ li tiġi aġġustata u ottimizzata skont is-sitwazzjoni attwali.