4inch 6inch Lithium niobate wafer LNOI tal-film tal-kristall wieħed
Il-proċess ta 'preparazzjoni tal-materjali LNOI huwa prinċipalment maqsum fl-erba' passi li ġejjin
(1) He ions ġew injettati fil-materjal tal-litju niobate X-cut f'ċerta enerġija, u introdotti fis-saff tad-difett f'ċertu fond taħt is-saff tal-wiċċ tan-nijobat tal-litju;
(2) Il-materjal tan-nijobat tal-litju impjantat jone huwa marbut ma 'sottostrat tas-silikon b'saff ta' ossidu biex jifforma struttura ta 'twaħħil;
(3) L-istruttura tat-twaħħil ġiet ittemprata biex id-difetti introdotti mill-impjantazzjoni tal-jone He jevolvu u jinġabru biex jiffurmaw xquq. Fl-aħħarnett, in-niobate tal-litju ġie sseparat tul is-saff tad-difett biex jifforma l-flieli residwali niobate tal-litju u wejfers LNOI.
Applikazzjonijiet u vantaġġi tal-wejfer LNOI
1--Il-films pjeżoelettriċi tan-nijobat tal-litju (LNOI) għandhom koeffiċjent pjeżoelettriku għoli u kostanti dielettrika, li jistgħu jikkonvertu enerġija mekkanika f'enerġija elettrika jew enerġija elettrika f'enerġija mekkanika. Għalhekk, huwa użat ħafna fil-qasam tas-sensuri, bħal sensuri tal-pressjoni, sensuri ta 'aċċelerazzjoni, sensuri tat-temperatura u l-bqija. Barra minn hekk, il-film pjeżoelettriku niobate tal-litju jista 'jintuża wkoll f'apparati akustiċi u apparati ta' vibrazzjoni, bħal filtru taċ-ċeramika pjeżoelettriku kumpless tat-transducer taċ-ċeramika pjeżoelettrika.
2-L-istabbiltà tal-film pjeżoelettriku tal-litju niobate hija wkoll waħda mill-vantaġġi tagħha. Minħabba l-istabbiltà tal-istruttura tal-kristall u l-inertezza kimika tiegħu, il-film pjeżoelettriku tan-nijobat tal-litju jista 'jaħdem f'temperatura għolja, umdità għolja, aċidu qawwi, alkali qawwi u ambjent ħarxa ieħor, b'reżistenza tajba għall-korrużjoni u durabilità.
3-Lithium niobate film pjeżoelettriku huwa materjal pjeżoelettriku ġdid b'rendiment u stabbiltà eċċellenti, u għandu prospett ta 'applikazzjoni wiesa'. Bl-iżvilupp kontinwu tax-xjenza u t-teknoloġija, film pjeżoelettriku tan-nijobat tal-litju se jiġi applikat f'aktar bliet, u jġib aktar konvenjenza u innovazzjoni fil-ħajja tan-nies