Sottostrat kompost tat-Tip SiC SEMI ta' 6 pulzieri 4H Ħxuna 500μm TTV≤5μm Grad MOS
Parametri tekniċi
Oġġetti | Speċifikazzjoni | Oġġetti | Speċifikazzjoni |
Dijametru | 150±0.2 mm | Ħruxija ta' quddiem (Si-face) | Ra≤0.2 nm (5μm × 5μm) |
Politip | 4H | Ċippa tat-Tarf, Grif, Xquq (spezzjoni viżwali) | Xejn |
Reżistività | ≥1E8 Ω·ċm | TTV | ≤5 μm |
Ħxuna tas-saff tat-trasferiment | ≥0.4 μm | Medd | ≤35 μm |
Vojt (2mm>D>0.5mm) | ≤5 kull wieħed/Wejfer | Ħxuna | 500±25 μm |
Karatteristiċi Ewlenin
1. Prestazzjoni Eċċezzjonali ta' Frekwenza Għolja
Is-sottostrat kompost SiC semi-insulanti ta' 6 pulzieri juża disinn ta' saff dielettriku gradat, li jiżgura varjazzjoni kostanti dielettrika ta' <2% fil-Ka-band (26.5-40 GHz) u jtejjeb il-konsistenza tal-fażi b'40%. Żieda ta' 15% fl-effiċjenza u konsum tal-enerġija 20% aktar baxx fil-moduli T/R li jużaw dan is-sottostrat.
2. Ġestjoni Termali Avvanzata
Struttura komposta unika ta' "pont termali" tippermetti konduttività termali laterali ta' 400 W/m·K. Fil-moduli PA tal-istazzjon bażi 5G ta' 28 GHz, it-temperatura tal-ġonta tiżdied biss b'28°C wara 24 siegħa ta' tħaddim kontinwu—50°C inqas mis-soluzzjonijiet konvenzjonali.
3. Kwalità Superjuri tal-Wefer
Permezz ta' metodu ottimizzat ta' Trasport Fiżiku tal-Fwar (PVT), niksbu densità ta' dislokazzjoni <500/cm² u Varjazzjoni Totali tal-Ħxuna (TTV) <3 μm.
4. Ipproċessar Faċli għall-Manifattura
Il-proċess tagħna ta' ttemprar bil-lejżer żviluppat speċifikament għas-sottostrat kompost SiC semi-iżolanti ta' 6 pulzieri jnaqqas id-densità tal-istat tal-wiċċ b'żewġ ordnijiet ta' kobor qabel l-epitassija.
Applikazzjonijiet Prinċipali
1. Komponenti Ewlenin tal-Istazzjon Bażi 5G
F'matriċi ta' antenni Massivi MIMO, apparati GaN HEMT fuq sottostrati komposti SiC semi-iżolanti ta' 6 pulzieri jiksbu qawwa ta' ħruġ ta' 200W u effiċjenza ta' >65%. Testijiet fuq il-post f'3.5 GHz urew żieda ta' 30% fir-raġġ tal-kopertura.
2. Sistemi ta' Komunikazzjoni bis-Satellita
It-transceivers tas-satelliti f'orbita baxxa tad-Dinja (LEO) li jużaw dan is-sottostrat juru EIRP 8 dB ogħla fil-Q-band (40 GHz) filwaqt li jnaqqsu l-piż b'40%. It-terminals SpaceX Starlink adottawh għall-produzzjoni tal-massa.
3. Sistemi tar-Radar Militari
Il-moduli tar-radar T/R b'fażijiet fuq dan is-sottostrat jiksbu bandwidth ta' 6-18 GHz u figura tal-ħoss baxxa daqs 1.2 dB, u b'hekk jestendu l-firxa ta' skoperta b'50 km f'sistemi tar-radar ta' twissija bikrija.
4. Radar tal-Mewġa Millimetrika tal-Karozzi
Ċipep tar-radar tal-karozzi ta' 79 GHz li jużaw dan is-sottostrat itejbu r-riżoluzzjoni angolari għal 0.5°, u b'hekk jissodisfaw ir-rekwiżiti tas-sewqan awtonomu L4.
Noffru soluzzjoni komprensiva ta' servizz personalizzata għal sottostrati komposti SiC semi-insulanti ta' 6 pulzieri. F'termini ta' adattament tal-parametri tal-materjal, nappoġġjaw regolazzjoni preċiża tar-reżistività fil-medda ta' 10⁶-10¹⁰ Ω·cm. Partikolarment għal applikazzjonijiet militari, nistgħu noffru għażla ta' reżistenza ultra-għolja ta' >10⁹ Ω·cm. Din toffri tliet speċifikazzjonijiet ta' ħxuna ta' 200μm, 350μm u 500μm simultanjament, bit-tolleranza kkontrollata strettament fi ħdan ±10μm, u tissodisfa rekwiżiti differenti minn apparati ta' frekwenza għolja għal applikazzjonijiet ta' qawwa għolja.
F'termini ta' proċessi ta' trattament tal-wiċċ, noffru żewġ soluzzjonijiet professjonali: Il-Lustrar Kimiku Mekkaniku (CMP) jista' jikseb ċattità tal-wiċċ fil-livell atomiku b'Ra<0.15nm, u jissodisfa l-aktar rekwiżiti impenjattivi ta' tkabbir epitassjali; It-teknoloġija tat-trattament tal-wiċċ lest epitassjali għal domandi ta' produzzjoni rapida tista' tipprovdi uċuħ ultra-lixxi b'Sq<0.3nm u ħxuna tal-ossidu residwu <1nm, u tissimplifika b'mod sinifikanti l-proċess ta' pretrattament fl-aħħar tal-klijent.
XKH jipprovdi soluzzjonijiet personalizzati komprensivi għal sottostrati komposti SiC semi-insulanti ta' 6 pulzieri
1. Personalizzazzjoni tal-Parametri tal-Materjal
Noffru irfinar preċiż tar-reżistività fil-medda ta' 10⁶-10¹⁰ Ω·cm, b'għażliet speċjalizzati ta' reżistività ultra-għolja >10⁹ Ω·cm disponibbli għal applikazzjonijiet militari/aerospazjali.
2. Speċifikazzjonijiet tal-Ħxuna
Tliet għażliet ta' ħxuna standardizzati:
· 200μm (ottimizzat għal apparati ta' frekwenza għolja)
· 350μm (speċifikazzjoni standard)
· 500μm (iddisinjat għal applikazzjonijiet ta' qawwa għolja)
· Il-varjanti kollha jżommu tolleranzi stretti tal-ħxuna ta' ±10μm.
3. Teknoloġiji tat-Trattament tal-Wiċċ
Lustrar Kimiku Mekkaniku (CMP): Jikseb ċattità tal-wiċċ fil-livell atomiku b'Ra<0.15nm, u jissodisfa rekwiżiti stretti ta' tkabbir epitassjali għal apparati RF u tal-enerġija.
4. Ipproċessar tal-Wiċċ Epi-Ready
· Jipprovdi uċuħ ultra-lixxi b'ħruxija Sq<0.3nm
· Jikkontrolla l-ħxuna tal-ossidu nattiv għal <1nm
· Jelimina sa 3 passi ta' pre-ipproċessar fil-faċilitajiet tal-klijenti

